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带电粒子操纵器装置的制作方法

2022-09-15 07:35:59 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种多束操纵器装置,被配置为在带电粒子的多束中的多个子束的路径上操作,以由此使所述多个子束路径偏转,其中所述子束以阵列来布置,所述子束在所述阵列中以多条线来布置,所述多束操纵器装置包括:电极组,包括多个平行平面电极表面对;其中:在所述电极组中的第一平行平面电极表面对包括第一平面电极表面和第二平面电极表面,该第一平面电极表面沿着所述子束线中的一条线的一侧来布置,该第二平面电极表面平行于所述第一平面电极表面并且沿着所述子束路径线中的所述一条线的相对侧来布置;在所述电极组中的第二平行平面电极表面对包括第一平面电极表面和第二平面电极表面,该第一平面电极表面沿着所述子束路径线中的一条不同线的一侧来布置,该第二平面电极表面平行于所述第一平面电极表面并且沿着所述子束路径线中的所述一条不同线的相对侧来布置;所述第一平行平面电极表面对被配置为:与所述多束中的子束整线静电相互作用,使得其能够在第一方向上向所述子束路径施加第一偏转量;所述第二平行平面电极表面对被配置为:与所述多束中的子束整线静电相互作用,使得其能够在第二方向上向所述子束路径施加第二偏转量;以及所述第一方向与所述第二方向相反,其中所述多个平行平面电极表面对被配置为:使得它们能够使所述阵列中的所述子束线中的全部偏转,所述子束线跨所述阵列基本上彼此平行。2.根据权利要求1所述的多束操纵器装置,其中所述第一偏转量的大小不同于所述第二偏转量的大小。3.根据权利要求1或2所述的多束操作器装置,其中在所述电极组中的每个平行平面电极表面对被配置为:与所述多束中的子束整线静电相互作用,以由此对所述子束路径施加偏转。4.根据前述权利要求中任一项所述的多束操纵器装置,其中在所述电极组中的每个平行平面电极表面对被配置为:使得其能够仅使所述多束中的一条子束线偏转。5.根据前述权利要求中任一项所述的多束操作器装置,其中所述平行平面电极表面对中的全部被布置在彼此相同的平面中,所述平面基本上正交于所述带电粒子光学轴。6.根据前述权利要求中任一项所述的多束操纵器装置,其中每个平行平面电极表面对被配置为:在其第一平面表面和第二平面表面之间施加电场,用于使子束在子束线中的路径中的全部静电偏转;以及被施加的电场基本上正交于所述带电粒子光学轴。7.根据前述权利要求中任一项所述的多束操纵器装置,其中当使用时,每个平行平面电极表面对在其第一平面表面和第二平面表面之间施加基本恒定的电场,以用于使所有子束在子束线中的路径偏转。8.根据前述权利要求中任一项所述的多束操纵器装置,其中每个平行平面电极表面对被配置为:施加电场,该电场在方向和/或大小上不同于由其它平行平面电极表面对施加的电场,使得对多束中的每条子束线施加的偏转在方向和/或大小上不同。
9.根据前述权利要求中任一项所述的多束操纵器装置,其中针对一个或多个平行平面电极表面对中的每个平行平面电极表面对,由一个平行平面电极表面对施加的电场与由另一平行平面电极表面对施加的电场大小相等且方向相反。10.根据前述权利要求中任一项所述的多束操纵器装置,其中当沿着所述带电粒子光学轴观察时,所述所述子束在所述多束内的位置基本上与基本上正方形栅格、基本上菱形栅格和/或基本上歪斜的或移位的正方形栅格的顶点相对应。11.根据前述权利要求中任一项所述的多束操纵器装置,其中,当沿着所述带电粒子光学轴观察时,所述所述子束在所述多束内的位置基本上与基本上六边形栅格和/或基本上歪斜或移位的六边形栅格的顶点相对应。12.一种多束操纵器装置,包括:根据前述权利要求中任一项所述的第一多束操纵器装置;以及一个或多个另外的多束操纵器装置,其中所述一个或多个另外的多束操纵器装置中的每个多束操纵器装置是根据前述权利要求中任一项所述的多束操纵器装置;其中,每个多束操纵器装置沿所述多束操纵器装置的带电粒子光学轴被布置在不同的位置处。13.根据权利要求12所述的多束操纵器装置,其中所述平面电极表面对通过以下来对准:在每个多束操纵器装置内在相同方向上;以及在每个多束操纵器装置中在不同方向上。14.根据权利要求12或13所述的多束操纵器装置,其中所述多束操纵器装置包括第二多束操纵器装置;以及所述第二多束操纵器装置中的平面电极表面对相对于所述第一多束操纵器装置基本上正交地并且沿路径向下来对准。15.一种使带电粒子的多束中的多个子束的路径偏转的方法,其中所述子束以阵列来布置,所述子束在所述阵列中以多条线来布置,所述子束线跨所述阵列基本上彼此平行,所述方法包括:使用在包括多个平行平面电极表面对的电极组中的第一平行平面电极表面对,与所述多束中的第一子束整线静电相互作用,使得第一偏转量在第一方向上被施加到子束路径,第一平行平面电极表面对被配置为:使得它们能够使第一子束线中的所有子束偏转;以及使用所述电极组中的第二平行平面电极表面对,与所述多束中的第二子束整线静电相互作用,使得第二偏转量在第二方向上被施加到子束路径,其中所述第一方向与所述第二方向相反,所述第二平行平面电极表面对被配置为:使得它们能够使所述第二子束线中的所有子束偏转。

技术总结
多束操纵器装置对多束的子束进行操作以使子束路径偏转。该装置包括:作为平行表面对的电极。每个平行表面对包括沿着对应子束线的一侧来布置的第一表面和平行于第一表面并沿着对应子束路径线的相对侧来布置的第二表面。第一平行表面对被配置为与多束中的子束整线静电相互作用,使得其能够在第一方向上向子束的路径施加偏转量。第二平行表面对被配置为与多束中的子束整线静电相互作用,使得其能够在第二方向上向子束的路径施加另一偏转量。第二方向上向子束的路径施加另一偏转量。第二方向上向子束的路径施加另一偏转量。


技术研发人员:P
受保护的技术使用者:ASML荷兰有限公司
技术研发日:2021.01.27
技术公布日:2022/9/14
再多了解一些

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