一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统的制作方法

本技术涉及的是半导体量测领域，具体涉及一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统。

背景技术：

1、中国专利cn203787397u公开了一种晶圆加热装置，包括加热腔、基座、加热器、温度传感器、控制器、固定凸台和功率计的晶圆加热装置，通过温度传感器监测加热温度和功率计监测热功率，确保晶圆在加热过程中保持均匀温度，并通过圆环形固定凸台防止晶圆倾斜。上述现有技术更侧重考虑加热的均匀性以及加热装置的结构组成，对于加热方面的安全控制，采用温度控制器实施温度监控，未考虑温度传感器失效及失效后的保护措施。

2、综上所述，本实用新型设计了一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统

技术实现思路

1、针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，适用于通过加热干燥的方法去除晶圆表面残留药液，可以快速加热晶圆至目标温度并进行温度控制，同时采用三种不同类型的温度传感器，用于温度的控制和报警，避免使用同一类型传感器发生相同的故障，配合一个急停按钮，便于外部操作人员进行急停操作。

2、为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，包括电源、接触器、调整器、透明外壳、红外测温传感器、晶圆、急停按钮、plc控制器，信号隔离器，温控开关、热电阻和加热盘，调整器通过动力线与加热盘相连，加热盘上放置有晶圆，加热盘外部设置有透明外壳，透明外壳上设置有红外测温传感器，红外测温传感器通过信号线与plc控制器相连，加热盘底部设置有热电阻和温控开关，热电阻通过信号线及信号隔离器与plc控制器、调整器相连，温控开关通过接触器与急停按钮相连，接触器还通过动力线与电源、调整器相连，接触器通过信号线与plc控制器相连。

3、作为优选，所述的plc控制器采集的热电阻和红外测温传感器的温度值进行比较，来控制接触器的通断。

4、作为优选，所述的调整器接收的热电阻温度信号，超过设定的加热盘目标加热温度，调整器报警并停止加热。

5、作为优选，所述的温控开关限制加热盘最高加热温度，并控制接触器的通断。

6、作为优选，所述的急停按钮用于手动控制接触器断开。

7、作为优选，所述调整器为晶闸管调整器，内置pid控制程序。

8、作为优选，所述的温控开关为机械式或电子式温控开关，独立于plc控制器和调整器工作。

9、作为优选，所述的急停按钮为常闭按钮，串联在所述接触器的线圈控制回路中。

10、作为优选，所述的接触器的通断状态由所述调整器、plc控制器、温控开关及急停按钮中的任一个触发控制。

11、作为优选，所述的热电阻的测温信号分为两路，一路直接输入所述调整器作为pid控制的反馈信号，另一路经信号隔离器输入所述plc控制器作为监控信号。

12、本实用新型的有益效果：

13、本实用新型通过热电阻和调整器实施温度控制和报警；通过plc控制器采集的热电阻和红外测温传感器的温度值进行比较，来控制接触器的通断；通过温控开关来限制加热盘最高加热温度，同时控制接触器的通断；通过急停按钮手动控制加热过程的停止。通过以上四种手段来保证快速加热能够安全地进行。大大提升了干燥速率、检验速率以及控制系统的安全性。

1.一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，包括电源、接触器、调整器、透明外壳、红外测温传感器、晶圆、急停按钮、plc控制器，信号隔离器，温控开关、热电阻和加热盘，调整器通过动力线与加热盘相连，加热盘上放置有晶圆，加热盘外部设置有透明外壳，透明外壳上设置有红外测温传感器，红外测温传感器通过信号线与plc控制器相连，加热盘底部设置有热电阻和温控开关，热电阻通过信号线及信号隔离器与plc控制器、调整器相连，温控开关通过接触器与急停按钮相连，接触器还通过动力线与电源、调整器相连，接触器通过信号线与plc控制器相连。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，所述的plc控制器采集的热电阻和红外测温传感器的温度值进行比较，来控制接触器的通断。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，所述的调整器接收的热电阻温度信号，超过设定的加热盘目标加热温度，调整器报警并停止加热。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，所述的温控开关限制加热盘最高加热温度，并控制接触器的通断。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，所述的急停按钮用于手动控制接触器断开。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，所述调整器为晶闸管调整器，内置pid控制程序。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，所述的温控开关为机械式或电子式温控开关，独立于plc控制器和调整器工作。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，所述的急停按钮为常闭按钮，串联在所述接触器的线圈控制回路中。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，所述的接触器的通断状态由所述调整器、plc控制器、温控开关及急停按钮中的任一个触发控制。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统，其特征在于，所述的热电阻的测温信号分为两路，一路直接输入所述调整器作为pid控制的反馈信号，另一路经信号隔离器输入所述plc控制器作为监控信号。