一种可调节腔体底座的制作方法

本技术涉及准分子激光器，尤其涉及一种可调节腔体底座。

背景技术：

1、分子激光器是一种以惰性气体和卤素气体混合物为工作介质的高功率脉冲激光器，因其波长短、能量高、分辨率优异等特点，被广泛应用于半导体光刻、医疗手术、材料加工等领域。准分子激光器的核心是其腔体模块，内部包含放电电极、预电离装置、气体循环系统及光学谐振腔等关键部件。该模块重量大（数十至上百公斤），且需要定期进行维护（如更换气体、清洁电极或光学窗口）。在维护后重新安装或因实验需求调整光路时，必须对腔体的空间位置和角度进行精密调节，以确保激光输出的方向和模式符合要求。

2、目前，常见的做法是使用通用的光学支撑架或简单的工装底座来固定腔体。这些方式存在显著缺陷：装拆困难、调节能力有限或无调节功能、缺乏重复定位精度、稳定性不足，因此急需设计一种集快速拆装、精密调节与稳定锁紧于一体的准分子激光器腔体的调节底座。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可调节腔体底座，具备快速拆装、多自由度精密调节与稳定锁紧的优点，解决了上述背景技术提出的问题。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种可调节腔体底座，包括基座、双支撑调节结构a、双支撑调节结构b、腔体模块、把手，所述基座的顶面对称开设有定位销孔，所述基座的一侧安装有双支撑调节结构a，所述基座的表面位于双支撑调节结构a的下方对称开设有滑槽，其中一个所述滑槽内部转动安装有调节螺杆a，所述基座的另一侧安装有双支撑调节结构b，所述双支撑调节结构a与双支撑调节结构b之间安装有腔体模块，所述基座的顶部位于双支撑调节结构a、双支撑调节结构b之间对称固定安装有把手，且安装在定位销孔内部。

3、通过上述结构设置，本集成了垂直升降、俯仰和偏摆调节功能，且均采用精密丝杆驱动，调节分辨率高，能够满足激光出光方向的高精度校准需求，并且整个基座采用刚性结构设计，并在双支撑调节结构a、双支撑调节结构b上设置了锁紧机构，调节完毕后可全面锁死，有效抵抗工作振动，确保腔体长期稳定工作。

4、优选的，所述双支撑调节结构a包括黄铜滑块a、黄铜滑块b、球面双头螺栓a，所述黄铜滑块a与黄铜滑块b分别滑动安装在滑槽内部，且黄铜滑块a螺纹套接在调节螺杆a外圈，所述黄铜滑块a与黄铜滑块b顶部分别固定安装有球面双头螺栓a，所述黄铜滑块a与黄铜滑块b一侧位于滑槽内部分别设有压块，所述压块通过螺钉安装在滑槽底壁。

5、通过上述结构设置，扭动调节螺杆a，调节螺杆a外圈与黄铜滑块a内部之间进行螺动，由于黄铜滑块a被限位滑动在滑槽内部，那么调节螺杆a则会带动黄铜滑块a进行移动，实现对双支撑调节结构a位置的调整。

6、优选的，所述球面双头螺栓a的外圈上下均螺纹安装有螺母a，所述球面双头螺栓a外圈之间滑动套接有调节固定条，且端部位于螺母a之间，所述球面双头螺栓a外圈位于上下螺母a与调节固定条之间放置有锥面垫圈，所述调节固定条内部对称固定套接有连接柱，所述调节固定条通过连接柱与腔体模块之间连接。

7、通过上述结构设置，转动球面双头螺栓a外圈的上下螺母a，使调节固定条两端位于螺母a之间或者被螺母a进行带动移动，并且由于锥面垫圈的设置，可以使调节固定条与黄铜滑块a之间自动找平。

8、优选的，所述双支撑调节结构b包括压板、黄铜滑块c、球面双头螺栓b，所述黄铜滑块c滑动安装在基座的一侧内部，且位于基座的中部，所述黄铜滑块c顶部位于基座的中部设有压板，所述压板通过螺钉安装在基座的内部，所述黄铜滑块c内部固定安装有球面双头螺栓b，所述基座的一侧与黄铜滑块c内部之间设有调节螺杆b，所述调节螺杆b与黄铜滑块c之间螺纹连接。

9、通过上述结构设置，转动调节螺杆b，使黄铜滑块c位于调节螺杆b外圈进行移动，且由于压板与基座之间的限制，使黄铜滑块c只能位于基座内部进行直线运动。

10、优选的，所述球面双头螺栓b上下外圈螺纹套接有螺母b，所述球面双头螺栓b外圈滑动安装有t型调节固定块，且位于螺母b之间，所述螺母b与t型调节固定块之间设有球面垫片，所述t型调节固定块靠近腔体模块的一面对称安装有双头内螺纹连接柱，所述t型调节固定块通过双头内螺纹连接柱与腔体模块之间相连接。

11、通过上述结构设置，扭动球面双头螺栓b外圈的螺母b，螺母b螺动时产生的移动带动t型调节固定块位置的移动，实现对t型调节固定块垂直方向的位置调整，并且由于球面垫片的设置，便于t型调节固定块水平找平的同时减少振动。

12、本实用新型具备以下效果：

13、1、该可调节腔体底座，通过基座、双支撑调节结构a、双支撑调节结构b、腔体模块等结构实现精密调节、稳定工作，通过黄铜滑块之间的横向调节与球面双头螺栓a、球面双头螺栓b的垂直调节，从而实现垂直升降、俯仰和偏摆调节功能，且均采用精密丝杆驱动，调节分辨率高，能够满足激光出光方向的高精度校准需求，并且由于螺母a、螺母b与螺钉之间固定锁紧，调节完毕后可全面锁死，有效抵抗工作振动，确保腔体长期稳定工作，起到了精密调节、稳定工作的效果。

14、2、该可调节腔体底座，通过基座、定位销孔、腔体模块、把手等结构设计，实现快速装拆、高精度定位定位销孔和两侧把手的配合，单人即可在几分钟内完成沉重腔体的安装或拆卸，无需抬升对孔，操作安全，极大提升了维护效率，高精度的销孔定位方式，保证了每次安装的重复定位误差极小，腔体拆装后光路变化微小，基本无需重新调光，节省了大量调试时间，起到了快速装拆、高精度定位的效果。

1.一种可调节腔体底座，包括基座（1）、双支撑调节结构a（2）、双支撑调节结构b（3）、腔体模块（4）、把手（5），其特征在于：所述基座（1）的顶面对称开设有定位销孔，所述基座（1）的一侧安装有双支撑调节结构a（2），所述基座（1）的表面位于双支撑调节结构a（2）的下方对称开设有滑槽（11），其中一个所述滑槽（11）内部转动安装有调节螺杆a（12），所述基座（1）的另一侧安装有双支撑调节结构b（3），所述双支撑调节结构a（2）与双支撑调节结构b（3）之间安装有腔体模块（4），所述基座（1）的顶部位于双支撑调节结构a（2）、双支撑调节结构b（3）之间对称固定安装有把手（5），且安装在定位销孔内部。

2.根据权利要求1所述的一种可调节腔体底座，其特征在于：所述双支撑调节结构a（2）包括黄铜滑块a（21）、黄铜滑块b（22）、球面双头螺栓a（23），所述黄铜滑块a（21）与黄铜滑块b（22）分别滑动安装在滑槽（11）内部，且黄铜滑块a（21）螺纹套接在调节螺杆a（12）外圈，所述黄铜滑块a（21）与黄铜滑块b（22）顶部分别固定安装有球面双头螺栓a（23），所述黄铜滑块a（21）与黄铜滑块b（22）一侧位于滑槽（11）内部分别设有压块（24），所述压块（24）通过螺钉安装在滑槽（11）底壁。

3.根据权利要求2所述的一种可调节腔体底座，其特征在于：所述球面双头螺栓a（23）的外圈上下均螺纹安装有螺母a，所述球面双头螺栓a（23）外圈之间滑动套接有调节固定条（25），且端部位于螺母a之间，所述球面双头螺栓a（23）外圈位于上下螺母a与调节固定条（25）之间放置有锥面垫圈，所述调节固定条（25）内部对称固定套接有连接柱（26），所述调节固定条（25）通过连接柱（26）与腔体模块（4）之间连接。

4.根据权利要求3所述的一种可调节腔体底座，其特征在于：所述双支撑调节结构b（3）包括压板（31）、黄铜滑块c（32）、球面双头螺栓b（33），所述黄铜滑块c（32）滑动安装在基座（1）的一侧内部，且位于基座（1）的中部，所述黄铜滑块c（32）顶部位于基座（1）的中部设有压板（31），所述压板（31）通过螺钉安装在基座（1）的内部，所述黄铜滑块c（32）内部固定安装有球面双头螺栓b（33），所述基座（1）的一侧与黄铜滑块c（32）内部之间设有调节螺杆b（34），所述调节螺杆b（34）与黄铜滑块c（32）之间螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种可调节腔体底座，其特征在于：所述球面双头螺栓b（33）上下外圈螺纹套接有螺母b，所述球面双头螺栓b（33）外圈滑动安装有t型调节固定块（35），且位于螺母b之间，所述螺母b与t型调节固定块（35）之间设有球面垫片，所述t型调节固定块（35）靠近腔体模块（4）的一面对称安装有双头内螺纹连接柱（36），所述t型调节固定块（35）通过双头内螺纹连接柱（36）与腔体模块（4）之间相连接。