一种面向半导体批量工艺管理的轻量化Seq2Seq推理部署系统和方法与流程

本发明属于智能制造系统，具体涉及面向半导体企业erp系统的轻量化工艺批量生成与检测部署系统。

背景技术：

1、半导体制造企业每周需生成、校验数万条工艺流程，对系统的处理吞吐量、响应速度、部署成本有严格要求。

2、现有大参数量nlp模型（如bert类、大语言模型）虽具备一定文本理解能力，但存在模型体积大、训练周期长、推理延迟高、部署算力成本高的问题，无法匹配产线批量处理的吞吐量要求；且外部api依赖会带来数据安全风险与稳定性问题。

技术实现思路

1、本发明旨在克服上述缺陷，在满足工艺生成与错误检测准确率要求的前提下，实现低算力成本、低延迟、高吞吐量的生产级部署，提供了一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统和方法，该系统适配企业现有sap等erp系统架构。

2、本发明提供了一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征在于：包含工艺流生成与错误检测推理模块；

3、工艺流生成与错误检测推理模块，包含工艺生成子模块和错误检测子模块；

4、其中，工艺生成子模块，针对输入的产品信息、设计信息与生产约束，输出合规的工序代码；

5、错误检测子模块，针对输入的存量或新生成的工序代码，识别缺失工序、错误工序代码、无效序列、参数不匹配及其他偏离标准的异常。

6、进一步地，本发明提供的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征还在于：

7、工艺流生成与错误检测推理模块以seq2seq模型为基础。

8、进一步地，本发明提供的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征还在于：

9、工艺流生成与错误检测推理模块对接erp系统。

10、进一步地，本发明提供的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征还在于：

11、工艺流生成与错误检测推理模块支持批量工艺处理。

12、进一步地，本发明提供的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征还在于：

13、采用四层分层架构，自下而上依次为数据层、nlp引擎层、集成层、应用层：

14、其中，工业文本轻量化域适配模块、工艺流生成与错误检测推理模块部署于nlp引擎层；

15、工业文本轻量化域适配模块，实现领域语义归一化与特征增强；

16、工艺流生成与错误检测推理模块，生成工艺流程，并将生成的流程与已经存在的流程对比，实现工艺生成任务和错误检测；

17、数据层统一管理输入源数据与历史数据，并对异构数据进行统一格式化；

18、集成层，提供api接口对接sap系统，支持定时后台任务调度，实现批量工艺生成与校验；

19、应用层，提供web端交互界面，支持工艺生成、校验、人工复核功能，配置角色权限管控。

20、此外，本发明提供的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署方法，其特征在于，包含如下步骤：

21、基于seq2seq生成工艺流，同步校验工序异常。

22、进一步地，本发明提供的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署方法，其特征还在于：

23、工艺流的生成方法为：基于输入的产品信息、设计信息与生产约束，按照半导体工艺规则，输出合规的工序代码有序序列。

24、进一步地，本发明提供的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署方法，其特征还在于：

25、错误检测的方法为：基于输入的存量或新生成的工艺流，识别缺失工序、错误工序代码、无效序列、参数不匹配等偏离标准的异常。

26、进一步地，本发明提供的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署方法，其特征还在于：

27、错误检测的步骤为：

28、s1.对工艺流编码进行理解；

29、s2.与预设/学到的标准工艺规律、顺序、约束对比；

30、s3.对每一道工序、每一段序列计算合规概率，低于阈值判断为异常或直接对比每一道工序、每一段序列的合规性，当不符合时判定为异常。

31、本发明作用和效果：

32、本发明的系统部署成本低，模型体积小，无需高额算力投入，可直接部署于企业现有标准服务器基础设施。

33、本发明的系统处理效率高，单条推理约1秒，支持批量调度，可满足每周数万条的生产处理需求。

34、本发明的系统数据安全可控，模型本地化部署，无需调用外部大模型api，避免生产核心数据外泄风险。

35、本发明的系统落地便捷，可通过标准化api快速对接现有sap系统，不改变企业原有生产管理流程。

1.一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征在于：包含工艺流生成与错误检测推理模块；

2.如权利要求1所述的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征在于：

3.如权利要求1所述的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征在于：

4.如权利要求1所述的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征在于：

5.如权利要求1所述的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署系统，其特征在于：

6.一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署方法，其特征在于，包含如下步骤：

7.如权利要求6所述的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署方法，其特征在于：

8.如权利要求6所述的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署方法，其特征在于：

9.如权利要求6所述的一种面向半导体批量工艺管理的轻量化seq2seq推理部署方法，其特征在于：