一种化学钯缸流量精准控制的装置的制作方法

本技术涉及陶瓷基板生产制造领域技术，尤其是指一种化学钯缸流量精准控制的装置。

背景技术：

1、陶瓷基板是一种用于电子器件的无机非金属材料基板，主要作为电子元件的支撑、连接和散热载体，广泛应用于高频、高功率、高温或高可靠性要求的电子电路中。它通过将陶瓷材料加工成薄片(通常厚度0.1～1.0mm)，并在表面或内部制作导电线路、焊盘或其他功能结构，实现电子元件的电气连接与机械固定。

2、目前，在陶瓷基板的生产过程中，需要使用到化学镍钯金工艺，其中化学钯缸循环的流量对化学钯的沉积品质影响较大，目前主要配合采用泵浦+管道+过滤器的方式进行循环和搅拌，但在生产过程中随着过滤器中过滤芯的堵塞、管道阀门的松动等因素影响，管道的流量会发生很大的变化，而流量的变化会影响到化学钯沉积厚度的均匀性，严重时会导致陶瓷基板上局部的化学钯层漏镀，从而导致严重的品质事故。因此，有必要研究一种方案以解决上述问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种化学钯缸流量精准控制的装置，其能有效解决现有之化学钯缸在生产时存在化学钯厚度不可控制、均匀性差和漏镀的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采用如下之技术方案：

3、一种化学钯缸流量精准控制的装置，包括有泵浦、过滤器、输出管道、回流管道、变频器、plc以及超声波流量计；该过滤器的输入端与泵浦的输出端连通；该输出管道的输入端伸入化学钯缸中，该输出管道的输出端与泵浦的输入端连通；该回流管道的输入端与过滤器的滤液输出端连通，该回流管道的输出端伸入化学钯缸中并远离输出管道的输入端；该变频器与泵浦的马达电性连接；该plc与变频器电性连接；该超声波流量计设置于回流管道上并测量回流管道的流量，该超声波流量计与plc电性连接。

4、作为一种优选方案，所述泵浦、过滤器、变频器、plc和超声波流量计均位于化学钯缸外。

5、作为一种优选方案，所述超声波流量计为外卡式超声波流量计。

6、作为一种优选方案，所述输出管道具有第一竖直段，该第一竖直段竖向伸入化学钯缸中，该输出管道的输入端位于第一竖直段的下端并靠近化学钯缸之内底部的一侧；该回流管道具有依次连通的第二竖直段和水平段，第二竖直段竖向伸入化学钯缸中并位于第一竖直段的侧旁，该水平段水平延伸并位于化学钯缸的内底部，该回流管道的输出端位于水平段的尾端并靠近化学钯缸之内底部的另一侧。

7、本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，由上述技术方案可知：

8、通过配合设置变频器、plc和超声波流量计，利用超声波流量计测量出回流管道的流量，并将流量值转化为数字信号给到plc，plc对数字信号处理比对后，输出合适的频率信号给到变频器，再由变频器将频率信号转换为对应交流频率的电流给到泵浦，泵浦根据频率改变转速输出合适的流量，从而实现对化学钯缸管道流量的精准、自动化控制，以保证化学钯缸中化学钯沉积厚度的均匀性和稳定性，减少了品质风险，可节约成本，并提高生产效率。

9、为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本实用新型进行详细说明。

1.一种化学钯缸流量精准控制的装置，其特征在于：包括有泵浦、过滤器、输出管道、回流管道、变频器、plc以及超声波流量计；该过滤器的输入端与泵浦的输出端连通；该输出管道的输入端伸入化学钯缸中，该输出管道的输出端与泵浦的输入端连通；该回流管道的输入端与过滤器的滤液输出端连通，该回流管道的输出端伸入化学钯缸中并远离输出管道的输入端；该变频器与泵浦的马达电性连接；该plc与变频器电性连接；该超声波流量计设置于回流管道上并测量回流管道的流量，该超声波流量计与plc电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种化学钯缸流量精准控制的装置，其特征在于：所述泵浦、过滤器、变频器、plc和超声波流量计均位于化学钯缸外。

3.根据权利要求1所述的一种化学钯缸流量精准控制的装置，其特征在于：所述超声波流量计为外卡式超声波流量计。

4.根据权利要求1所述的一种化学钯缸流量精准控制的装置，其特征在于：所述输出管道具有第一竖直段，该第一竖直段竖向伸入化学钯缸中，该输出管道的输入端位于第一竖直段的下端并靠近化学钯缸之内底部的一侧；该回流管道具有依次连通的第二竖直段和水平段，第二竖直段竖向伸入化学钯缸中并位于第一竖直段的侧旁，该水平段水平延伸并位于化学钯缸的内底部，该回流管道的输出端位于水平段的尾端并靠近化学钯缸之内底部的另一侧。