一种具备驱动器冷却的狭缝阀及温度调节方法与流程

本发明涉及狭缝阀温度控制术领域，尤其涉及一种具备驱动器冷却的狭缝阀及温度调节方法。

背景技术：

1、在半导体晶圆制造过程中，晶圆的沉积、刻蚀、离子注入等关键制程均需在特定的反应腔室（也称工艺腔室）内完成，反应腔室通常需维持较高的工作温度，以保证工艺稳定性和晶圆加工精度。狭缝阀作为反应腔室与晶圆传输通道之间的关键密封部件，其温度性能直接影响腔室密封效果、晶圆传输稳定性以及制程良率，随着微电子技术的迅猛发展，晶圆制程工艺不断迭代升级，对狭缝阀的温度要求也随之大幅提高，需使狭缝阀温度与反应腔室高温环境相适配，避免因狭缝阀与腔室之间的温度差导致腔室内气体冷凝、晶圆表面沾污，或因温度过低影响密封性能，进而影响晶圆加工质量。为了提高狭缝阀的温度，现有技术多为在狭缝阀的阀体外部增设加热带等简易加热部件，通过外部加热的方式试图提高狭缝阀温度，但该种加热方式存在明显缺陷：若阀板及阀盒因工艺需求或外部加热导致温度过高，热量会通过狭缝阀的结构部件直接传导至驱动器。驱动器作为实现狭缝阀阀板开合动作的核心活动部件，其内部装配有润滑油脂，用于减小运动副之间的摩擦，保证阀板开合动作的顺畅性和可靠性。而驱动器内部的润滑油脂对温度较为敏感，在持续的高温环境下，润滑油脂会加速挥发、老化，甚至发生碳化，不仅会大幅降低润滑油脂的润滑性能和使用寿命，还会导致驱动器内部运动副摩擦加剧、运行阻力增大，进而引发驱动器动作卡顿、失效等故障，缩短驱动器的整体使用寿命，影响狭缝阀乃至整个晶圆制造设备的正常运行，增加设备维护成本，降低生产效率。

技术实现思路

1、本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种具备驱动器冷却的狭缝阀，以解决现有高温狭缝阀影响驱动器的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

3、第一方面，本发明的实施例提供了一种具备驱动器冷却的狭缝阀，其包括：

4、阀座，所述阀座内设有收纳腔；

5、驱动器，所述驱动器连接于所述阀座；

6、阀盒，所述阀盒连接于所述驱动器；

7、阀板，所述阀板连接于所述驱动器，当所述驱动器驱动所述阀板插接至所述阀盒时，所述阀板关闭所述阀盒，当所述驱动器驱动所述阀板远离所述阀盒时，所述阀板移动至所述收纳腔，并同步打开所述阀盒；

8、其中，所述具备驱动器冷却的狭缝阀还包括冷却单元，所述冷却单元用于在所述驱动器超过预设工作温度范围时启动对所述驱动器降温处理。

9、其中，所述冷却单元包括风冷模组。

10、其中，所述冷却单元包括液冷模组。

11、其中，所述冷却单元还包括控制器和第一温度传感器，所述第一温度传感器用于实时检测所述驱动器的工作温度，所述控制器用于获取所述第一温度传感器的检测温度值，控制所述风冷模组或所述液冷模组的工作模式。

12、其中，所述阀盒内嵌设有第一加热测温组件，所述第一加热测温组件电连接于所述控制器，所述第一加热测温组件用于对所述阀盒加热并同步获取当前温度值。

13、其中，所述第一加热测温组件包括：第一加热棒和第二温度传感器，所述第一加热棒插接于所述阀盒并受控于所述控制器，所述第二温度传感器电连接于所述控制器。

14、其中，所述阀座内还嵌设有第二加热测温组件，所述第二加热测温组件电连接于所述控制器，所述第二加热测温组件用于对所述阀板预加热并同步获取当前温度值。

15、其中，所述第二加热测温组件包括：第二加热棒和第三温度传感器，所述第二加热棒插接于所述阀座并受控于所述控制器，所述第三温度传感器电连接于所述控制器。

16、第二方面，本发明的实施例提供了一种由具备驱动器冷却的狭缝阀执行的温度调节方法，所述方法包括以下步骤：

17、实时获取驱动器当前的工作温度，并将温度值传输至控制器；

18、控制器根据获取的温度值以及预设控制逻辑，控制冷却单元的工作模式以实现对驱动器的温度调节。

19、其中，该温度调节方法还包括以下步骤：

20、启动第二加热测温组件对阀板进行预加热，实时获取阀板的当前第二温度值并将第二温度值传输至控制器；

21、启动第一加热测温组件对阀盒进行加热，实时获取阀盒的当前第一温度值并将第一温度值传输至控制器；

22、控制器接收第一温度值和第二温度值，根据预设控制逻辑控制所述第一加热棒和第二加热棒的工作功率。

23、本发明的具备驱动器冷却的狭缝阀及温度调节方法，其采用温度传感器获取驱动器的温度，并由控制器根据实时温度控制冷却单元的工作模式，动态、智能控制驱动器降温，保持驱动器处于设定工作温度区间，进而降低阀板等高温热量传递影响驱动器内润滑油脂，避免润滑油脂快速劣变，提高驱动器的使用寿命，保证晶圆制造工艺稳定可靠运行，提高生产效率。

24、上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明技术手段，可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征及优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，详细说明如下。

1.一种具备驱动器冷却的狭缝阀，其特征在于，包括狭缝阀和冷却单元，所述狭缝阀包括驱动器，所述冷却单元用于在所述驱动器超过预设工作温度范围时启动对所述驱动器降温处理。

2.根据权利要求1所述的具备驱动器冷却的狭缝阀，其特征在于，所述冷却单元包括风冷模组和/或液冷模组。

3.根据权利要求2所述的具备驱动器冷却的狭缝阀，其特征在于，所述冷却单元还包括控制器和第一温度传感器，所述第一温度传感器用于实时检测所述驱动器的工作温度，所述控制器用于获取所述第一温度传感器的检测温度值，控制所述风冷模组或所述液冷模组的工作模式。

4.根据权利要求3所述的具备驱动器冷却的狭缝阀，其特征在于，所述狭缝阀包括：

5.根据权利要求4所述的具备驱动器冷却的狭缝阀，其特征在于，所述阀盒内嵌设有第一加热测温组件，所述第一加热测温组件电连接于所述控制器，所述第一加热测温组件用于对所述阀盒加热并同步获取当前温度值。

6.根据权利要求5所述的具备驱动器冷却的狭缝阀，其特征在于，所述第一加热测温组件包括：第一加热棒和第二温度传感器，所述第一加热棒插接于所述阀盒并受控于所述控制器，所述第二温度传感器电连接于所述控制器。

7.根据权利要求4所述的具备驱动器冷却的狭缝阀，其特征在于，所述阀座内还嵌设有第二加热测温组件，所述第二加热测温组件电连接于所述控制器，所述第二加热测温组件用于对所述阀板预加热并同步获取所述阀板的当前温度值。

8.一种狭缝阀的温度调节方法，该温度调节方法由如权利要求1至7任意一项所述的具备驱动器冷却的狭缝阀执行，其特征在于，包括以下步骤：

9.根据权利要求8所述的狭缝阀的温度调节方法，其特征在于，还包括以下步骤：