设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构的制作方法
本技术属于靠放入管道内并沿管道移动的清洁装置的,特别涉及一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构。
背景技术:
1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备;单晶炉主要包括炉体、电气控制柜、加热器、电源柜、主真空泵、副室真空泵、真空管道、液压系统、氩气系统,以及冷却水系统。
2、在单晶拉制过程中,单晶炉副室清理装置炉体内壁的洁净度是影响晶体成晶的关键因素之一;单晶炉副室清理装置中主室主要用于硅料的加热反应,在主室中形成的晶体通过置于副室中的提升装置被向上提拉;在拉制过程中,氩气会从副室中通过并流入到主室中,而氩气携带着反应的挥发物会顺着副室向下运动,挥发物的残留物会在炉膛的内壁沉积,这些残留物若不及时清理,会在拉晶过程中落入主室中的硅料中,污染硅液纯度,严重影响晶体成晶质量;因此保持单晶炉副室的清洁度,对于提高晶体的成品质量具有重要的意义。
3、对于单晶炉主室,其开口直径较大易于清理;而单晶炉副室为圆筒状结构,高度狭长,其内径约400mm(300~450mm),炉膛纵深约5500mm(4500~7500mm),并高于地面1500mm~4500m设置。现有的对单晶炉副室的清理工作,较为常见的方式是在不锈钢圆管或铝合金圆管上固定圆环,圆环上包裹海绵和无尘纸的清理方式;清理杆通常为两到三节,通过螺纹连接;在清理副室时,需要操作人员手动将清理杆推入单晶炉副室,然后人为手动往复式推拉杆进行清理;这种清理方式操作简便,但清洁度难以保障,且受清理杆的人工操作的不可控性容易导致清理不到位等问题。
4、中国专利申请号为:2021223142568,公布了一种单晶炉副室清理装置,包括:底座;电机箱,设置在所述底座上;多级伸缩杆,设置在所述底座上,与所述电机箱相连,通过所述电机箱驱动所述多级伸缩杆升降;支撑环,设置在所述多级伸缩杆的顶端,该结构在操作过程中受制于现场复杂多变的环境,基本上都无法自适应于工况,或受制于单晶炉副室的离地距离、地面平整度、副室内径尺寸、重锤干涉等影响要素,特别是在伸缩杆伸缩高度较大时,无法实现对中,导致顶部清理效果差,同时也无法做到安全可靠地实施清理工作。
5、针对行业发展需求,在逐步实现自动化进程中,副室清理阶段引入机械设备,从而替代人工作业,现有的人工清扫采用圆筒钢架,外部包袱海绵,缠绕无尘布,使得整体外径大于副室内壁直径,缠绕工作结束后,外部喷洒酒精,方便粘连灰尘并提高副室清扫洁净度;之后将此工装从副室法兰端口伸入,不断举升,直至达到工装最大高度,然而此清扫作业方式存在巨大缺陷:因工装外径大于副室直径,同时为底部至下而上逐步举升,存在将灰尘一直往上累计情况,同时因为副室总高长达7m,最开始喷洒的酒精以失去粘附功能,灰尘将累积在工装到达的最高点,故而特此针对副室清理机的清扫头以及海绵夹持机构做快换结构设计。
技术实现思路
1、本实用新型的是提供一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,该一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构通过三面支承架和夹持板围成容纳海绵块的安装槽,在夹持板上设置有1对导向柱,在支承架背面设置有套装在导向柱上的导向柱套座,通过导向柱在导向柱套座上滑动,实现夹持板的打开或合拢,从而达到快速完成海绵块更换和夹持的目的。
2、为了解决上述技术问题,本实用新型一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,包括均布在清理机头顶部的安装架,所述安装架靠近清理机头边缘处的端部设置有支承架以及滑动在支承架上的夹持板,所述支承架和夹持板之间围成有用于容纳海绵块的容纳槽,所述容纳槽顶部以及外侧侧壁上均设置有用于海绵块延伸出容纳槽的开口,所述夹持板上设置有一对水平设置的导向柱,所述支承架里侧外壁上设置有套装在导向柱上的导向柱套座,所述安装架上设置有限制导向柱移动的锁紧机构。
3、进一步,所述锁紧机构包括设置在安装架上的锁紧板底座、铰接在锁紧板底座上的锁紧板、与锁紧板连接且与导向柱平行设置的拉杆和设置在拉杆另一端的连接板,所述连接板同时与一对导向柱连接。
4、进一步,所述拉杆设置在一对导向柱中心线上。
5、进一步,所述拉杆端部设置为双叉头,所述双叉头端部铰接有弧形连杆,所述锁紧板底部设置有铰接在锁紧板底座上的双叉头i,所述弧形连杆铰接在双叉头i中部,所述锁紧板底座上设置有容纳在双叉头i之间且与弧形连杆内壁适配的单叉头。
6、进一步,所述支承架包括底板以及设置在底板上的左侧板和里侧板,所述夹持板与左侧板对应设置,所述里侧板设置有向远离容纳槽方向延伸且与左侧板平行设置的固定侧板,所述里侧板外壁上设置有固定板,所述导向柱套座设置在固定侧板和固定板之间。
7、进一步,所述夹持板里侧端部向右折弯有折弯板,1对所述导向柱靠接或焊接在折弯板上,导向柱端部依次穿过夹持板、固定侧板、导向柱套座和固定板延伸至左侧板处。
8、进一步,所述夹持板外侧端部向左折弯有用于连接在海绵块内的锯齿限位板。
9、进一步,所述导向柱端部设置有用于连接连接板的螺纹部。
10、进一步,所述锁紧板底座端部设置有套装在拉杆上的拉杆套座,所述拉杆端部设置有螺纹部i,所述拉杆通过限位螺母和锁紧螺母连接在连接板上,所述连接板上设置有容纳拉杆穿过的连接槽。
11、进一步,所述安装架远离支承架的另一端设置有铰接在清理机头上的铰接孔。
12、本实用新型有益效果在于:
13、本实用新型一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构通过三面支承架和夹持板围成容纳海绵块的安装槽,在夹持板上设置有1对导向柱,在支承架背面设置有套装在导向柱上的导向柱套座,通过导向柱在导向柱套座上滑动,实现夹持板的打开或合拢,从而达到快速完成海绵块更换和夹持的目的。
1.一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:包括均布在清理机头顶部的安装架,所述安装架靠近清理机头边缘处的端部设置有支承架以及滑动在支承架上的夹持板,所述支承架和夹持板之间围成有用于容纳海绵块的容纳槽,所述容纳槽顶部以及外侧侧壁上均设置有用于海绵块延伸出容纳槽的开口,所述夹持板上设置有一对水平设置的导向柱,所述支承架里侧外壁上设置有套装在导向柱上的导向柱套座,所述安装架上设置有限制导向柱移动的锁紧机构。
2.根据权利要求1所述的一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:所述锁紧机构包括设置在安装架上的锁紧板底座、铰接在锁紧板底座上的锁紧板、与锁紧板连接且与导向柱平行设置的拉杆和设置在拉杆另一端的连接板,所述连接板同时与一对导向柱连接。
3.根据权利要求2所述的一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:所述拉杆设置在一对导向柱中心线上。
4.根据权利要求2所述的一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:所述拉杆端部设置为双叉头,所述双叉头端部铰接有弧形连杆,所述锁紧板底部设置有铰接在锁紧板底座上的双叉头i,所述弧形连杆铰接在双叉头i中部,所述锁紧板底座上设置有容纳在双叉头i之间且与弧形连杆内壁适配的单叉头。
5.根据权利要求1~4任一项所述的一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:所述支承架包括底板以及设置在底板上的左侧板和里侧板,所述夹持板与左侧板对应设置,所述里侧板设置有向远离容纳槽方向延伸且与左侧板平行设置的固定侧板,所述里侧板外壁上设置有固定板,所述导向柱套座设置在固定侧板和固定板之间。
6.根据权利要求5所述的一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:所述夹持板里侧端部向右折弯有折弯板,1对所述导向柱靠接或焊接在折弯板上,导向柱端部依次穿过夹持板、固定侧板、导向柱套座和固定板延伸至左侧板处。
7.根据权利要求6所述的一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:所述夹持板外侧端部向左折弯有用于连接在海绵块内的锯齿限位板。
8.根据权利要求2所述的一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:所述导向柱端部设置有用于连接连接板的螺纹部。
9.根据权利要求4所述的一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:所述锁紧板底座端部设置有套装在拉杆上的拉杆套座,所述拉杆端部设置有螺纹部i,所述拉杆通过限位螺母和锁紧螺母连接在连接板上,所述连接板上设置有容纳拉杆穿过的连接槽。
10.根据权利要求1所述的一种设在单晶炉副室清理机清扫头上的海绵块夹持机构,其特征在于:所述安装架远离支承架的另一端设置有铰接在清理机头上的铰接孔。
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