设备控制辅助装置、设备控制辅助方法及设备控制辅助程序与流程

本发明涉及一种设备控制辅助装置、设备控制辅助方法及设备控制辅助程序。本申请基于2024年4月24日向日本专利局申请的特愿2024-070327号主张优先权，并在此援用其内容。

背景技术：

1、已知用于控制包含各种机器而构成的设备的控制装置。在这种控制装置中，基于与设备的特性相关的工艺值来实施控制，但在工艺值为难以实际测量的参数的情况下，或即使能够实际测量但例如由于降低成本等理由而优选避免实际测量的参数的情况下，有时使用模拟设备的举动的预测模型来得到工艺值作为运算上的预测值。这种预测模型例如能够通过将设备的过去的运行数据作为学习数据的机器学习来构建。例如，在专利文献1中，通过对设备的每个运行条件学习预测模型，即使在切换运行条件时也能适当地进行工艺值的预测。

2、以往技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本专利第7222943号

技术实现思路

1、发明要解决的技术课题

2、在上述专利文献1中，通过对每个运行条件进行学习来构建预测模型，但根据运行条件，能够用作学习数据的数据点数量可能会不同。在该情况下，根据运行条件，会有无法准备足够的学习数据，通过学习构建的预测模型的预测精度降低的可能性。

3、本发明的至少一实施方式是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种设备控制辅助装置、设备控制辅助方法及设备控制辅助程序，其无论设备的运行条件如何，都能良好地实现基于预测模型的工艺值的预测精度。

4、用于解决技术课题的手段

5、为了解决上述课题，本发明的至少一实施方式的设备控制辅助装置用于辅助使用了利用多个预测模型分别预测出的设备的多个工艺值的设备控制，所述设备控制辅助装置具备：

6、第1预测模型学习部，用于使用所述设备的运行数据即学习数据，对作为所述多个预测模型的多个第1预测模型进行学习；

7、第2预测模型学习部，用于对于所述多个第1预测模型中预测精度小于基准值的所述第1预测模型，将追加了追加数据的所述运行数据作为所述学习数据对第2预测模型进行再学习；

8、第3预测模型学习部，用于对于所述预测精度小于所述基准值的所述第2预测模型，将所述运行数据中与所述设备的运行点相似的相似运行数据作为所述学习数据对第3预测模型进行再学习；及

9、预测模型选择部，选择所述第1预测模型、所述第2预测模型或所述第3预测模型中预测精度最佳的预测模型作为所述预测模型。

10、为了解决上述课题，本发明的至少一实施方式的设备控制支援方法用于辅助使用了利用多个预测模型分别预测出的设备的多个工艺值的设备控制，所述设备控制辅助方法具备以下工序：

11、使用所述设备的运行数据即学习数据，对作为所述多个预测模型的多个第1预测模型进行学习；

12、对所述多个第1预测模型中预测精度小于基准值的所述第1预测模型，将追加了追加数据的所述运行数据作为所述学习数据对第2预测模型进行再学习；

13、对所述预测精度小于所述基准值的所述第2预测模型，将所述运行数据中与所述设备的运行点相似的相似运行数据作为所述学习数据对第3预测模型进行再学习；及

14、选择所述第1预测模型、所述第2预测模型或所述第3预测模型中预测精度最佳的预测模型作为所述预测模型。

15、为了解决上述课题，本发明的至少一实施方式的设备控制支援程序用于辅助使用了利用多个预测模型分别预测出的设备的多个工艺值的设备控制，所述设备控制辅助程序能够使计算机装置执行以下工序：

16、使用所述设备的运行数据即学习数据，对作为所述多个预测模型的多个第1预测模型进行学习；

17、对所述多个第1预测模型中预测精度小于基准值的所述第1预测模型，将追加了追加数据的所述运行数据作为所述学习数据对第2预测模型进行再学习；

18、对所述预测精度小于所述基准值的所述第2预测模型，将所述运行数据中与所述设备的运行点相似的相似运行数据作为所述学习数据对第3预测模型进行再学习；及

19、选择所述第1预测模型、所述第2预测模型或所述第3预测模型中预测精度最佳的预测模型作为所述预测模型。

20、发明效果

21、根据本发明的至少一实施方式，能够提供一种设备控制辅助装置、设备控制辅助方法及设备控制辅助程序，其无论设备的运行条件如何，都能良好地实现基于预测模型的工艺值的预测精度。

1.一种设备控制辅助装置，其用于辅助使用了利用多个预测模型分别预测出的设备的多个工艺值的设备控制，所述设备控制辅助装置具备：

2.根据权利要求1所述的设备控制辅助装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的设备控制辅助装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的设备控制辅助装置，其中，

5.根据权利要求1或2所述的设备控制辅助装置，其还具备：

6.根据权利要求1或2所述的设备控制辅助装置，其中，

7.一种设备控制辅助方法，其用于辅助使用了利用多个预测模型分别预测出的设备的多个工艺值的设备控制，所述设备控制辅助方法具备以下工序：

8.一种设备控制辅助程序，其用于辅助使用了利用多个预测模型分别预测出的设备的多个工艺值的设备控制，所述设备控制辅助程序能够使计算机装置执行以下工序：