一种AMC阈值动态调节方法及系统与流程
- 国知局
- 2024-12-06 13:13:36
本发明涉及污染物检测,具体是一种amc阈值动态调节方法及系统。
背景技术:
1、amc指的是在半导体生产过程中,影响晶圆加工的污染气体混合物,半导体生产车间内的amc的来源分为外部源和内部源,外部源主要来自于供应给洁净室内部的空气净化和过滤系统,内部源则可能来自于多个源头,包括工艺残余、清洁溶剂使用、洁净室内材料逸出和设备保养等。
2、amc达到某一固定浓度(阈值)才会报警,但是在实际应用中,可能存在相邻检测行为的影响,比如前次amc在设备中有残留,此时,阈值需要调高,防止误报;因此,“如何利用历史数据确定动态阈值,降低误报概率”是本发明所需要解决的技术问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种amc阈值动态调节方法及系统,以解决上述背景技术中提出“如何确定动态阈值,降低误报概率”的问题。
2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
3、一种amc阈值动态调节方法,所述方法包括:
4、s100:采集amc组分的历史测量值,遍历出影响因素,所述影响因素至少包括:amc组分残留、生产任务和温度,利用预设的检测设备,获取所述影响因素的历史读数,并确定出每个影响因素的偏离权重,并偏离所述历史测量值,计算出预测值;
5、s200:构建与所述影响因素一一对应的数块,将所述偏离权重迁移到对应的数块中,记录下amc组分的实时测量值,比对出所述实时测量值与预测值的区别,并利用所述区别,索引出隐藏项,并叠加到所述影响因素中;
6、s300:整合所有的数块,生成数块链,并分别向所述数块链的两端插入头节点和尾节点,将所述历史测量值同步到头节点中,将所述实时测量值同步到尾节点中,并向所述数块链中嵌入调整机制;
7、s400:回溯出所述历史测量值所对应的历史阈值,将历史阈值转入到头节点中,经由所述数块链和偏离权重,确定出实时阈值,并利用所述检测设备的实时读数,校正所述实时阈值,比对所述历史阈值和实时阈值,遍历出变动数块,利用预设的二次验证机制,对所述变动数块进行验证,如果验证通过,将所述实时阈值定义为最终阈值,如果验证不通过,激活预设的通信链路,将检测设备中的备用值转移到所述变动数块中,重新计算所述预测值和实时阈值。
8、进一步的,所述s100包括:
9、将所述amc组分切分为若干个单项,创建与所述单项数量相同的数块链,并配置出映射关系;
10、遍历出每个所述单项的影响因素,生成标签,并将所述标签插入到对应的数块链中;
11、向所述历史测量值中添加时间戳,将与所述时间戳相同时刻内的检测设备的读数定义为历史读数。
12、进一步的,所述s100还包括:
13、建立权重对照表,其中所述权重对照表中包括:实时读数项和权重项,每个所述数块均对应一个权重对照表;
14、利用所述实时读数,查询所述权重对照表,遍历出每个所述数块的权重项,并偏移所述历史测量值,得到预测值。
15、进一步的,所述s200包括:
16、利用预设的处理节点,组建分布式处理架构,并行处理所有的所述单项,确定出每个单项的预测值;
17、以时间为横坐标,分别以预测值和实时测量值为纵坐标,绘制出对照曲线和变化曲线,并标记出临界线。
18、进一步的,所述s300包括:
19、向所述数块链中插入指向,配置出所述历史测量值的处理流程,并定义头节点为输入接口,尾节点为输出接口;
20、触发所述调整机制,其中所述调整机制为:跨越所述处理流程,依次遍历所有的数块,对数块中的偏离权重进行微调,并将所述预测值收敛到实时测量值。
21、进一步的,所述s400包括:
22、将所述历史阈值输入到头节点中,经由所述数块链,输出得到实时阈值;
23、比对所述历史读数和实时读数,确定出每个数块的波动值,将所述波动值超过预设阈值的数块定义为变动数块。
24、进一步的,所述s400包括:
25、如果所述变动数块验证不通过,搭建变动数块与所述检测设备的通信链路,激活所述通信链路,利用所述检测设备,确定备用值;
26、利用所述备用值覆盖所述变动数块,重新计算所述预测值和实时阈值。
27、进一步的,所述方法还包括:
28、将所有的所述数块聚类为若干个类别,并在整合后,构建场景库,利用实时测量值对所述场景库进行动态更新;
29、利用现有模拟程序,对不同类别下的amc组分进行建模,构建场景模型,并校正所述偏离权重。
30、进一步的,所述系统包括:
31、计算模块,用于采集amc组分的历史测量值,遍历出影响因素,所述影响因素至少包括:amc组分残留、生产任务和温度,利用预设的检测设备,获取所述影响因素的历史读数,并确定出每个影响因素的偏离权重,并偏离所述历史测量值,计算出预测值;
32、叠加模块,用于构建与所述影响因素一一对应的数块,将所述偏离权重迁移到对应的数块中,记录下amc组分的实时测量值,比对出所述实时测量值与预测值的区别,并利用所述区别,索引出隐藏项,并叠加到所述影响因素中;
33、嵌入模块,用于整合所有的数块,生成数块链,并分别向所述数块链的两端插入头节点和尾节点,将所述历史测量值同步到头节点中,将所述实时测量值同步到尾节点中,并向所述数块链中嵌入调整机制;
34、转移模块,用于回溯出所述历史测量值所对应的历史阈值,将历史阈值转入到头节点中,经由所述数块链和偏离权重,确定出实时阈值,并利用所述检测设备的实时读数,校正所述实时阈值,比对所述历史阈值和实时阈值,遍历出变动数块,利用预设的二次验证机制,对所述变动数块进行验证,如果验证通过,将所述实时阈值定义为最终阈值,如果验证不通过,激活预设的通信链路,将检测设备中的备用值转移到所述变动数块中,重新计算所述预测值和实时阈值。
35、进一步的,所述计算模块包括:
36、配置单元,用于将所述amc组分切分为若干个单项,创建与所述单项数量相同的数块链,并配置出映射关系;
37、插入单元,用于遍历出每个所述单项的影响因素,生成标签,并将所述标签插入到对应的数块链中;
38、定义单元,用于向所述历史测量值中添加时间戳,将与所述时间戳相同时刻内的检测设备的读数定义为历史读数;
39、建立单元,用于建立权重对照表,其中所述权重对照表中包括:实时读数项和权重项,每个所述数块均对应一个权重对照表;
40、得到单元,用于利用所述实时读数,查询所述权重对照表,遍历出每个所述数块的权重项,并偏移所述历史测量值,得到预测值。
41、与现有技术相比,本发明的有益效果是:
42、通过采集amc组分的历史测量值,能够确定出amc组分在不同时间段的变化趋势,有助于预测未来的amc组分浓度,从而采取有效地预防措施,通过比对历史测量值和预测值,能够对偏离权重进行调整,大大提高了偏离权重的准确性,通过构建数块,能够精确量化影响因素,更好地对影响因素进行监控,通过利用历史阈值,能够初步确定amc组分阈值,同时得以对阈值进行动态调整,优化资源利用,通过利用二次验证机制对变动数块进行验证,能够对偏离权重进行校准,进一步提高动态阈值的准确性,同时也大大提高了用户体验。
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