基板承载装置的制作方法

本发明涉及一种基板承载装置，特别是一种适用于湿工艺中的基板承载装置。

背景技术：

1、现有常见的应用于湿工艺中的基板承载装置，大多是利用夹子夹持基板，以使基板能够浸入特定的液体槽中。如此方式，基板被夹持的区域，将无法与液体槽中的液体进行反应，且浸入液体中的夹子的相关活动构件，容易与液体槽中的化学液反应，最终使得夹子的活动构件无法使用。

2、另外，当夹持有基板的基板承载装置离开液体槽时，部分的液体会残留于夹子上，而多个所述残留的液体可能会流到基板上，进而在基板上形成类似泪痕的痕迹。

技术实现思路

1、本发明公开一种基板承载装置，主要用以改善现有利用夹子，夹持基板的基板承载装置所存在的问题。

2、本发明的其中一实施例公开一种基板承载装置，其适用于承载一基板，并使基板没入一液槽中，基板承载装置包含：一框体，其区分为一没入区及一操作区，没入区用以没入液槽中；操作区不会没入液槽中；至少一活动架，其能活动地与框体连接；至少一定位组件，其设置于框体的操作区，定位组件与活动架位于操作区的部分连接，定位组件能被操作，以使活动架于一抵靠位置及一未抵靠位置之间切换；至少一抵靠件，其设置于活动架，抵靠件用以提供基板的侧边抵靠；其中，定位组件位于抵靠位置时，多个抵靠件共同提供基板的不同侧边抵靠；定位组件位于未抵靠位置时，抵靠件不与基板接触。

3、可选地，多个抵靠件设置于框体及活动架的同一侧，且多个抵靠件是突出于框体及活动架设置。

4、可选地，基板承载装置包含两个活动架及两个定位组件；两个活动架与两个定位组件连接；设置于其中一个活动架的多个抵靠件，用以抵靠基板的其中一侧边；设置于另一个活动架的多个抵靠件，用以抵靠基板的另一侧边。

5、可选地，框体设置有一支撑件，支撑件的两端固定于框体，而支撑件横跨于框体之中，支撑件用以将框体区隔为操作区及没入区；定位组件包含：一固定件、一活动件及一限位件；固定件的两端分别固定于框体及支撑件；活动件与活动架连接，活动件能被操作，以带动活动架向靠近或远离框体的方向移动，以使活动架于抵靠位置及未抵靠位置之间切换；限位件与活动件连接，限位件的一部分穿过支撑件，且限位件具有至少一限位结构，限位结构能与支撑件相互配合，以使活动件及活动架，定位于抵靠位置或未抵靠位置。

6、可选地，定位组件还包含多个复位件，各个复位件的两端分别固定于活动件及固定件；活动件受操作，以向靠近支撑件的方向移动时，多个复位件将产生回复力。

7、可选地，限位件包含一柱体，柱体的一端设置有两个限位结构，两个限位结构分别为柱状结构，两个柱状结构交叉地间隔设置于柱体；固定件具有一辅助限位结构及一容置凹槽；辅助限位结构能与各个限位结构相互卡合，容置凹槽能容置各个限位结构；活动架处于抵靠位置时，其中一个限位结构与其中一个辅助限位结构相互卡合，而另一个限位结构位于容置凹槽中；活动架处于未抵靠位置时，其中一个限位结构与其中一个辅助限位结构相互卡合，而另一个限位结构位于容置凹槽中。

8、可选地，抵靠件为塑料结构，且抵靠件具有一凹槽；抵靠件能拆卸地固定于框体的一辅助固定结构或活动架的一辅助固定结构。

9、可选地，设置框体的多个抵靠件用以抵靠基板的下缘，设置于活动架的多个抵靠件用以抵靠基板的侧边。

10、可选地，设置框体的部分抵靠件用以抵靠基板的下缘，设置框体的部分抵靠件用以抵靠基板的其中一侧边，设置于活动架的多个抵靠件用以抵靠基板的另一侧边。

11、综上所述，本发明的基板承载装置，通过框体、活动架、定位组件及多个抵靠件的设计，配合没入区及操作区等设计，可以有效地改善现有利用夹子夹持基板的基板承载装置所存在的问题。

12、为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

1.一种基板承载装置，其特征在于，所述基板承载装置适用于承载一基板，并使所述基板没入一液槽中，所述基板承载装置包含：

2.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，多个所述抵靠件设置于所述框体及所述活动架的同一侧，且多个所述抵靠件是突出于所述框体及所述活动架设置。

3.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述基板承载装置包含两个所述活动架及两个所述定位组件；两个所述活动架与两个所述定位组件连接；设置于其中一个所述活动架的多个所述抵靠件，用以抵靠所述基板的其中一侧边；设置于另一个所述活动架的多个所述抵靠件，用以抵靠所述基板的另一侧边。

4.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述框体设置有一支撑件，所述支撑件的两端固定于所述框体，而所述支撑件横跨于所述框体之中，所述支撑件用以将所述框体区隔为所述操作区及所述没入区；所述定位组件包含：一固定件、一活动件及一限位件；所述固定件的两端分别固定于所述框体及所述支撑件；所述活动件与所述活动架连接，所述活动件能被操作，以带动所述活动架向靠近或远离所述框体的方向移动，以使所述活动架于所述抵靠位置及所述未抵靠位置之间切换；所述限位件与所述活动件连接，所述限位件的一部分穿过所述支撑件，且所述限位件具有至少一限位结构，所述限位结构能与所述支撑件相互配合，以使所述活动件及所述活动架，定位于所述抵靠位置或所述未抵靠位置。

5.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，所述定位组件还包含多个复位件，各个所述复位件的两端分别固定于所述活动件及所述固定件；所述活动件受操作，以向靠近所述支撑件的方向移动时，多个所述复位件将产生回复力。

6.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，所述限位件包含一柱体，所述柱体的一端设置有两个所述限位结构，两个所述限位结构分别为柱状结构，两个所述柱状结构交叉地间隔设置于所述柱体；所述固定件具有一辅助限位结构及一容置凹槽；所述辅助限位结构能与各个所述限位结构相互卡合，所述容置凹槽能容置各个所述限位结构；所述活动架处于所述抵靠位置时，其中一个所述限位结构与其中一个所述辅助限位结构相互卡合，而另一个所述限位结构位于所述容置凹槽中；所述活动架处于所述未抵靠位置时，其中一个所述限位结构与其中一个所述辅助限位结构相互卡合，而另一个所述限位结构位于所述容置凹槽中。

7.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述抵靠件为塑料结构，且所述抵靠件具有一凹槽；所述抵靠件能拆卸地固定于所述框体的一辅助固定结构或所述活动架的一辅助固定结构。

8.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，设置所述框体的多个所述抵靠件用以抵靠所述基板的下缘，设置于所述活动架的多个所述抵靠件用以抵靠所述基板的侧边。

9.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，设置所述框体的部分所述抵靠件用以抵靠所述基板的下缘，设置所述框体的部分所述抵靠件用以抵靠所述基板的其中一侧边，设置于所述活动架的多个所述抵靠件用以抵靠所述基板的另一侧边。