显示面板主隔垫物的质量预测方法、终端设备及存储介质与流程

本技术涉及虚拟量测，具体提供一种显示面板主隔垫物的质量预测方法、终端设备及存储介质。

背景技术：

1、在显示面板制造中，主隔垫物（main photo spacer, main ps）的高度（main psheight, mpsh）和段差（ms）是决定面板光学与机械性能的核心参数，其首件检测是光刻工艺启动的关键环节。

2、然而，当前首件检验流程存在以下技术缺陷：第一，现有方式要求玻璃基板走完完整光刻工序后，将玻璃基板送至离线膜厚仪进行测量，该过程耗时数小时，期间整批玻璃基板处于等待状态，产线无法继续推进，直接造成产能损失；第二，一旦首件mpsh或ms不合格，整批产品即面临报废风险，造成巨大的经济损失。

技术实现思路

1、本技术旨在解决上述技术问题，即，解决现有首件检验流程存在的检测滞后及报废风险高的问题。

2、在第一方面，本技术提供一种显示面板主隔垫物的质量预测方法，应用于服务器端，包括：

3、接收客户端发送的第一预测请求，提取所述第一预测请求中携带的工艺参数，其中，所述工艺参数包括光刻胶涂布厚度预设值、曝光机剂量预设值、显影液温度预设值和烘烤温度预设值；

4、获取量测设备在预设时间段内的第一量测数据，其中，所述第一量测数据包括涂布单元转速时间序列数据和加速度变化曲线、曝光灯管输出能量的衰减曲线、显影液的浓度值和温度值以及烘烤单元的温度分布数据；

5、将所述工艺参数和所述第一量测数据进行特征融合，得到第一融合特征张量；

6、将所述第一融合特征张量发送至算法服务模块，并接收所述算法服务模块返回的主隔垫物高度预估值和段差预估值；其中，所述段差为所述主隔垫物区域与非主隔垫物区域之间的高度差；

7、根据所述主隔垫物高度预估值和所述段差预估值，生成待预测的显示面板主隔垫物的质量预测结果，并将所述质量预测结果返回至所述客户端。

8、可选地，所述获取量测设备在预设时间段内的第一量测数据，包括：

9、通过第一通信接口向所述量测设备发送数据获取指令；

10、接收所述量测设备通过所述第一通信接口返回的所述量测设备在预设时间段内的第一量测数据；

11、其中，所述量测设备包括涂布机、曝光机、显影机和烘烤机。

12、可选地，所述将所述工艺参数和所述第一量测数据进行特征融合，得到第一融合特征张量，包括：

13、向数据库引擎发送数据处理请求，所述数据处理请求携带所述第一量测数据；

14、接收所述数据库引擎返回的有序特征数据；其中，所述有序特征数据为所述数据库引擎根据预配置的特征配置数据对所述第一量测数据进行特征提取和对齐后生成的定长有序数组；

15、将所述有序特征数据和所述工艺参数进行特征拼接，得到所述第一融合特征张量。

16、可选地，所述将所述第一融合特征张量发送至算法服务模块，并接收所述算法服务模块返回的主隔垫物高度预估值和段差预估值，包括：

17、将所述第一融合特征张量封装为第一推理请求，并将所述第一推理请求发送至算法服务模块；所述第一推理请求包含第一融合特征张量和待预测的显示面板主隔垫物的产品信息；

18、接收所述算法服务模块返回的所述主隔垫物高度预估值和所述段差预估值。

19、可选地，所述根据所述主隔垫物高度预估值和所述段差预估值，生成待预测的显示面板主隔垫物的质量预测结果，并将所述质量预测结果发送给所述客户端，包括：

20、获取第一预设阈值，第二预设阈值，第三预设阈值和第四预设阈值，其中，所述第一预设阈值为待预测的显示面板主隔垫物的主隔垫物高度规格上限值，所述第二预设阈值为待预测的显示面板主隔垫物的主隔垫物高度规格下限值，所述第三预设阈值为待预测的显示面板主隔垫物的段差规格上限值，所述第四预设阈值为待预测的显示面板主隔垫物的段差规格下限值；

21、若所述主隔垫物高度预估值大于或等于所述第二预设阈值且小于或等于所述第一预设阈值，且所述段差预估值大于或等于所述第四预设阈值且小于或等于所述第三预设阈值，则生成第一质量预测结果，并将所述第一质量预测结果发送给所述客户端，其中，所述第一质量预测结果表征所述隔垫物质量合格；

22、若所述主隔垫物高度预估值大于所述第一预设阈值，或者，所述主隔垫物高度预估值小于所述第二预设阈值，或者，所述段差预估值大于所述第三预设阈值，或者，所述段差预估值小于所述第四预设阈值，则生成第二质量预测结果，其中，所述第二质量预测结果表征所述隔垫物质量不合格。

23、可选地，所述在生成第二质量预测结果之后，所述方法还包括：

24、将所述主隔垫物高度预估值和所述段差预估值输入至预设分析模块，得到所述预设分析模块输出的工艺调整参数，并将所述工艺调整参数发送至所述客户端。

25、可选地，所述方法还包括：

26、接收所述客户端发送的第二预测请求，其中，所述第二预测请求携带修正后的工艺参数；

27、将所述修正后的工艺参数和所述第一量测数据进行特征融合，得到第二融合特征张量；

28、将所述第二融合特征张量发送至所述算法服务模块，并接收所述算法服务模块返回的修正后的主隔垫物高度预估值和修正后的段差预估值；

29、根据所述修正后的主隔垫物高度预估值和所述修正后的段差预估值，生成第三质量预测结果，并将所述第三质量预测结果返回至所述客户端。

30、在第二方面，本技术提供一种显示面板主隔垫物的质量预测方法，应用于客户端，包括：

31、获取用户输入的工艺参数，根据所述工艺参数生成第一预测请求，其中，所述第一预测请求携带用户输入的工艺参数；所述工艺参数包括光刻胶涂布厚度预设值、曝光机剂量预设值、显影液温度预设值和烘烤温度预设值；

32、向服务器端发送第一预测请求；

33、接收所述服务器端返回的质量预测结果。

34、可选地，所述接收所述服务器端返回的质量预测结果，包括：

35、接收所述服务器端返回的第一质量预测结果，其中，所述第一质量预测结果表征隔垫物质量合格；或者，

36、接收所述服务器端返回的第二质量预测结果与工艺调整参数，其中，所述第二质量预测结果表征隔垫物质量不合格，所述工艺调整参数是所述服务器端在生成所述第二质量预测结果后，将所述主隔垫物高度预估值和所述段差预估值输入至预设分析模块得到的。

37、可选地，所述方法还包括：

38、若接收到所述工艺调整参数，向所述服务器端发送第二预测请求；其中，所述第二预测请求携带修正后的工艺参数；

39、接收所述服务器端返回的第三质量预测结果，其中，所述第三质量预测结果是所述服务器端根据修正后的主隔垫物高度预估值和修正后的段差预估值生成的，所述修正后的主隔垫物高度预估值和所述修正后的段差预估值是所述服务器端将所述修正后的工艺参数和所述第一量测数据进行特征融合得到第二融合特征张量后，将所述第二融合特征张量发送至所述算法服务模块进行推理得到的。

40、在第三方面，本技术提供一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如本技术第一方面任一项所述的方法；或者，所述处理器执行所述计算机程序时实现如本技术第二方面任一项所述的方法。

41、在第四方面，本技术提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如本技术第一方面任一项所述的方法；或者，所述计算机程序被处理器执行时实现如本技术第二方面任一项所述的方法。

42、在采用上述技术方案的情况下，本技术实施例提供的显示面板主隔垫物的质量预测方法，在光刻工艺开始前，通过客户端获取用户输入的工艺参数，向服务器端发送携带用户输入的工艺参数的第一预测请求，服务器端通过将用户输入的工艺参数与量测设备在预设时间段内的历史工况数据进行特征融合，得到第一融合特征张量，并将第一融合特征张量输入至算法服务模块进行推理，得到待预测的显示面板主隔垫物的质量预测结果，并在客户端进行可视化显示。本技术在光刻工艺开始前即完成对主隔垫物高度和段差的预测，无需等待首件产品走完完整光刻工序并送至离线量测设备进行实测。因此，本技术消除了传统首件检验中数小时的等待时间，整批玻璃基板无需停滞，产线可连续推进，有效提升了光刻工序的产能。当预测结果显示主隔垫物高度或段差不合格时，可在光刻机正式生产前主动调整工艺参数，避免了传统方式中因首件不合格导致的整批报废，显著降低了制造成本。