质量流量控制器的利用气体因子的流量旁路比计算的制作方法

本公开总体上涉及流量控制，并且更具体地，涉及采用质量流量传感器的利用气体因子的流量旁路比计算。

背景技术：

1、质量流量控制器接收一种或多种气体的流量，测量气体的流动量，并且通过控制阀控制流量。控制器可用于响应流体特性的变化，包括流量、体积和流体需求。

技术实现思路

1、所公开的用于质量流量控制器的阀的示例控制器包括用于确定和采用由一种或多种气体因子通知的流量旁路比计算的电路，基本上如结合附图中的至少一个附图所例示和所描述，如权利要求中更完整地阐述。

1.一种流量传感器系统，包括：

2.如权利要求1所述的流量传感器系统，其中所述控制器还被配置为基于跨所述第一传感器和所述第二传感器的测量电压来测量通过所述第一传感器和所述第二传感器的流量。

3.如权利要求1所述的流量传感器系统，其中所述控制器还被配置为基于以下等式通过使用所述传感器流体流量的值来计算所述传感器雷诺数：

4.如权利要求3所述的流量传感器系统，其中xre作为压力、温度或两者的函数来计算。

5.如权利要求1所述的流量传感器系统，其中所述控制器还被配置为基于以下等式通过使用所述传感器流体流量的值来计算所述传感器雷诺数：

6.如权利要求5所述的流量传感器系统，其中xre作为压力、温度或两者的函数使用。

7.如权利要求3所述的流量传感器系统，其中所述控制器还被配置为使用基于所述传感器雷诺数的多项式来计算流量旁路比（fbr），其中所述多项式在以下等式中提供：

8.如权利要求7所述的流量传感器系统，其中所述fbr是所述旁路路径的流量（qbypass）与所述传感器管的流量（qsensor）的比率。

9.如权利要求1所述的流量传感器系统，其中所述总流量包括所述传感器流量和旁路流量。

10.如权利要求1所述的流量传感器系统，其中所述加热器元件是被配置为加热所述传感器管的一个或多个线圈，所述加热器元件能够由所述控制器控制。

11.如权利要求1所述的流量传感器系统，其中所述第一传感器和所述第二传感器是被配置为在所述流体的流动期间产生电流的一个或多个线圈，所述第一传感器和所述第二传感器连接到所述控制器。

12.一种流量传感器系统，包括：

13.如权利要求12所述的流量传感器系统，其中所述控制器被配置为以交替模式施加所述功率并从所述第一线圈或所述第二线圈接收所述信号。

14.如权利要求12所述的流量传感器系统，其中所述控制器被配置为在从所述第二线圈接收信号的同时向所述第一线圈施加功率。

15.如权利要求12所述的流量传感器系统，其中所述控制器还被配置为基于以下等式通过使用所述传感器流体流量的值来计算所述传感器雷诺数：

16.如权利要求14所述的流量传感器系统，其中xre作为压力、温度或两者的函数来计算。

17.如权利要求12所述的流量传感器系统，其中所述控制器还被配置为基于以下等式通过使用所述传感器流体流量的值来计算所述传感器雷诺数：

18.如权利要求16所述的流量传感器系统，其中xre作为压力、温度或两者的函数使用。

19.如权利要求14所述的流量传感器系统，其中所述控制器还被配置为使用基于所述传感器雷诺数的多项式来计算流量旁路比（fbr），其中所述多项式在以下等式中提供：

20.如权利要求18所述的流量传感器系统，其中所述fbr是所述旁路路径的流量（qbypass）与所述传感器管的流量（qsensor）的比率。