控制装置、控制方法以及程序与流程

技术特征：
1.一种控制装置，包括：工艺数据获取部，从存储从生产设备获得的工艺数据的存储装置读出所述工艺数据；以及控制部，以满足使用所述工艺数据中的至少一部分定义的限制条件来对使用所述工艺数据中的至少一部分定义的目的函数进行最优化的方式，针对预先决定的调整对象的所述工艺数据求出最优解，基于该最优解来控制所述生产设备，所述存储装置中还存储有已学习模型，所述已学习模型基于因果关系信息对从所述生产设备获得的所述工艺数据的特征进行了学习，其中，所述因果关系信息对所述工艺数据中的作为说明变量的第一工艺数据与作为目的变量的第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值的组合进行定义，所述限制条件包括：所述第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值是使用所述第一工艺数据和所述已学习模型计算出的值的条件；以及针对所述工艺数据中的至少一部分的上限值或下限值。2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述目的函数或所述限制条件中的至少一部分还使用表示所述工艺数据的单价的信息，使用由所述工艺数据与所述单价的积表示的成本进行定义。3.根据权利要求1或2所述的控制装置，其中，所述已学习模型是第一时间点的输出至少依赖于该第一时间点的过去的第二时间点的输出的自回归模型。4.根据权利要求1～3中任一项所述的控制装置，其中，所述已学习模型根据所述说明变量的正负的变动方向来决定所述目的变量的正负的变动方向。5.根据权利要求1～4中任一项所述的控制装置，其中，所述已学习模型是包括多个预测式的分级结构，具有将通过第一预测式计算出的预测值包括在说明变量中的第二预测式。6.根据权利要求1～5中任一项所述的控制装置，其中，包括多个所述目的函数，所述控制部进行多目的最优化。7.一种控制方法，其中，控制装置执行：工艺数据获取步骤，从存储从生产设备获得的工艺数据的存储装置读出所述工艺数据；以及控制步骤，以满足使用所述工艺数据中的至少一部分定义的限制条件来对使用所述工艺数据中的至少一部分定义的目的函数进行最优化的方式，针对预先决定的调整对象的所述工艺数据求出最优解，基于该最优解来控制所述生产设备，所述存储装置中还存储有已学习模型，所述已学习模型基于因果关系信息对从所述生产设备获得的所述工艺数据的特征进行了学习，其中，所述因果关系信息对所述工艺数据中的作为说明变量的第一工艺数据与作为目的变量的第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值的组合进行定义，
所述限制条件包括：所述第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值是使用所述第一工艺数据和所述已学习模型计算出的值的条件；以及针对所述工艺数据中的至少一部分的上限值或下限值。8.一种程序，其中，使计算机执行：工艺数据获取步骤，从存储从生产设备获得的工艺数据的存储装置读出所述工艺数据；以及控制步骤，以满足使用所述工艺数据中的至少一部分定义的限制条件来对使用所述工艺数据中的至少一部分定义的目的函数进行最优化的方式，针对预先决定的调整对象的所述工艺数据求出最优解，基于该最优解来控制所述生产设备，还从所述存储装置读出已学习模型，所述已学习模型基于因果关系信息对从所述生产设备获得的所述工艺数据的特征进行了学习，其中，所述因果关系信息对所述工艺数据中的作为说明变量的第一工艺数据与作为目的变量的第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值的组合进行定义，所述限制条件包括：所述第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值是使用所述第一工艺数据和所述已学习模型计算出的值的条件；以及针对所述工艺数据中的至少一部分的上限值或下限值。

技术总结
本发明求出高精度、满足所希望的基准的生产设备的运转条件。控制装置包括控制部，该控制部以满足使用工艺数据中的至少一部分定义的限制条件来对使用工艺数据中的至少一部分定义的目的函数进行最优化的方式，针对预先决定的调整对象的工艺数据求出最优解，基于该最优解来控制生产设备。此外，存储装置中还存储有已学习模型，该已学习模型基于因果关系信息对从生产设备获得的工艺数据的特征进行了学习，其中，该因果关系信息对作为说明变量的第一工艺数据与作为目的变量的第二工艺数据的组合进行定义，限制条件包括：第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值是使用第一工艺数据和已学习模型计算出的值的条件；以及针对工艺数据中的至少一部分的上限值或下限值。艺数据中的至少一部分的上限值或下限值。艺数据中的至少一部分的上限值或下限值。


技术研发人员：灰塚真浩 小园英俊 三好史浩
受保护的技术使用者：株式会社大赛璐
技术研发日：2021.02.04
技术公布日：2022/9/14