一种提高膜厚仪作业效率的方法与流程

本申请属于膜厚检测，具体涉及一种提高膜厚仪作业效率的方法，尤其适用于老旧双口加工膜厚仪的自动化作业改造。

背景技术：

1、膜厚仪是用于检测材料膜层厚度的重要设备，在半导体、光学镀膜、表面处理等工业生产领域中应用广泛。部分膜厚仪采用双口加工模式，即具备两个作业口可同时或交替进行加工作业，以提高加工效率。为实现自动化作业，这类膜厚仪通常会外挂设备前端模块（equipment front end module，efem），由设备前端模块（efem）负责物料的传输等操作，从而实现物料自动上下料及传输。

2、然而，对于一些设备老旧的双口加工膜厚仪，其设备本体故障率较高。在实际作业过程中，由于两个作业口之间存在联动关系，在外挂设备前端模块后，当其中一个作业口出现故障时，会直接影响另一个作业口的正常作业，导致设备整体停滞。更为重要的是，在进行异常处理时，需要将两个作业口的片篮全部清空，之后重新开启机台才能恢复作业。这一异常处理方式不仅导致故障处理过程繁琐、耗时较长，而且频繁的故障及处理操作严重降低了膜厚仪的作业效率，影响了生产进度。

技术实现思路

1、本申请提供一种提高膜厚仪作业效率的方法，旨在解决现有技术中老旧双口加工膜厚仪因一个作业口故障影响另一个作业口作业、且异常处理繁琐导致作业效率低的缺陷的技术问题。

2、为解决至少一个上述技术问题，本申请采用的技术方案是：

3、一种提高膜厚仪作业效率的方法，步骤包括：

4、获取双口加工膜厚仪两个作业口的故障率信息；

5、根据所述故障率信息，从所述两个作业口中确定故障率较高的作业口和故障率较低的作业口；

6、禁用所述故障率较高的作业口，保留所述故障率较低的作业口作为唯一作业口；

7、对外挂于所述膜厚仪的设备前端模块进行参数调整，使所述设备前端模块适配于仅通过所述唯一作业口进行作业的模式；

8、通过所述唯一作业口进行膜厚检测作业。

9、进一步地，所述获取双口加工膜厚仪两个作业口的故障率信息之前，还包括：

10、提供双口加工的膜厚仪，所述膜厚仪外挂有设备前端模块，所述设备前端模块用于物料的传输操作；

11、所述获取双口加工膜厚仪两个作业口的故障率信息，包括：

12、在预设的统计时间段内，分别记录所述两个作业口各自发生故障的次数和每次故障的持续时间。

13、进一步地，述根据所述故障率信息，从所述两个作业口中确定故障率较高的作业口和故障率较低的作业口，包括：

14、根据所述故障的次数和所述故障的持续时间，分别计算所述两个作业口的故障频率和故障时长占比；

15、对比所述两个作业口的故障频率和故障时长占比，确定故障率较高的作业口和故障率较低的作业口。

16、进一步地，所述禁用所述故障率较高的作业口，包括：

17、通过对所述膜厚仪的硬件进行设置，禁用所述故障率较高的作业口。

18、进一步地，所述禁用所述故障率较高的作业口，包括：

19、通过对所述膜厚仪的软件进行设置，禁用所述故障率较高的作业口。

20、进一步地，所述对外挂于所述膜厚仪的设备前端模块进行参数调整，包括：

21、根据所述唯一作业口的位置信息，调整所述设备前端模块的作业口识别参数，使所述设备前端模块能够识别所述唯一作业口。

22、进一步地，所述对外挂于所述膜厚仪的设备前端模块进行参数调整，包括：

23、根据所述唯一作业口的规格信息，调整所述设备前端模块的作业口识别参数，使所述设备前端模块能够识别所述唯一作业口。

24、进一步地，所述对外挂于所述膜厚仪的设备前端模块进行参数调整，包括：

25、修改所述设备前端模块的物料传输路径参数，使物料传输至所述唯一作业口。

26、进一步地，所述通过所述唯一作业口进行膜厚检测作业之后，还包括：当所述唯一作业口出现故障时，仅对所述唯一作业口进行异常处理；

27、所述当所述唯一作业口出现故障时，仅对所述唯一作业口进行异常处理，包括：对所述唯一作业口进行维修和/或调试，无需清空其他作业口中的片篮，且无需重新开启整个膜厚仪机台。

28、进一步地，还包括：在完成所述设备前端模块的参数调整之后，启动所述膜厚仪及其外挂的所述设备前端模块，控制所述唯一作业口执行膜厚检测作业。

29、本申请设计的一种提高膜厚仪作业效率的方法，通过对双口加工膜厚仪的两个作业口进行故障率统计分析，舍弃故障率较高的作业口而仅保留故障率较低的单个作业口进行作业，并从源头上减少了因高故障率作业口频繁出现故障而导致的整体作业异常情况，降低了异常发生的频次；同时，当保留的单个作业口出现故障时，由于仅需针对该故障作业口进行处理而无需清空其他作业口的片篮也无需重新开启整个机台，大大简化了异常处理的步骤并缩短了故障处理时间；减少的异常频次和缩短的故障处理时间使得膜厚仪能够保持更稳定更持续的作业状态，有效提高了单位时间内的作业量从而显著提升了作业效率，并且通过减少因频繁故障和整机重启对设备的损耗，在一定程度上有助于延长老旧膜厚仪的使用寿命并降低设备更换成本。

1.一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，步骤包括：

2.根据权利要求1所述的一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，所述获取双口加工膜厚仪两个作业口的故障率信息之前，还包括：

3.根据权利要求2所述的一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，所述根据所述故障率信息，从所述两个作业口中确定故障率较高的作业口和故障率较低的作业口，包括：

4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，所述禁用所述故障率较高的作业口，包括：

5.根据权利要求1所述的一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，所述禁用所述故障率较高的作业口，包括：

6.根据权利要求1-3、5中任一项所述的一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，所述对外挂于所述膜厚仪的设备前端模块进行参数调整，包括：

7.根据权利要求6所述的一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，所述对外挂于所述膜厚仪的设备前端模块进行参数调整，包括：

8.根据权利要求6所述的一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，所述对外挂于所述膜厚仪的设备前端模块进行参数调整，包括：

9.根据权利要求7或8所述的一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，所述通过所述唯一作业口进行膜厚检测作业之后，还包括：当所述唯一作业口出现故障时，仅对所述唯一作业口进行异常处理；

10.根据权利要求9所述的一种提高膜厚仪作业效率的方法，其特征在于，还包括：在完成所述设备前端模块的参数调整之后，启动所述膜厚仪及其外挂的所述设备前端模块，控制所述唯一作业口执行膜厚检测作业。