一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构的制作方法

本技术涉及橡胶支柱，具体是一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构。

背景技术：

1、晶圆是半导体集成电路制造的核心基材，由高纯度硅材料经过提纯、拉晶、切片、抛光等工艺制成，在其生产加工过程中通常会使用机械臂进行转移，但晶圆在转移运动过程中，会出现刮花的情况，为了防止晶圆破损，会将橡胶支柱嵌入移动机械手夹具表面，可以保护晶圆不会出现破裂、刮花等质量问题。

2、现有技术中，一般橡胶支柱材质的设置会采用单一的橡胶硬度材质，会导致橡胶支柱在缓冲和支撑之间存在矛盾，在保证抑制高频率振动的情况下，就不能保证其承载刚性，设计存在不足。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构，以解决现有技术中的问题。

2、本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构，包括连接件，所述连接件由前侧u形块与后侧长条块组合构成，连接件设置为两层，上层为橡胶层，下层为支撑层，连接件的左右两端内部开设有安装孔，安装孔的内部设置有橡胶支柱本体，橡胶支柱本体与连接件之间设置有更换机构。

4、优选的，所述安装孔由卡槽一和卡槽二构成，卡槽一设置在卡槽二的上侧，卡槽一的直径大小大于卡槽二的直径大小。

5、优选的，所述橡胶支柱本体包括表面球头、嵌入凹槽一、嵌入凹槽二和金属嵌件，表面球头设置在嵌入凹槽一的上侧，表面球头呈半圆形设置，表面球头设置在安装优选的，所述嵌入凹槽一的下侧设置有嵌入凹槽二，嵌入凹槽二的外侧与卡槽二的内侧壁紧密贴合。

6、优选的，所述嵌入凹槽二的中部安装有金属嵌件。

7、优选的，所述更换机构包括螺纹孔、连接盘和螺栓，所述螺纹孔设置在金属嵌件的内部，螺纹孔的外侧螺纹连接有螺栓，连接盘设置在金属嵌件的下端，连接盘的外侧固定连接于连接件，螺栓贯穿设置在连接盘的内部。

8、本实用新型的有益效果：

9、1、本实用新型通过设置分层机构，能够将橡胶支柱材质的设置分为多层，由上至下硬度可梯度增加，上层较软，与晶圆之间接触，提高缓冲以及防止晶圆刮花的作用，下层较硬可提高稳定的支撑，这样的设置既能够保证橡胶支柱有效的缓冲作用，还能够保证橡胶支柱的承载刚性；

10、2、本实用新型通过设置更换机构，在橡胶支柱的下层设置了金属嵌件，金属嵌件可提高橡胶支柱整体强度和稳定性，同时在金属嵌件的中部设置了螺纹孔，螺纹孔能够与机械臂夹具连接件中设置的圆孔进行对接，然后利用螺栓可对两者进行连接限位，橡胶支柱下层中部螺纹孔的设置，方便橡胶支柱损坏时的更换。

1.一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构，其特征在于：包括连接件(1)，所述连接件(1)由前侧u形块与后侧长条块组合构成，连接件(1)设置为两层，上层为橡胶层，下层为支撑层，连接件(1)的左右两端内部开设有安装孔(2)，安装孔(2)的内部设置有橡胶支柱本体(3)，橡胶支柱本体(3)与连接件(1)之间设置有更换机构(4)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构，其特征在于，所述安装孔(2)由卡槽一(21)和卡槽二(22)构成，卡槽一(21)设置在卡槽二(22)的上侧，卡槽一(21)的直径大小大于卡槽二(22)的直径大小。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构，其特征在于，所述橡胶支柱本体(3)包括表面球头(31)、嵌入凹槽一(32)、嵌入凹槽二(33)和金属嵌件(34)，表面球头(31)设置在嵌入凹槽一(32)的上侧，表面球头(31)呈半圆形设置，表面球头(31)设置在安装孔(2)的上端，嵌入凹槽一(32)的外侧与卡槽一(21)的内侧壁紧密贴合。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构，其特征在于，所述嵌入凹槽一(32)的下侧设置有嵌入凹槽二(33)，嵌入凹槽二(33)的外侧与卡槽二(22)的内侧壁紧密贴合。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构，其特征在于，所述嵌入凹槽二(33)的中部安装有金属嵌件(34)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆转移机械臂橡胶支柱结构，其特征在于，所述更换机构(4)包括螺纹孔(41)、连接盘(42)和螺栓(43)，所述螺纹孔(41)设置在金属嵌件(34)的内部，螺纹孔(41)的外侧螺纹连接有螺栓(43)，连接盘(42)设置在金属嵌件(34)的下端，连接盘(42)的外侧固定连接于连接件(1)，螺栓(43)贯穿设置在连接盘(42)的内部。