一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法与流程

本发明涉及精密电子光学设备，尤其涉及一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法。

背景技术：

1、在扫描电子显微镜、电子束曝光系统及电子束加工设备中，电子束的聚焦和扫描控制依赖电磁物镜与偏转器组件，电磁物镜负责聚焦，偏转器负责扫描方向控制，两者轴线一致性直接决定电子束分辨率和扫描精度。

2、现有技术中，电磁物镜与偏转器多为分体式，通过机械装配实现同轴安装，但电磁透镜磁场中心与机械中心存在偏差，装配需反复手动调整，导致效率低、同轴度难控，传统铁芯多为一体或简单拼接，易产生磁通泄漏和涡流损耗，磁场均匀性差。

3、针对上述问题，亟需一种在制造过程中自动检测磁场中心并实时调整偏转器位置的自校准方法，以实现高精度集成。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本申请提供一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法。

2、本申请提供的一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法采用如下的技术方案：

3、一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法，包括以下步骤：

4、s1、构建交错拼块铁芯；

5、s2、在铁芯外侧绕制励磁线圈形成电磁透镜；

6、s3、安装定子组件与转子端板；

7、s4、将定子组件安装于物镜连接筒内部；

8、s5、安装带有偏心调节环和3组m3精密调节螺钉的可调偏转器组件，所述可调偏转器组件包括偏转器光阑和均匀分布的8级弧形子电极，所述子电极通过陶瓷绝缘柱固定于所述偏心调节环上；

9、s6、对电磁透镜进行磁场中心检测；

10、s7、根据检测结果，通过计算机闭环反馈控制所述偏心调节环上的3组m3精密调节螺钉，自动调整所述可调偏转器组件的位置，使电子光学轴与磁场中心轴线重合；

11、s8、锁定组件并进行封装。

12、可选的，所述交错拼块铁芯由上下两层扇形拼块组成，两层拼块沿圆周方向错位22.5°排列。

13、可选的，所述励磁线圈采用对称分组绕线方式，总匝数为320-500匝。

14、可选的，所述磁场中心检测采用霍尔传感器阵列或电子束探针，检测时向励磁线圈通入0.3-0.5a低电流。

15、可选的，所述偏转器组件包括均匀分布的8级弧形子电极。

16、可选的，所述偏心调节环为铝合金结构，偏心量0.1mm，3组m3精密调节螺钉间距120°布置，与计算机闭环反馈系统连接，实现x/y方向0-200μm自动微调。

17、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

18、自校准精度高，采用磁场检测和闭环微调机构实现自动对准，提升同轴度；磁场均匀性高，22.5°交错拼块结构消除磁通泄漏，降低涡流损耗，提升磁场均匀度；装配效率高，模块化和自校准一次完成，缩短单件装配时间。

1.一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法，其特征在于：所述交错拼块铁芯由上下两层扇形拼块组成，两层拼块沿圆周方向错位22.5°排列。

3.根据权利要求1所述的一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法，其特征在于：所述励磁线圈采用对称分组绕线方式，总匝数为320-500匝。

4.根据权利要求1所述的一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法，其特征在于：所述磁场中心检测采用霍尔传感器阵列或电子束探针，检测时向励磁线圈通入0.3-0.5a低电流。

5.根据权利要求1所述的一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法，其特征在于：所述偏转器组件包括均匀分布的8级弧形子电极。

6.根据权利要求1所述的一种电子束物镜偏转组件自校准制造方法，其特征在于：所述偏心调节环为铝合金结构，偏心量0.1mm，3组m3精密调节螺钉间距120°布置，与计算机闭环反馈系统连接，实现x/y方向0-200μm自动微调。