一种半导体检测设备及其开关量信号的无线传输装置的制作方法

本发明涉及无线传输，尤其涉及一种半导体检测设备及其开关量信号的无线传输装置。

背景技术：

1、在大规模半导体检测技术中，多利用旋转、摆动或往复运动机构带动被检测器件运动，以利用较少的检测器件进行快速、大量且高效的检测。

2、而在旋转、摆动或往复运动装置中，两个模块之间存在相对运动，若两个模块之间通过普通线缆进行信号传输，容易出现线缆反复弯折、磨损和绝缘破皮，甚至发生断线。

3、为了解决线缆弯折问题，现有技术多在两模块分别设置光发射器和采用光电传感器，利用光信号传输信息。然而这种方式，传感器和发射器的安装位置和光路对准要求比较高，在检测中容易因错位或遮挡的问题导致信号无法传输，不仅设计成本高，可靠性也偏低。

技术实现思路

1、本发明提供了一种半导体检测设备及其开关量信号的无线传输装置，以在降低设计和生产成本的基础上，提高开关量信号的传输可靠性。

2、根据本发明的一方面，提供了一种开关量信号的无线传输装置，开关量信号的无线传输装置，包括：信号检测电路、信号发送电路和信号处理电路；

3、所述信号检测电路包括交流激励电源和谐振电路，所述谐振电路包括接收电感和谐振电容，所述交流激励电源与所述谐振电路连接，所述谐振电路被配置为在所述交流激励电源的激励下谐振产生变化的磁场；

4、所述信号发送电路包括发送电感和通断控制器，所述发送电感设置于所述谐振电路所产生的磁场内，所述通断控制器连接于所述发送电感两端之间的线路上，所述通断控制器被配置为控制所述发送电感的短路和断路；

5、所述信号处理电路与所述谐振电路连接，被配置为对所述谐振电路的谐振电信号进行分析和处理，以获取所述通断控制器的开关量信号。

6、可选地，所述谐振电容包括第一谐振电容和第二谐振电容，所述第一谐振电容与所述接收电感并联形成第一并联组件，所述第二谐振电容与所述第一并联组件串联于所述交流激励电源与接地端之间。

7、可选地，所述信号处理电路包括预处理电路和比较器，所述预处理电路与所述谐振电路连接，被配置为对所述谐振电信号进行预处理；其中，所述预处理包括单向整流处理，以及分压处理、滤波处理和保持处理中的至少一种；

8、所述比较器与所述预处理电路连接，被配置为根据预处理过的所述谐振电信号与预设电信号的对比结果，生成对应的开关量信号。

9、可选地，所述预处理电路包括二极管、第一电阻、第二电阻和第三电容；

10、所述第一电阻连接于所述谐振电路的输出端点与接地端之间；所述第二电阻与所述第三电容并联形成第二并联组件，所述二极管与所述第二并联组件串联于所述输出端点与所述接地端之间；所述二极管的阴极与所述比较器连接。

11、可选地，所述预处理电路包括桥式整流电路或同步整流电路。

12、可选地，所述发送电感能够在预设行程内相对于所述接收电感移动。

13、可选地，所述发送电感与所述接收电感之间的行程距离和所述谐振电路的设计参数，令初始状态下所述接收电感的等效电感量小于第一预设电感量且大于第二预设电感量，而短路状态下所述谐振电路的电压增益单调上升且所述接收电感的等效电感接近第二预设电感量但不小于所述第二预设电感，其中，所述第一预设电感量为令所述谐振电路的电压增益达到极小值时，所述接收电感的等效电感量；所述第二预设电感量为令所述谐振电路的电压增益达到极大值时，所述接收电感的等效电感量。

14、可选地，所述发送电感与所述接收电感之间的行程距离和所述谐振电路的设计参数，令初始状态下所述接收电感的等效电感量小于第二预设电感量，而短路状态下所述谐振电路的电压增益单调下降且所述接收电感的等效电感单调减小，其中，所述第二预设电感量为令所述谐振电路的电压增益达到极大值时，所述接收电感的等效电感量。

15、可选地，所述接收电感和所述发送电感包括空心线圈、磁芯线圈、pcb线圈或柔性电路线圈中的至少一种。

16、根据本发明的另一方面，提供了一种半导体检测设备，半导体检测设备包括：第一方面任意所述的开关量信号的无线传输装置。

17、本发明提供的半导体检测设备及其开关量信号的无线传输装置设置有信号检测电路、信号发送电路和信号处理电路。信号检测电路包括交流激励电源和谐振电路，谐振电路包括接收电感和谐振电容，交流激励电源与谐振电路连接，谐振电路被配置为在交流激励电源的激励下谐振产生变化的磁场。信号发送电路包括发送电感和通断控制器，发送电感设置于谐振电路所产生的磁场内，通断控制器连接于发送电感两端之间的线路上，通断控制器被配置为控制发送电感的短路和断路。信号处理电路与谐振电路连接，被配置为对谐振电路的谐振电信号进行分析和处理，以获取通断控制器的开关量信号，实现了开关量信号的无线传输，利用简单电路避免了因错位或遮挡导致的漏传和误传，在降低了设计和生产成本的基础上，提高了传输可靠性。

18、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

1.一种开关量信号的无线传输装置，其特征在于，包括：信号检测电路、信号发送电路和信号处理电路；

2.根据权利要求1所述的开关量信号的无线传输装置，其特征在于，所述谐振电容包括第一谐振电容和第二谐振电容，所述第一谐振电容与所述接收电感并联形成第一并联组件，所述第二谐振电容与所述第一并联组件串联于所述交流激励电源与接地端之间。

3.根据权利要求1所述的开关量信号的无线传输装置，其特征在于，所述信号处理电路包括预处理电路和比较器，所述预处理电路与所述谐振电路连接，被配置为对所述谐振电信号进行预处理；其中，所述预处理包括单向整流处理，以及分压处理、滤波处理和保持处理中的至少一种；

4.根据权利要求3所述的开关量信号的无线传输装置，其特征在于，所述预处理电路包括二极管、第一电阻、第二电阻和第三电容；

5.根据权利要求3所述的开关量信号的无线传输装置，其特征在于，所述预处理电路包括桥式整流电路或同步整流电路。

6.根据权利要求1-5任一所述的开关量信号的无线传输装置，其特征在于，所述发送电感能够在预设行程内相对于所述接收电感移动。

7.根据权利要求6所述的开关量信号的无线传输装置，其特征在于，所述发送电感与所述接收电感之间的行程距离和所述谐振电路的设计参数，令初始状态下所述接收电感的等效电感量小于第一预设电感量且大于第二预设电感量，而短路状态下所述谐振电路的电压增益单调上升且所述接收电感的等效电感接近第二预设电感量但不小于所述第二预设电感，其中，所述第一预设电感量为令所述谐振电路的电压增益达到极小值时，所述接收电感的等效电感量；所述第二预设电感量为令所述谐振电路的电压增益达到极大值时，所述接收电感的等效电感量。

8.根据权利要求6所述的开关量信号的无线传输装置，其特征在于，所述发送电感与所述接收电感之间的行程距离和所述谐振电路的设计参数，令初始状态下所述接收电感的等效电感量小于第二预设电感量，而短路状态下所述谐振电路的电压增益单调下降且所述接收电感的等效电感单调减小，其中，所述第二预设电感量为令所述谐振电路的电压增益达到极大值时，所述接收电感的等效电感量。

9.根据权利要求1-5所述的开关量信号的无线传输装置，其特征在于，所述接收电感和所述发送电感包括空心线圈、磁芯线圈、pcb线圈或柔性电路线圈中的至少一种。

10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括：权利要求1-9任一所述的开关量信号的无线传输装置。