一种探针卡动态电压降仿真评估方法及设备与流程

本申请涉及探针卡测试，尤其涉及一种探针卡动态电压降仿真评估方法及设备。

背景技术：

1、探针卡是晶圆测试中实现测试机与裸芯片电气互连的关键部件，随着先进工艺芯片的发展，其测试过程会产生纳秒级高速跳变负载电流，高di/dt易引发显著动态电压降，进而造成测试误判。

2、现有探针卡供电分析手段存在明显局限：早期仅评估稳态直流压降；后续虽引入电磁仿真获取s参数，但大多只开展频域pdn阻抗分析，仅能间接预判动态压降；少数时域仿真多采用简化rlc模型，缺少标准化瞬态仿真链路，负载激励与真实工况不匹配，难以精准获取时域动态电压跌落波形，仿真与实测偏差较大，无法实现动态电压降精准定量评估。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种探针卡动态电压降仿真评估方法及设备，以解决至少一个上述技术问题。

2、为解决上述问题，本申请提供如下技术方案：

3、第一方面，本申请实施例提供了一种探针卡动态电压降仿真评估方法，所述方法包括：获取探针卡结构信息，并基于所述结构信息生成探针卡对应的网络参数模型；根据所述网络参数模型搭建瞬态仿真链路；获取目标测试工况以及对应的测试特征信息，并基于所述测试特征信息确定动态激励信息；基于目标测试工况以及动态激励信息对瞬态仿真链路进行瞬态仿真，得到对应的仿真时域数据，并基于所述仿真时域数据确定目标电压数据；通过目标电压数据确定探针卡对应的动态电压降，并基于所述动态电压降对探针卡的供电裕度进行评估，得到评估结果。

4、可选地，所述探针卡动态电压降仿真评估方法还包括：当评估结果为不满足预设的达标条件时，重新优化瞬态仿真链路，并通过瞬态仿真链路进行瞬态仿真以及供电裕度评估，直至评估结果判定为满足预设的达标条件。

5、可选地，所述评估结果为满足预设的达标条件包括：其中预设的达标条件至少包括动态压降阈值判定以及最低供电电压极限判定，当同时满足所有预设的达标条件时，则判定评估结果为满足预设的达标条件。

6、可选地，所述获取探针卡结构信息，并基于所述结构信息生成探针卡对应的宽带电磁模型包括：获取探针卡结构信息；基于探针卡结构信息确定对应的宽带电磁参数；通过宽带电磁参数搭建探针卡对应的宽带电磁模型；根据所述宽带电磁模型进行网络参数求解，并构建网络参数模型。

7、可选地，所述获取目标测试工况对应的测试特征信息，并基于所述测试特征信息确定动态激励信息包括：获取目标测试工况对应的测试特征信息；通过所述测试特征信息匹配周期性电流波形；基于周期性电流波形模拟目标测试工况对应的动态特性；通过所述动态特性确定目标测试工况对应的动态激励信息。

8、可选地，所述基于目标测试工况以及动态激励信息对瞬态仿真链路进行瞬态仿真包括：根据目标测试工况确定动态仿真终止时长以及最小仿真时间步长；通过动态终止时长以及最小仿真时间步长确定仿真时间条件；基于仿真时间条件结合动态激励信息以及瞬态仿真链路进行瞬态仿真，生成仿真时域数据。

9、可选地，所述动态仿真终止时长不是固定值，所述动态仿真终止时长随目标测试工况影响而动态改变。

10、可选地，所述通过目标电压数据确定探针卡对应的动态电压降，并基于所述动态电压降对探针卡的供电裕度进行评估包括：提取目标电压数据中的电压变化量；根据所述电压变化量计算探针卡对应的动态电压降；通过预设的达标条件以及所述动态电压降对探针卡进行供电裕度评估，生成评估结果。

11、第二方面，本申请实施例提供一种撞针性能测试装置，所述撞针性能测试装置包括：获取单元，用于获取探针卡结构信息；计算单元，用于基于所述结构信息生成探针卡对应的网络参数模型；控制单元，用于根据所述网络参数模型搭建瞬态仿真链路；所述获取单元还用于获取目标测试工况以及对应的测试特征信息；所述计算单元还用于基于所述测试特征信息确定动态激励信息；所述控制单元还用于基于目标测试工况以及动态激励信息对瞬态仿真链路进行瞬态仿真，得到对应的仿真时域数据；所述计算单元还用于基于所述仿真时域数据确定目标电压数据；所述计算单元还用于通过目标电压数据确定探针卡对应的动态电压降，并基于所述动态电压降对探针卡的供电裕度进行评估，得到评估结果。

12、第三方面，本申请实施例还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有可执行程序，所述可执行程序被处理器执行实现如第一方面或第一方面任意实施例中的探针卡动态电压降仿真评估方法。

13、本申请的其中一个实施例的有益效果为：通过基于探针卡的目标测试工况结合动态激励信息进行动态电压降仿真，从而提高了探针卡的动态电压降评估的准确性。

1.一种探针卡动态电压降仿真评估方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的探针卡动态电压降仿真评估方法，其特征在于，所述探针卡动态电压降仿真评估方法还包括：

3.根据权利要求2所述的探针卡动态电压降仿真评估方法，其特征在于，所述评估结果为满足预设的达标条件包括：

4.根据权利要求1所述的探针卡动态电压降仿真评估方法，其特征在于，所述获取探针卡结构信息，并基于所述结构信息生成探针卡对应的宽带电磁模型包括：

5.根据权利要求1所述的探针卡动态电压降仿真评估方法，其特征在于，所述获取目标测试工况对应的测试特征信息，并基于所述测试特征信息确定动态激励信息包括：

6.根据权利要求1所述的探针卡动态电压降仿真评估方法，其特征在于，所述基于目标测试工况以及动态激励信息对瞬态仿真链路进行瞬态仿真包括：

7.根据权利要求6所述的探针卡动态电压降仿真评估方法，其特征在于，所述动态仿真终止时长不是固定值，所述动态仿真终止时长随目标测试工况影响而动态改变。

8.根据权利要求1所述的探针卡动态电压降仿真评估方法，其特征在于，所述通过目标电压数据确定探针卡对应的动态电压降，并基于所述动态电压降对探针卡的供电裕度进行评估包括：

9.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：