一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统的制作方法

本发明属于自动化产业中流体的供应，具体地说是一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统。

背景技术：

1、在半导体制造、生物制药、精密化工等高新技术领域，高纯度液体（如超纯水、高纯化学试剂、光刻胶、细胞培养液等）的稳定、精确供给是保障工艺质量、产品良率、实验可靠性与安全性的核心环节之一。这些应用对供液系统提出了极为严苛的要求：不仅需要实现流量与压力的高精度、长时间稳定控制，还必须确保在输送过程中维持液体的纯度，避免由系统自身引入污染、气泡、脉动等。

2、现有系统通常以高精度计量泵（如柱塞泵、注射泵、隔膜泵）或齿轮泵等机械泵作为主动力源，直接对流体进行推送。通过高分辨率步进电机或伺服电机控制泵的转速或冲程，实现流量输出。系统集成压力传感器、流量计（如科氏质量流量计）实时监测管路状态，并将信号反馈给控制器（如plc或专用控制器），控制器通过pid等算法动态调节泵的运行参数，形成闭环控制，以稳定流量和压力。

3、而机械泵其工作原理导致输出存在周期性脉动，即使加装阻尼器也难以在超低流量下完全消除，影响下游工艺稳定性；运动部件（如柱塞密封圈、阀门）与流体接触或存在摩擦，长期运行可能产生颗粒物磨损，成为污染源；产生气泡较多而排泡能力较差，会降低液体纯度。

技术实现思路

1、针对上述问题，本发明的目的在于提供一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统。

2、本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

3、一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统，包括压力控制器、控制器、液体瓶、缓冲瓶、分配室、通断阀a、通断阀b、通断阀c、流量传感器、通断回吸阀；

4、所述压力控制器分别与外接的正压压力源和外接的负压压力源相连通，所述液体瓶的上部设有大气通口，所述通断阀a设置于所述大气通口上、并用于控制该大气通口的通断，所述液体瓶的上部还通过正压输出管路a与所述压力控制器相连通，所述液体瓶的下部与所述缓冲瓶的下部之间通过液体中转管路a相连通，所述通断阀b设置于所述液体中转管路a上、并用于控制液体中转管路a的通断，所述缓冲瓶的上部分别通过正压输出管路b及负压输出管路a与所述压力控制器相连通，所述缓冲瓶的下部与所述分配室的下部之间还通过液体中转管路b相连通，所述通断阀c设置于所述液体中转管路b上、并用于控制液体中转管路b的通断，所述分配室的上部分别通过正压输出管路c及负压输出管路b与所述压力控制器相连通，所述分配室的下部还通过出液管路与系统出液端相连通，所述流量传感器及通断回吸阀分别设置于所述出液管路上，所述通断回吸阀在所述出液管路上相对于所述流量传感器位于更靠近系统出液端处；

5、所述控制器分别与所述压力控制器、通断阀a、通断阀b、通断阀c、通断回吸阀、流量传感器连接并进行信号交互。

6、所述液体瓶的下部还设有液位感应器a，所述液位感应器a与所述控制器连接并进行信号交互。

7、所述缓冲瓶的上部还设有液位感应器b，所述液位感应器b与所述控制器连接并进行信号交互。

8、所述分配室的上部还设有液位感应器c，所述液位感应器c与所述控制器连接并进行信号交互。

9、所述正压输出管路a、正压输出管路b、正压输出管路c、负压输出管路a及负压输出管路b上分别设有气体过滤器。

10、所述出液管路上还设有液体过滤器，所述液体过滤器在所述出液管路上相对于所述流量传感器位于更靠近所述分配室处。

11、本发明的优点与积极效果为：

12、1.本发明通过采用压力控制出液，且可通过稳定压力进行输出，提高了出液的稳定性，且几乎没有相对复杂的运动部件会与流体接触或存在摩擦，有效减少了由于摩擦产生颗粒导致液体纯度下降的情况以及运动部件产生的脉动对下游工艺稳定性的影响，能够更好地适用于高纯度液体的供给。

13、2.本发明可在出液前通过对缓冲瓶输出负压实现抽泡处理，可提高微气泡的去除率，进一步提高液体纯度。

14、3.本发明可达到较高的耐腐蚀能力，提高液体的适用性。

15、4.本发明通过流量传感器、通断回吸阀、液位传感器的配合设置，可实现高精度出液。

1.一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统，其特征在于：包括压力控制器、控制器、液体瓶、缓冲瓶、分配室、通断阀a、通断阀b、通断阀c、流量传感器、通断回吸阀；

2.根据权利要求1所述的一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统，其特征在于：所述液体瓶的下部还设有液位感应器a，所述液位感应器a与所述控制器连接并进行信号交互。

3.根据权利要求1所述的一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统，其特征在于：所述缓冲瓶的上部还设有液位感应器b，所述液位感应器b与所述控制器连接并进行信号交互。

4.根据权利要求1所述的一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统，其特征在于：所述分配室的上部还设有液位感应器c，所述液位感应器c与所述控制器连接并进行信号交互。

5.根据权利要求1所述的一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统，其特征在于：所述正压输出管路a、正压输出管路b、正压输出管路c、负压输出管路a及负压输出管路b上分别设有气体过滤器。

6.根据权利要求1所述的一种适用于高纯度液体的高精稳定供液系统，其特征在于：所述出液管路上还设有液体过滤器，所述液体过滤器在所述出液管路上相对于所述流量传感器位于更靠近所述分配室处。