镀膜机在故障阶段的自主调控方法以及系统与流程

本发明涉及自主调控的，尤其涉及一种镀膜机在故障阶段的自主调控方法以及系统。

背景技术：

1、随着真空镀膜技术在高端光学器件、半导体芯片及精密机械加工等领域的深入应用，对膜层厚度均匀性、附着力及工艺一致性的要求日益严苛。真空镀膜机作为核心工艺装备，其内部运行涉及高温真空环境下的传热传质、等离子体物理、气体放电及机械传动等多物理场耦合过程。

2、在镀膜机面临故障时，通常采用预设的固定规则或简单的pid反馈调节，未能构建基于强化学习与镀膜工艺机理联合驱动的自主调控决策空间，由于缺少由故障特征向量直接驱动的动态知识图谱，系统在复杂工况下难以进行全局策略寻优匹配，导致输出的自主调控策略精准性不足。

技术实现思路

1、本发明的目的在于克服现有技术的不足，本发明提供了一种镀膜机在故障阶段的自主调控方法以及系统。

2、本发明实施例提供了一种镀膜机在故障阶段的自主调控方法，包括：

3、基于部署于镀膜机关键节点的多源异构传感器网络，实时采集镀膜过程中的多维状态数据，对多维状态数据进行故障分析，在故障分析过程中确定当前故障类型及故障严重程度，并生成对应的故障特征向量；

4、将故障特征向量输入至预设的自主调控决策空间，在该自主调控决策空间中结合镀膜工艺知识图谱进行寻优匹配，从而确定对应的自主调控策略；

5、基于自主调控策略的识别而确定多个子调控指令，将多个子调控指令下发至镀膜机的控制器，对镀膜机的工艺参数及执行机构进行动态重构与协同补偿控制，以维持镀膜机在故障过渡阶段的工艺稳定性；

6、实时监测调控后的镀膜机的运行状态，从而获取对应的状态反馈数据，并结合镀膜机的工作历程以及当前工作数据确定镀膜机的调控效能结果，基于调控效能结果对自主调控决策空间进行在线迭代修正，直至镀膜机恢复正常状态。

7、本发明实施例提供了一种镀膜机在故障阶段的自主调控系统，所述镀膜机在故障阶段的自主调控系统应用于上述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法；所述镀膜机在故障阶段的自主调控系统包括：

8、故障分析模块，用于基于部署于镀膜机关键节点的多源异构传感器网络，实时采集镀膜过程中的多维状态数据，对多维状态数据进行故障分析，在故障分析过程中确定当前故障类型及故障严重程度，并生成对应的故障特征向量；

9、调控策略模块，用于将故障特征向量输入至预设的自主调控决策空间，在该自主调控决策空间中结合镀膜工艺知识图谱进行寻优匹配，从而确定对应的自主调控策略；

10、补偿控制模块，用于基于自主调控策略的识别而确定多个子调控指令，将多个子调控指令下发至镀膜机的控制器，对镀膜机的工艺参数及执行机构进行动态重构与协同补偿控制，以维持镀膜机在故障过渡阶段的工艺稳定性；

11、效能结果模块，用于实时监测调控后的镀膜机的运行状态，从而获取对应的状态反馈数据，并结合镀膜机的工作历程以及当前工作数据确定镀膜机的调控效能结果，基于调控效能结果对自主调控决策空间进行在线迭代修正，直至镀膜机恢复正常状态。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、（1）基于部署于镀膜机关键节点的多源异构传感器网络，实时采集镀膜过程中的多维状态数据，对多维状态数据进行故障分析，在故障分析过程中确定当前故障类型及故障严重程度，并生成对应的故障特征向量；将故障特征向量输入至预设的自主调控决策空间，在该自主调控决策空间中结合镀膜工艺知识图谱进行寻优匹配，从而确定对应的自主调控策略，引入了故障特征向量，对自主调控决策空间和镀膜工艺知识图谱进一步把控，提高了自主调控策略的精准性。

14、（2）基于自主调控策略的识别而确定多个子调控指令，将多个子调控指令下发至镀膜机的控制器，对镀膜机的工艺参数及执行机构进行动态重构与协同补偿控制，以维持镀膜机在故障过渡阶段的工艺稳定性；实时监测调控后的镀膜机的运行状态，从而获取对应的状态反馈数据，并结合镀膜机的工作历程以及当前工作数据确定镀膜机的调控效能结果，对多个子调控指令进一步把控，充分考虑了镀膜机的调控效能结果，实现了自主调控决策空间进行在线迭代修正，直至镀膜机恢复正常状态。

1.一种镀膜机在故障阶段的自主调控方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法，其特征在于，所述基于部署于镀膜机关键节点的多源异构传感器网络，实时采集镀膜过程中的多维状态数据，对多维状态数据进行故障分析，在故障分析过程中确定当前故障类型及故障严重程度，并生成对应的故障特征向量，包括：

3.根据权利要求2所述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法，其特征在于，所述基于部署于镀膜机关键节点的多源异构传感器网络，实时采集镀膜过程中的多维状态数据，对多维状态数据进行故障分析，在故障分析过程中确定当前故障类型及故障严重程度，并生成对应的故障特征向量，还包括：

4.根据权利要求1所述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法，其特征在于，所述将故障特征向量输入至预设的自主调控决策空间，在该自主调控决策空间中结合镀膜工艺知识图谱进行寻优匹配，从而确定对应的自主调控策略，包括：

5.根据权利要求4所述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法，其特征在于，所述将故障特征向量输入至预设的自主调控决策空间，在该自主调控决策空间中结合镀膜工艺知识图谱进行寻优匹配，从而确定对应的自主调控策略，还包括：

6.根据权利要求1所述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法，其特征在于，所述基于自主调控策略的识别而确定多个子调控指令，将多个子调控指令下发至镀膜机的控制器，对镀膜机的工艺参数及执行机构进行动态重构与协同补偿控制，以维持镀膜机在故障过渡阶段的工艺稳定性，包括：

7.根据权利要求6所述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法，其特征在于，所述基于自主调控策略的识别而确定多个子调控指令，将多个子调控指令下发至镀膜机的控制器，对镀膜机的工艺参数及执行机构进行动态重构与协同补偿控制，以维持镀膜机在故障过渡阶段的工艺稳定性，还包括：

8.根据权利要求1所述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法，其特征在于，所述实时监测调控后的镀膜机的运行状态，从而获取对应的状态反馈数据，并结合镀膜机的工作历程以及当前工作数据确定镀膜机的调控效能结果，基于调控效能结果对自主调控决策空间进行在线迭代修正，直至镀膜机恢复正常状态，包括：

9.根据权利要求8所述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法，其特征在于，所述实时监测调控后的镀膜机的运行状态，从而获取对应的状态反馈数据，并结合镀膜机的工作历程以及当前工作数据确定镀膜机的调控效能结果，基于调控效能结果对自主调控决策空间进行在线迭代修正，直至镀膜机恢复正常状态，还包括：

10.一种镀膜机在故障阶段的自主调控系统，其特征在于，所述镀膜机在故障阶段的自主调控系统应用于如权利要求1-9中任一项所述的镀膜机在故障阶段的自主调控方法；所述镀膜机在故障阶段的自主调控系统包括：