控制装置、系统、光刻装置、物品的制造方法、控制方法及程序与流程

1.本发明涉及作为主装置来控制从装置的控制装置、具备该控制装置的系统、光刻装置、物品的制造方法、控制方法及程序。


背景技术：

2.在主装置与从装置之间进行数据的发送和接收的系统中，有时在该系统操作的过程中需要使主装置复位。在专利文献1中，提出了如下系统：在该系统设置有传送取消部，在因主装置复位而陷入无法执行从主装置向从装置的数据传送操作的状态的情况下，该传送取消部代替该主装置而使从装置的操作执行完成。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2011-81551号公报


技术实现要素：

6.发明所要解决的问题
7.在主装置与从装置之间每固定周期经由现场网络发送和接收数据的系统中，为了生成向从装置指示的指示数据，有时使设置于主装置的生成部复位。在该情况下，当来自从装置的响应数据存留于现场网络的数据帧中时，可能该响应数据会被错误地发送，可能难以使系统正常地操作。
8.因而，本发明的目的在于提供一种技术，其有利于使在主装置与从装置之间经由现场网络发送和接收数据的系统正常地进行操作。
9.用于解决问题的方案
10.为了实现上述目的，本发明一方面的控制装置为对连接于网络的从装置进行控制的控制装置，其特征在于，包括：生成部，其生成用于对所述从装置中的处理进行控制的指示数据；以及通信部，所述通信部与所述从装置之间每固定周期经由所述网络发送和接收数据帧，所述通信部在检测到所述生成部执行了复位的情况下，在与所述复位执行之前所发送的所述指示数据对应的响应数据残留于所述数据帧中时，所述通信部将所述响应数据设为无效的状态。
11.本发明的进一步目的或者其它方面由以下参照附图说明的优选实施方式来明确。
12.发明的效果
13.根据本发明，例如能够提供有利于使主装置与从装置之间经由现场网络发送和接收数据的系统正常地进行操作的技术。
14.本发明的其它特征和优点由参照附图进行的以下说明来明确。而且，在附图中，对于相同或者同样的结构标注相同的附图标记。
附图说明
15.附图被包含于说明书并构成其一部分，示出本发明的实施方式，与其记述一同用于说明本发明的原理。
16.图1是包括主装置和从装置的系统的概略结构图。
17.图2是示出主装置的通信控制部中进行的处理的流程图。
18.图3是示出序列控制部、生成部、通信控制部以及从装置之间的数据流的一例的图。
19.图4是示出序列控制部、生成部、通信控制部以及从装置之间的数据流的一例的图。
20.图5是示出曝光装置的结构的概略图。图1是根据第一实施例的。
具体实施方式
21.以下，参照附图，详细说明实施方式。而且，以下的实施方式并不限定权利要求书涉及的发明。在实施方式中记载了多个特征，但是本发明并不限于需要这些特征的全部特征，另外，多个特征可以任意组合。还有，在附图中，对于同一或者同样的结构标注同一附图标记，省略重复说明。
22.《第一实施方式》
23.对于本发明涉及的一个实施方式进行说明。图1是包括从装置和控制该从装置的主装置(控制装置)的本实施方式的系统100的概略结构图。如图1所示，本实施方式的系统100可以包括：主装置110；多个从装置120，所述多个从装置120可通信地与主装置110连接；以及单元130，其可通信地与各从装置120连接。主装置110和各从装置120例如可以由具有cpu、存储器等的计算机构成，也可以由单板计算机构成，还可以是以与单板计算机兼用的方式构成。另外，单元130例如为伺服电机等机构，能够被从装置120控制。
24.多个从装置120以菊花链方式可通信地与主装置110连接。主装置110与多个从装置120每固定周期经由现场网络140发送和接收数据。另外，多个从装置120基于从主装置110接收到的数据来分别控制多个单元130。在本实施方式中，作为可通信地与主装置110连接的从装置120，例示了两个从装置121、122，但是从装置120的个数并不限于两个，可以是一个或者三个以上。另外，在本实施方式中，作为被多个从装置120控制的多个单元130，例示了两个单元131、132。单元131能够被从装置121控制，单元132能够被从装置122控制。
25.主装置110可以包括序列控制部111、多个生成部(从控制部)112、通信控制部(通信部)113。序列控制部111控制各从装置120中的处理的序列。例如，序列控制部111根据预定的(设定的)顺序、次序或者制程控制多个生成部112。多个生成部112分别生成指示数据，该指示数据用于对作为控制对象的从装置120中的处理进行控制(指示)。
26.生成部112例如仅设置有与从装置120相同的个数，在本实施方式中，设置有将两个从装置121、121分别作为控制对象的两个生成部112a、112b。生成部112a将从装置121作为控制对象，生成用于对从装置121中的处理进行控制的指示数据。另一方面，生成部112b将从装置122作为控制对象，生成用于对从装置122中的处理进行控制的指示数据。
27.通信控制部113与多个从装置120每固定周期经由现场网络140发送和接收数据。例如，通信控制部113每固定周期经由现场网络140将生成部112a、112b生成的指示数据发
送到从装置121、122，并且接收来自从装置121、122的响应数据。所谓响应数据，例如为用于表示由指示数据指示的处理是否完成的数据(标识)。
28.然后，作为图1所示的现场网络140的一例，对于作为产业用以太网(注册商标)的一个的ethercat(注册商标)进行说明。在ethercat(注册商标)中，由于以固定周期(例如1毫秒)发送和接收数据帧，因而确保了数据的到达时间。在采用ethercat(注册商标)作为现场网络140的情况下，连接于现场网络140的节点中的至少一个节点可以作为主装置110而发挥功能，其它节点作为从装置120而发挥功能。作为主装置110而发挥功能的节点管理现场网络140中的数据帧的发送和接收定时等。
29.在图1所示的例子中，主装置110(通信控制部113)将生成部112a、112b生成的指示数据写入数据帧，并且向从装置121发送该数据帧。接收了数据帧的从装置121对该数据帧的数据中的分配给自身的区域的数据进行读写，并向下一从装置122发送该数据帧。另外，接收了数据帧的从装置122对该数据帧的数据中的分配给自身的数据进行读写，并将该数据帧经由从装置121发送到主装置110。
30.具体来讲，从装置121从接收到的数据帧中读取生成部112a生成的指示数据，在写入响应数据之后，向下一从装置122发送该数据帧。另外，从装置122从接收到的数据帧中读取生成部112b生成的指示数据，在写入响应数据之后，将该数据帧经由从装置121发送到主装置110。
31.在上述那样主装置110与从装置120之间每固定周期经由现场网络发送和接收数据的系统100中，有时仅使多个生成部112中的发生异常、故障的生成部112复位。在该情况下，当来自被该生成部112当作控制对象的从装置120的响应数据存留于现场网络140的数据帧中时，该响应数据会被错误地发送。另外，在复位了的生成部112中，由于在复位前处理了的内容会被消除，因而当接收与在复位前所生成的指示数据对应的响应数据时，可能会发生错误。其结果是，可能难以使系统100正常地操作。
32.因而，本实施方式的通信控制部113在检测到生成部112复位了的情况下，在来自从装置120的响应数据残留于现场网络140的数据帧中时，丢弃该响应数据。例如，通信控制部113在检测到多个生成部112中的复位了的生成部112的情况下，从多个从装置120中确定被该复位了的生成部112当作控制对象的从装置120。而且，在来自所确定的从装置120的响应数据残留于现场网络140的数据帧中时，通信控制部113丢弃该响应数据。
33.图2是示出本实施方式的通信控制部113中进行的处理的流程图。当用户启动系统100时，主装置110和多个从装置121、122启动。而且，主装置110与多个从装置121、122之间，开始每固定周期经由现场网络140发送和接收数据，并且开始图2所示的流程。即使在执行图2所示的流程时，通信控制部113也重复执行：与多个从装置121、122每固定周期经由现场网络140进行数据的发送和接收。
34.在s11中，通信控制部113监视(确认)多个生成部112各自的复位。而且，在s12中，通信控制部113判断是否检测到多个生成部112(112a、112b)中的复位了的生成部112。例如，在生成部112复位了时，不会发送从该生成部112以固定周期发送的指示数据。因此，通信控制部113能够根据是否接收到指示数据，来检测复位了的生成部112。另外，通信控制部113能够基于在生成部112执行复位时从该生成部112发送的数据(标识)来检测复位了的生成部112。在检测到复位了的生成部112的情况下，进行至s13，在没有检测到复位了的生成
部112的情况下，返回s11。
35.在s13中，通信控制部113确定被该复位了的生成部112当作控制对象的从装置120。在本实施方式的系统100中，设置有将多个从装置120分别作为控制对象的多个生成部112，预先掌握有多个从装置120与多个生成部112的对应关系。因此，通信控制部113能够基于表示该对应关系的信息，来确定多个从装置120中的被该复位了的生成部112当作控制对象的从装置120。而且，以下，有时将s13中所确定的从装置120称为“确定从装置120”。
36.在s14中，通信控制部113对确定从装置120中的处理的状态进行确认。而且，在s15中，通信控制部113判断确定从装置120中的处理是否正在执行。例如，通信控制部113能够通过确认每固定周期接收的现场网络140的数据帧，来判断确定从装置120中的处理是否正在执行。具体来讲，在现场网络140的数据帧设置有表示确定从装置120中的处理完成的标识。在现场网络140的数据帧中确立有该标识的情况下，通信控制部113能够判断为确定从装置120中的处理完成。另一方面，在现场网络140的数据帧中没有确立该标识的情况下，通信控制部113能够判断为确定从装置120中的处理正在执行。在确定从装置120中的处理正在执行的情况下，进行至s16，在确定从装置120中的处理完成了的情况下，进行至s19。
37.s16～s18是确定从装置120中的处理正在执行的情况下进入的工序。尽管将确定从装置120作为控制对象的生成部112复位了，但当确定从装置120中的处理已完成时，也可能难以使系统100正常地操作。因而，在本工序中，在确定从装置120中的处理正在执行的情况下，使确定从装置120复位。
38.在s16中，通信控制部113对确定从装置120进行指示，以使确定从装置120执行复位。例如，通信控制部113能够通过将用于指示确定从装置120执行复位的指令(数据)写入现场网络140的数据帧，来指示确定从装置120执行复位。在此，确定从装置120可以原样维持经由现场网络140来与主装置110以及其它从装置120进行的通信并进行自身的复位。由此，即使在正在执行确定从装置120的复位时，通信控制部113也能够对除确定从装置120之外的从装置120维持经由现场网络140进行的通信。
39.在s17中，通信控制部113对确定从装置120的复位的执行状态进行确认。而且，在s18中，通信控制部113判断确定从装置120的复位是否完成。例如，通信控制部113能够通过确认每固定周期接收的现场网络140的数据帧，来判断确定从装置120中的处理是否正在执行。具体来讲，在现场网络140的数据帧中设置有表示确定从装置120的复位完成的标识。在现场网络140的数据帧中确立有该标识的情况下，通信控制部113能够判断为确定从装置120的复位完成。另一方面，在现场网络140的数据帧中没有确立该标识的情况下，通信控制部113能够判断为确定从装置120的复位正在执行。在确定从装置120的复位完成了的情况下，进行至s19，在确定从装置120的复位没有完成的情况下，返回s17。
40.在s19中，通信控制部113确认现场网络140的数据帧。例如，在s16～s18中执行了确定从装置120的复位的情况下，通信控制部113对确定从装置120的复位完成之后的数据帧进行确认即可。而且，在s20中，通信控制部113判断在现场网络140的数据帧中是否残留有(存在)来自确定从装置120的响应数据。在来自确定从装置120的响应数据并未残留于数据帧中的情况下，返回s11。另一方面，在来自确定从装置120的响应数据残留于数据帧中的情况下，进行至s21，在从该数据帧中丢弃该响应数据之后返回s11。
41.在此，“响应数据的丢弃”是指，将该响应数据设为非有效的状态(无效的状态)。例
如，通信控制部113可以通过从现场网络140的数据帧中清除(消除)来自确定从装置120的响应数据，来执行响应数据的丢弃。另外，在响应数据为由是否确立有表示处理完成的标识来表示的情况下，通信控制部113可以通过将在数据帧中所确立的该标识撤下来执行响应数据的丢弃。
42.然后，对于本实施方式的系统100中的数据流进行说明。图3、图4是示出本实施方式的系统100中的序列控制部111、生成部112、通信控制部113以及从装置120之间的数据流的一例的图。图3示出了在现场网络140的数据帧中没有残留响应数据的情况下的数据流的一例(第一实施例)，图4示出了在该数据帧中残留有响应数据的情况下的数据流的一例(第二实施例)。
43.[第一实施例]
[0044]
一边参照图3，一边对于第一实施例进行说明。序列控制部111根据预定的(设定的)顺序、次序或者制程，将用于使生成部112生成指示数据的控制指令发送到该生成部112(s101)。从序列控制部111接收了控制指令的生成部112基于该控制指令，生成用于使从装置120执行处理的指示数据并发送到通信控制部113(s102)。从生成部112接收了指示数据的通信控制部113通过向现场网络140的数据帧中写入该指示数据，来将该指示数据发送到从装置120(s103)。从通信控制部113接收了指示数据的从装置120开始执行由该指示数据指示的处理，并开始对单元130的控制。由此，从装置120变为正在进行处理。
[0045]
在此，在需要使生成部112复位的情况下，序列控制部111将用于使生成部112执行复位的复位指示指令发送到生成部112，执行生成部112的复位(s104)。另外，执行复位的生成部112将表示执行复位的数据(复位执行指令)发送到通信控制部113(s105)。由此，通信控制部113能够检测复位了的生成部112。通信控制部113确定被该复位了的生成部112当作控制对象的从装置120(s106)，通过对所确定的从装置120中的处理的状态进行确认，来判断该从装置120是否正在执行处理(s107)。在该第一实施例中，从装置120正在执行处理(即，不会从从装置120发送响应数据)。因此，通信控制部113将指示从装置120执行复位的复位指示指令发送到从装置120(s108)。接收了复位指示指令的从装置120执行自行复位，在该复位完成了的情况下，经由现场网络140来将表示复位完成的数据(复位完成指令)发送到通信控制部113(s109)。
[0046]
接收了复位完成指令的通信控制部113确认来自从装置120的响应数据是否残留于现场网络140的数据帧中(s110)。在该第一实施例中，由于在从装置120正在执行处理时执行该从装置120的复位，因此表示从装置120中的处理完成的响应数据不会被写入现场网络140的数据帧中。也就是说，在该第一实施例中，来自从装置120的响应数据不会残留于该数据帧中，在通信控制部113不进行响应数据的丢弃的情况下进行至下一控制。
[0047]
序列控制部111根据预定的(设定的)顺序、次序或者制程，将用于使生成部112生成下一指示数据的控制指令发送到该生成部112(s111)。生成部112基于接收到的控制指令，生成用于使从装置120执行处理的指示数据并发送到通信控制部113(s112)。通信控制部113通过将接收到的指示数据写入现场网络140的数据帧中，来将该指示数据发送到从装置120(s113)。从通信控制部113接收了指示数据的从装置120开始执行由该指示数据指示的处理。而且，从装置120在该处理完成后向现场网络140的数据帧中写入响应数据，由此将该响应数据发送到通信控制部113(s114)。通信控制部113接收到的响应数据经由生成部
112(s115)被发送到序列控制部111(s116)。
[0048]
[第二实施例]
[0049]
一边参照图4，一边对于第二实施例进行说明。序列控制部111根据预定的(设定的)顺序、次序或者制程，将用于使生成部112生成下一指示数据的控制指令发送到该生成部112(s201)。生成部112基于接收到的控制指令，生成用于使从装置120执行处理的指示数据并发送到通信控制部113(s202)。通信控制部113通过将接收到的指示数据写入现场网络140的数据帧中，来将该指示数据发送到从装置120(s203)。从通信控制部113接收了指示数据的从装置120开始执行由该指示数据指示的处理。而且，从装置120在该处理完成后，通过向现场网络140的数据帧中写入响应数据，来将该响应数据发送到通信控制部113(s204)。
[0050]
在此，在需要使生成部112复位的情况下，序列控制部111将用于使生成部112执行复位的复位指示指令发送到生成部112，执行生成部112的复位(s205)。另外，执行复位的生成部112将表示执行复位的数据(复位执行指令)发送到通信控制部113(s206)。由此，通信控制部113能够检测复位了的生成部112。通信控制部113确定被该复位了的生成部112当作控制对象的从装置120(s207)，通过对所确定的从装置120中的处理的状态进行确认，来判断该从装置120是否正在执行处理(s208)。在该第二实施例中，由于从装置120中处理完成了(即，在s204中，从从装置120发送了响应数据)，因此不会执行从装置120的复位。
[0051]
通信控制部113确认来自从装置120的响应数据是否残留于现场网络140的数据帧中(s209)。在该第二实施例中，处于如下状态：从装置120中处理完成了并从从装置120发送了响应数据，但是该响应数据并没有被发送到生成部112和序列控制部111。也就是说，处于在现场网络140的数据帧中残留有响应数据的状态。因此，通信控制部113将残留于该数据帧中的响应数据(s210)丢弃，然后进行至下一工序(s211～s216)。s211～s216是与在第一实施例说明的图3的s111～s116同样的工序。由此，能够避免在s204从从装置120发送并残留于数据帧中的响应数据被发送到生成部112和序列控制部111的情形。也就是说，能够避免在s204从从装置120发送的过去的响应数据被发送到生成部112和序列控制部111来作为与在s213发送到从装置120的指示数据对应的响应数据的情形。
[0052]
如上所述，本实施方式的主装置110(通信控制部113)在检测到生成部112的复位的情况下，在来自从装置120的响应数据残留于现场网络140的数据帧中时，丢弃该响应数据。由此，能够避免在现场网络140的数据帧中存留的响应数据被错误地发送的情形，能够使系统100正常地操作。
[0053]
《光刻装置的实施方式》
[0054]
对于应用了本发明涉及的上述系统100的光刻装置的实施方式进行说明。在本实施方式中，作为应用了上述系统100的光刻装置，例示对基板进行曝光并在基板上形成图案的曝光装置来进行说明，但是并不限定于此。例如，即使在利用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置、向基板照射带电粒子束来在该基板形成图案的描绘装置等光刻装置中，也能够应用上述系统100。
[0055]
图5是示出曝光装置10的结构的概略图。曝光装置10是将掩模m的图案经由投影光学系统14投影到基板w来对该基板w进行曝光的曝光装置。曝光装置10具有光源11、照明光学系统12、掩模台13、投影光学系统14、基板台15、主控制部16。另外，曝光装置10具有：第一驱动部21，其驱动掩模台13；第二驱动部22，其驱动投影光学系统14的透镜14a；以及第三驱
动部23，其驱动基板台15。第一驱动部21、第二驱动部22以及第三驱动部23是进行在基板w形成图案的处理中的至少一部分处理的机构，分别被掩模台控制部31、投影控制部32以及基板台控制部33控制。另外，主控制部16例如具有cpu、存储器(存储部)等，通过控制掩模台控制部31、投影控制部32以及基板台控制部33来控制整个曝光装置10(曝光装置10的各部分)。
[0056]
光源11射出曝光光。照明光学系统12利用从光源11射出的光来对掩模m进行照明。掩模台13能够构成为，保持掩模m并且例如能够因第一驱动部21而在xy方向移动。投影光学系统14将由照明光学系统12照明的掩模m的图案投影到基板上。投影光学系统14包括透镜14a，所述透镜14a例如能够因第二驱动部22而在x方向移动。基板台15能够构成为，保持基板w并且例如能够因第三驱动部23而在xy方向移动。
[0057]
在图5所示的曝光装置10中应用本发明涉及的上述系统100的情况下，主控制部16能够构成为主装置110。另外，掩模台控制部31、投影控制部32以及基板台控制部33能够分别构成为从装置120。第一驱动部21、第二驱动部22以及第二驱动部能够分别构成为单元130。主控制部16、掩模台控制部31、投影控制部32以及基板台控制部33之间的数据的发送和接收会每固定周期经由现场网络进行。
[0058]
《物品的制造方法的实施方式》
[0059]
本发明的实施方式涉及的物品的制造方法例如适于制造半导体器件等微型器件、具有微细结构的元件等物品。本实施方式的物品的制造方法包括：利用上述的光刻装置(曝光装置)在基板上形成图案的工序；对在该工序形成了图案的基板进行加工的工序。还有，该制造方法包括其它公知的工序(氧化、成膜、蒸镀、掺杂、平坦化、蚀刻、抗蚀剂剥离、切割、邦定、封装等)。本实施方式的物品的制造方法与以往的方法相比，有利于物品的性能、品质、生产性、生产成本中的至少一个。
[0060]
《其它实施例》
[0061]
本发明还能够在如下处理中实现：经由网络或者存储介质向系统或者装置提供能够实现上述实施方式的一个以上功能的程序，该系统或者装置的计算机中的一个以上的处理器读出并执行程序。另外，还能够由能够实现一个以上功能的电路(例如，asic)来实现。
[0062]
发明并不限定于上述实施方式，在不脱离发明的精神和范围的情况下，能够进行各种变更和变形。因而，为了公开发明的范围而附加权利要求。
[0063]
本技术基于2020年2月19日提出的日本专利申请特愿2020-026476主张优先权，将其记载内容全部引用于此。
[0064]
附图标记的说明
[0065]
100：系统；110：主装置；111：序列控制部；112：生成部；113：通信控制部；120：从装置；130：单元。