一体式氮气吹扫模块和干式真空泵的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种一体式氮气吹扫模块和干式真空泵。


背景技术：

2.随着经济的发展，社会的进步，光伏半导体行业的兴起，国内对干式真空泵的需求量日益增加；为应对光伏和半导体生产工艺经常出现的腐蚀性气体和粉尘，通常在干式真空泵的抽气腔体内通入一定的氮气，用于稀释和吹扫腐蚀性气体和粉尘，避免腔体和转子腐蚀。
3.但现有的技术只是简单给真空泵通入一定量的氮气，且氮气的流量是额定的，通气的位置也固定不变，这使得氮气的吹扫和稀释功能无法满足客户现场各种工况的使用要求，而且，通氮气的线路布置复杂，占用空间大，成本高。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的包括提供了一种一体式氮气吹扫模块和干式真空泵，其能够对泵体上的多个位置进行氮气吹扫，而且每个位置的氮气流量可以灵活调节，氮气的线路布置集成度高、占用空间小。
5.本实用新型的实施例可以这样实现：
6.第一方面，本实用新型提供一种一体式氮气吹扫模块，一体式氮气吹扫模块包括模块主体以及安装在模块主体上的进气单向阀、减压阀和主路电磁阀，模块主体内部开设有气道，还开设有与气道连通的多个出气口，每个出气口内安装有限流螺钉，进气单向阀用于连接氮气源，通过气道，进气单向阀、减压阀、主路电磁阀以及出气口依次连通。
7.在可选的实施方式中，出气口的数量为六个、且开设在模块主体的同一侧表面上。
8.在可选的实施方式中，一体式氮气吹扫模块还包括进气吹扫管道、lv腔吹扫管道、轴封吹扫管道、三四级腔吹扫管道、四五级腔吹扫管道和排气腔吹扫管道，且分别连接到六个出气口上，进气吹扫管道用于连接到泵体的进气口，lv腔吹扫管道用于连接到泵体的lv腔，轴封吹扫管道用于连接到泵体的轴封腔，三四级腔吹扫管道用于连接到泵体的三四级腔，四五级腔吹扫管道用于连接到泵体的四五级腔，排气腔吹扫管道用于连接到泵体的排气腔。
9.在可选的实施方式中，一体式氮气吹扫模块还包括压力传感器，安装在模块主体上，压力传感器与连接排气腔吹扫管道的出气口连通，压力传感器用于监测泵体的排气腔的排气口压力。
10.在可选的实施方式中，一体式氮气吹扫模块还包括手动开闭阀，安装在模块主体上，手动开闭阀用于控制连接三四级腔吹扫管道和四五级腔吹扫管道的两个出气口的开闭。
11.在可选的实施方式中，一体式氮气吹扫模块还包括流量计，安装在模块主体上、且
通过气道连通在减压阀与主路电磁阀之间。
12.在可选的实施方式中，一体式氮气吹扫模块还包括多个支路电磁阀，安装在模块主体上、且通过气道连通在主路电磁阀与多个出气口之间，多个支路电磁阀分别用于控制各个出气口与主路电磁阀导通或关断。
13.第二方面，本实用新型提供一种干式真空泵，干式真空泵包括泵体和连接在泵体上的前述实施方式的一体式氮气吹扫模块。
14.在可选的实施方式中，一体式氮气吹扫模块的出气口的数量为六个，一体式氮气吹扫模块还包括进气吹扫管道、lv腔吹扫管道、轴封吹扫管道、三四级腔吹扫管道、四五级腔吹扫管道和排气腔吹扫管道，且分别连接到六个出气口上，进气吹扫管道连接到泵体的进气口，lv腔吹扫管道连接到泵体的lv腔，轴封吹扫管道连接到泵体的轴封腔，三四级腔吹扫管道连接到泵体的三四级腔，四五级腔吹扫管道连接到泵体的四五级腔，排气腔吹扫管道连接到泵体的排气腔。
15.在可选的实施方式中，一体式氮气吹扫模块还包括压力传感器，安装在模块主体上，压力传感器与连接排气腔吹扫管道的出气口连通，压力传感器用于监测泵体的排气腔的排气口压力。
16.本实用新型实施例提供的一体式氮气吹扫模块和干式真空泵的有益效果包括：
17.1.通过在模块主体上集成进气单向阀、减压阀和主路电磁阀，并设置多个出气口，可以连接到泵体上的多个位置进行氮气吹扫，模块高度集成化，缩减占用空间，减少元器件数量，降低成本；
18.2.每个出气口内安装有限流螺钉，每个位置的氮气流量可以灵活调节，只需更换限流螺钉即能调节各出气口的流量，满足不同型号泵的氮气吹扫需求，适用范围广。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
20.图1为本实用新型第一实施例提供的一体式氮气吹扫模块的第一视角的结构示意图；
21.图2为本实用新型第一实施例提供的一体式氮气吹扫模块的第二视角的结构示意图；
22.图3为本实用新型第二实施例提供的一体式氮气吹扫模块的第一视角的结构示意图；
23.图4为本实用新型第二实施例提供的一体式氮气吹扫模块的第二视角的结构示意图；
24.图5为本实用新型第三实施例提供的干式真空泵的第一视角的结构示意图；
25.图6为本实用新型第三实施例提供的干式真空泵的第二视角的结构示意图。
26.图标：100-一体式氮气吹扫模块；110-模块主体；111-出气口；120-进气单向阀；130-减压阀；140-流量计；150-主路电磁阀；160-压力传感器；170-手动开闭阀；180-吹扫管
道；181-进气吹扫管道；182-lv腔吹扫管道；183-轴封吹扫管道；184-三四级腔吹扫管道；185-四五级腔吹扫管道；186-排气腔吹扫管道；190-支路电磁阀；200-干式真空泵；210-泵体。
具体实施方式
27.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
28.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
30.在本实用新型的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
31.此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
32.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例中的特征可以相互结合。
33.第一实施例
34.请参考图1和图2，本实施例提供了一种一体式氮气吹扫模块100，一体式氮气吹扫模块100包括模块主体110以及安装在模块主体110上的进气单向阀120、减压阀130、流量计140、主路电磁阀150、压力传感器160和手动开闭阀170。
35.模块主体110内部开设有气道(图中未示出)，模块主体110的同一侧表面上开设有六个出气口111，模块主体110设计为长方体结构，这样，在模块主体110上开设气道和出气口111加工方便。本实施例中，出气口111的数量为六个，在其它实施例中，可以根据泵体210需要氮气吹扫的位置数量灵活设计出气口111的数量。
36.进气单向阀120用于连接氮气源，通过气道，进气单向阀120、减压阀130、流量计140、主路电磁阀150以及出气口111依次连通。
37.其中，压力传感器160安装在模块主体110上并与其中一个出气口111连通，压力传感器160可以监测该出气口111中的压力，也就是监测到了泵体210中连接该出气口111的位置的压力，例如该出气口111可以连接到泵体210的排气腔，以监测排气腔的排气口压力，避免泵体210排气异常、造成设备损坏。
38.手动开闭阀170安装在模块主体110上，手动开闭阀170可以单独控制一个或两个出气口111的开闭，在泵体210需要氮气吹扫的位置少于六个时，即可关闭一些出气口111。
39.优选地，还可以设置多个支路电磁阀190，安装在模块主体110上、且通过气道连通在主路电磁阀150与多个出气口111之间，多个支路电磁阀190分别用于控制各个出气口111与主路电磁阀150导通或关断，从而实现灵活控制每个出气口111的开闭，满足客户不同工况的需求。
40.本实用新型实施例提供的一体式氮气吹扫模块100的有益效果包括：
41.1.通过在模块主体110上集成进气单向阀120、减压阀130和主路电磁阀150，并设置多个出气口111，可以连接到泵体210上的多个位置进行氮气吹扫，模块高度集成化，缩减占用空间，减少元器件数量，降低成本；
42.2.每个出气口111内安装有限流螺钉，每个位置的氮气流量可以灵活调节，只需更换限流螺钉即能调节各出气口111的流量，满足不同型号泵的氮气吹扫需求，适用范围广。
43.第二实施例
44.请参考图3和图4，本实施例提供了一种一体式氮气吹扫模块100，其在第一实施例提供的结构的基础上，增加了多个吹扫管道180。
45.具体的，一体式氮气吹扫模块100还包括进气吹扫管道181(请参阅图5和图6)、lv腔吹扫管道182、轴封吹扫管道183、三四级腔吹扫管道184、四五级腔吹扫管道185和排气腔吹扫管道186，且分别连接到六个出气口111上，进气吹扫管道181用于连接到泵体210的进气口，lv腔吹扫管道182用于连接到泵体210的lv腔，轴封吹扫管道183用于连接到泵体210的轴封腔，三四级腔吹扫管道184用于连接到泵体210的三四级腔，四五级腔吹扫管道185用于连接到泵体210的四五级腔，排气腔吹扫管道186用于连接到泵体210的排气腔。
46.其中，手动开闭阀170安装在模块主体110上，手动开闭阀170可以单独控制连接三四级腔吹扫管道184和四五级腔吹扫管道185的两个出气口111的开闭。压力传感器160与连接排气腔吹扫管道186的出气口111连通，压力传感器160用于监测泵体210的排气腔的排气口压力。
47.优选地，每个吹扫管道180可以设计多个支路，且在每个支路上单独设置开关，从而满足泵体210更多位置氮气吹扫的需求。
48.本实用新型实施例提供的一体式氮气吹扫模块100通过增设多个吹扫管道180，模块高度集成化，避免氮气的线路杂乱，减小占用空间。同时，设置六条常用的吹扫管道180，可以满足大多数型号的真空泵的氮气吹扫的需求。
49.第三实施例
50.请参考图5和图6，本实施例提供了一种干式真空泵200，干式真空泵200包括泵体210和连接在泵体210上的第二实施例的一体式氮气吹扫模块100。
51.具体的，一体式氮气吹扫模块100的出气口111的数量为六个，一体式氮气吹扫模块100还包括进气吹扫管道181、lv腔吹扫管道182、轴封吹扫管道183、三四级腔吹扫管道184、四五级腔吹扫管道185和排气腔吹扫管道186，且分别连接到六个出气口111上，进气吹扫管道181连接到泵体210的进气口，lv腔吹扫管道182连接到泵体210的lv腔，轴封吹扫管道183连接到泵体210的轴封腔，三四级腔吹扫管道184连接到泵体210的三四级腔，四五级腔吹扫管道185连接到泵体210的四五级腔，排气腔吹扫管道186连接到泵体210的排气腔。
52.其中，手动开闭阀170安装在模块主体110上，手动开闭阀170可以单独控制连接三四级腔吹扫管道184和四五级腔吹扫管道185的两个出气口111的开闭。压力传感器160与连
接排气腔吹扫管道186的出气口111连通，压力传感器160用于监测泵体210的排气腔的排气口压力，避免泵体210排气异常、造成设备损坏。
53.本实用新型实施例提供的一体式氮气吹扫模块100和干式真空泵200的有益效果包括：
54.1.通过在模块主体110上集成进气单向阀120、减压阀130和主路电磁阀150，并设置多个出气口111，可以连接到泵体210上的多个位置进行氮气吹扫，模块高度集成化，缩减占用空间，减少元器件数量，降低成本；
55.2.每个出气口111内安装有限流螺钉，每个位置的氮气流量可以灵活调节，只需更换限流螺钉即能调节各出气口111的流量，满足不同型号泵的氮气吹扫需求，适用范围广；
56.3.一体式氮气吹扫模块100上集成有监测泵体210的排气压力的功能，避免干式真空泵200排气异常、造成设备损坏；
57.4.通过设置支路电磁阀190可以单独控制每个吹扫管道180的开闭，满足客户不同工况的需求。
58.以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。