激光驱动白光光源装置的制作方法

本技术涉及激光特征光源，尤其涉及一种激光驱动白光光源装置。

背景技术：

1、随着集成电路继续多层化、复杂化，量检测设备的重要性日趋凸显。对于集成电路检测中，光学检测成为重要指标，光学量检测设备成为了重中之重，现有技术中采用lsp（laser sustained plasma，激光维持等离子体）光源对集成电路进行检测，但现有的lsp光源存在发光点尺寸过大，辐射亮度较低的缺陷。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种激光驱动白光光源装置。以解决现有技术中的lsp光源发光点尺寸过大，辐射亮度较低的缺陷问题。

2、基于上述目的，本实用新型提供了一种激光驱动白光光源装置，包括：

3、激光光源，所述激光光源包括用于发射激光光束的发射头；

4、光学系统，所述光学系统设置于所述发射头的发射方向，用以对所述激光光束聚焦形成聚焦区域；

5、气体装载结构，所述气体装载结构设于所述光学系统背离所述发射头的一侧，所述气体装载结构内包括等离子体，所述气体装载结构的中心位置与所述激光光束的聚焦区域对应；

6、高压驱动组件，所述高压驱动组件包括点燃头，所述点燃头设置在所述气体装载结构的侧壁上并延伸至所述气体装载结构内点燃所述等离子体。

7、所述气体装载结构包括沿所述激光光束传播路径相对设置的气体载体入射面和气体载体出射面，所述气体载体入射面和所述气体载体出射面在垂直所述传播路径的方向上的曲率恒定。

8、可选地，所述光学系统包括用于对所述激光光束进行准直的光学入射面和用于对所述激光光束进行聚焦的光学出射面，所述光学入射面和所述光学出射面沿所述激光光束的传播路径相对设置。

9、可选地，所述气体装载结构为圆柱体或立方体中的任意一种。

10、可选地，所述光学入射面和所述光学出射面为柱透镜或球透镜中任意一种。

11、可选地，所述光学系统还包括用于补偿所述光学入射面引入的所述激光光束的像差的楔镜组，所述楔镜组设于所述光学入射面和所述光学出射面之间。

12、可选地，所述激光光源包括半导体激光器、气体激光器或光纤激光器中的任意一种。

13、可选地，所述光学系统包括棱镜折反元件、doe衍射元件或mla阵列透镜中的至少一种。

14、可选地，所述等离子体为惰性气体或混合气体。

15、可选地，所述点燃头为电极组，所述电极组包括两个电极，所述两个电极分别设置在所述气体装载结构相对设置的两个侧壁上。

16、可选地，所述高压驱动组件还包括高压放电模块，高压放电模块分别与所述两个电极电连接。

17、从上面所述可以看出，本实用新型提供的一种激光驱动白光光源装置，包括激光光源、光学系统、气体装载结构和高压驱动组件，激光光源适用于提供激光光束；光学系统适用于对激光光束进行聚焦；气体装载结构设于光学系统背离激光光源的一侧，气体装载结构的中心位置与激光光束的聚焦区域对应；高压驱动组件适用于点燃气体装载结构中气体内的等离子体；其中，气体装载结构具有沿传播路径相对设置的气体载体入射面和气体载体出射面，气体载体入射面和气体载体出射面在垂直传播路径的方向上的曲率恒定。可以减少像差的产生，进而降低发光点尺寸，使得发光点一致性更好；同时白光出光均匀性也好以及光谱辐射亮度也更高。

1.一种激光驱动白光光源装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1中所述的激光驱动白光光源装置，其特征在于，所述光学系统（200）包括用于对所述激光光束（110）进行准直的光学入射面（210）和用于对所述激光光束（110）进行聚焦的光学出射面（220），所述光学入射面（210）和所述光学出射面（220）沿所述激光光束（110）的传播路径相对设置。

3.根据权利要求1中所述的激光驱动白光光源装置，其特征在于，所述气体装载结构（300）为圆柱体或立方体中的任意一种。

4.根据权利要求2中所述的激光驱动白光光源装置，其特征在于，所述光学入射面（210）和所述光学出射面（220）为柱透镜（230）或球透镜（240）中任意一种。

5.根据权利要求2中所述的激光驱动白光光源装置，其特征在于，所述光学系统（200）还包括用于补偿所述光学入射面（210）引入的所述激光光束（110）的像差的楔镜组（250），所述楔镜组（250）设于所述光学入射面（210）和所述光学出射面（220）之间。

6.根据权利要求1中所述的激光驱动白光光源装置，其特征在于，所述激光光源（100）包括半导体激光器、气体激光器或光纤激光器中的任意一种。

7.根据权利要求1中所述的激光驱动白光光源装置，其特征在于，所述光学系统（200）包括棱镜折反元件、doe衍射元件或mla阵列透镜中的至少一种。

8.根据权利要求1中所述的激光驱动白光光源装置，其特征在于，所述等离子体为惰性气体或混合气体。

9.根据权利要求1中所述的激光驱动白光光源装置，其特征在于，所述点燃头为电极组（420），所述电极组（420）包括两个电极，所述两个电极分别设置在所述气体装载结构（300）相对设置的两个侧壁上。

10.根据权利要求9中所述的激光驱动白光光源装置，其特征在于，所述高压驱动组件（400）还包括高压放电模块（410），高压放电模块（410）分别与所述两个电极电连接。