片状电子部件用夹具的制作方法

1.本发明涉及具有各容纳且保持一个片状电子部件的多个片容纳部的片状电子部件用夹具，特别是，涉及片状电子部件用夹具的形态上的改良。


背景技术：

2.对本发明而言感兴趣的片状电子部件用夹具例如记载于日本特开2008-177188号公报(专利文献1)。在专利文献1记载的片状电子部件用夹具是用于片状电子部件的处理的夹具，包含支承构件和承载构件。支承构件包含金属材料。支承构件作为整体为平面状，在其面内具有许多的贯通的片插入孔。承载构件是将金属经线和金属纬线编制而成的网状体。承载构件与支承构件的一面接合，使片插入孔的开口面内存在至少一个交叉部。
3.在使用上述的片状电子部件用夹具并通过反应气体对多个片状电子部件进行处理时，在形成于片状电子部件用夹具的多个片插入孔分别各插入一个片状电子部件。片状电子部件用夹具的承载构件由网状体构成，因此具有通气性。因此，在处理工序中，反应气体能够流入到片状电子部件的周边。
4.在先技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2008-177188号公报


技术实现要素：

7.发明要解决的课题
8.然而，在处理工序中，有时将多个片状电子部件用夹具堆叠成多层而进行使用。在该情况下，相对于容纳片状电子部件的片插入孔的通气性变差。因此，关于通气性，希望用于使其进一步提高的改良。
9.因此，本发明的目的在于，要提供一种能够使通气性进一步提高的片状电子部件用夹具。
10.用于解决课题的技术方案
11.在本发明涉及的片状电子部件用夹具中，在将x方向以及y方向设为相互交叉的方向，且将z方向设为与x方向以及y方向正交的方向时，片状电子部件用夹具具备各自在x方向上延伸的多个x方向线状构件和各自在y方向上延伸的多个y方向线状构件。由这些多个x方向线状构件和多个y方向线状构件构成多个片容纳部，该多个片容纳部用于各容纳一个片状电子部件，且在x方向以及y方向这两个方向上排列。
12.各片容纳部具有承载片状电子部件的底壁部和从底壁部向z方向立起的侧壁部，侧壁部在与底壁部相反侧形成有将片状电子部件收容到片容纳部的第1开口。
13.上述第1开口具有由多个x方向线状构件中的在y方向上相邻的x方向线状构件和多个y方向线状构件中的在x方向上相邻的y方向线状构件规定的四边形的形状。
14.上述侧壁部由在z方向上排列的多个x方向线状构件以及在z方向上排列的多个y
方向线状构件形成。
15.上述底壁部由横穿侧壁部内的空间的x方向线状构件以及y方向线状构件中的至少一者形成。
16.在这种结构的片状电子部件用夹具中，为了解决上述的技术课题，其特征在于，在片容纳部中的相邻的片容纳部之间，设置有具有不可能收容片状电子部件的第2开口的通气阱(pocket)。
17.另外，本发明涉及的片状电子部件用夹具所处理的片状电子部件并不限于已完成的片状电子部件，例如还包含像成为烧成的对象的未烧成的片状电子部件那样的制造中途的作为半成品的片状电子部件。
18.发明效果
19.根据本发明，在片状电子部件用夹具中，在片容纳部以外另外具备通气阱，因此能够通过通气阱使气体能够通过的空间更大。因此，即使在处理工序中将多个片状电子部件用夹具堆叠成多层来使用的情况下，也能够遍及多个片状电子部件用夹具的全部而确保良好的通气性。其结果是，能够均匀地一下子处理许多的片状电子部件。
20.此外，处于通气阱的第2开口不能收容片状电子部件，因此能够防止片状电子部件错误地嵌入到通气阱。
附图说明
21.图1是示意性地示出根据本发明的第1实施方式的片状电子部件用夹具11的俯视图。
22.图2是将图1所示的片状电子部件用夹具11的一部分放大示出的主视图，一并示出了所容纳的片状电子部件12。
23.图3是将图1所示的片状电子部件用夹具11的一部分放大示出的俯视图，用点线示出了所容纳的片状电子部件12。
24.图4是示出作为图2所示的片状电子部件用夹具11的比较例的片状电子部件用夹具11h的、与图2相当的图。
25.图5是示意性地示出将图1至图3所示的片状电子部件用夹具11堆叠成多层的状态的主视图。
26.图6是示出根据本发明的第2实施方式的片状电子部件用夹具11a的、与图2相当的图。
27.图7是示出根据本发明的第3实施方式的片状电子部件用夹具11b的、与图2相当的图。
28.图8是示出根据本发明的第4实施方式的片状电子部件用夹具11c的、与图1相当的图。
具体实施方式
29.参照图1至图3，对片状电子部件用夹具11的基本结构进行说明。在进行说明时，像图1至图3所图示的那样规定x方向、y方向以及z方向。x方向以及y方向相互交叉，z方向与x方向以及y方向正交。另外，优选x方向以及y方向相互正交。
30.片状电子部件用夹具11具备多个x方向线状构件x1，该多个x方向线状构件x1配置为构成与x方向以及y方向平行的层，相互隔开间隔并且各自在x方向上延伸。片状电子部件用夹具11具备以与x方向线状构件x1的情况同样的方式配置的多个x方向线状构件x2、多个x方向线状构件x3、多个x方向线状构件x4以及多个x方向线状构件x5。
31.进而，片状电子部件用夹具11具备多个y方向线状构件y1，该多个y方向线状构件y1配置为构成与x方向以及y方向平行的层，相互隔开间隔并且各自在y方向上延伸。片状电子部件用夹具11具备以与y方向线状构件y1的情况同样的方式配置的多个y方向线状构件y2、多个y方向线状构件y3、多个y方向线状构件y4、多个y方向线状构件y5以及多个y方向线状构件y6。
32.关于线状构件x1～x5各自和线状构件y1～y6各自，相邻的线状构件之间的间隔，例如，x方向线状构件x1中的相邻的x方向线状构件x1之间的间隔例如在0.1mm至5.0mm的范围内选择。
33.如图2所示，多个x方向线状构件x1、多个x方向线状构件x2、多个x方向线状构件x3、多个x方向线状构件x4、以及多个x方向线状构件x5配置为构成相互不同的层。此外，如图2所示，多个y方向线状构件y1、多个y方向线状构件y2、多个y方向线状构件y3、多个y方向线状构件y4、多个y方向线状构件y5、以及多个y方向线状构件y6配置为构成相互不同的层。多个x方向线状构件x1～x5和多个y方向线状构件y1～y6在z方向上交替地配置。
34.为了各容纳一个图2所图示的片状电子部件12，多个片容纳部13由上述的多个x方向线状构件x1～x5和多个y方向线状构件y1～y6构成。如图1所示，多个片容纳部13在x方向以及y方向这两个方向上排列。
35.在该实施方式中，如图2中关于y方向线状构件y1～y6所示的那样，x方向线状构件x1～x5和y方向线状构件y1～y6具有剖面为圆形的棒材的形态。据此，能够减小片容纳部13内的片状电子部件12与x方向线状构件x1～x5以及y方向线状构件y1～y5的接触面积，能够使气体在片状电子部件12的周围流畅地流通。
36.另外，虽然线状构件x1～x5和y1～y6被图示为剖面为圆形的棒材的形态，但是并不限于剖面为圆形，例如也可以具有矩形、椭圆状、长圆状、半圆状或矩形以外的多边形的剖面。此外，多个线状构件x1～x5和y1～y6的形态可以彼此相同，也可以不同。
37.片容纳部13各自具有承载片状电子部件12的底壁部14和从底壁部14向z方向立起的侧壁部15，侧壁部15在与底壁部14相反侧形成有将片状电子部件12收容到片容纳部13的第1开口16。
38.如图3所示，第1开口16具有由多个x方向线状构件x1中的在y方向上相邻的x方向线状构件x1和多个y方向线状构件y1中的在x方向上相邻的y方向线状构件y1规定的四边形的形状。在该实施方式中，第1开口16具有正方形的形状。
39.第1开口16的大小选择为各容纳一个片状电子部件12。更具体地，第1开口16设为收容片状电子部件12的特定的端面但是不能收容该端面以外的端面的大小，且设为不会收容两份片状电子部件12的端面的大小。
40.如图2所示，侧壁部15由在z方向上排列的多个x方向线状构件x1～x4和在z方向上排列的多个y方向线状构件y1～y5形成。
41.像在图3中通过第1开口16看到的那样，底壁部14由最下层的x方向线状构件x5中
的横穿侧壁部15内的空间的x方向线状构件x5和最下层的y方向线状构件y6中的横穿侧壁部15内的空间的y方向线状构件y6形成。也可以省略横穿侧壁部15内的空间的x方向线状构件x5以及横穿侧壁部15内的空间的y方向线状构件y6中的任一者。由此，设置在底壁部14的贯通孔具有禁止容纳于片容纳部13的片状电子部件12的通过的大小、形状以及配置中的至少一者。
42.另外，底壁部14能够在不阻碍通气性的范围内代替x方向线状构件x5以及y方向线状构件y6而由自由的形状的构件构成。例如，底壁部14能够由如下的平行的多个线状构件构成，该多个线状构件沿着与x方向以及y方向平行的面配置，在既不同于x方向也不同于y方向的方向上延伸，且相互隔开间隔。或者，底壁部14能够由形成了多个贯通孔的板状构件构成。但是，在它们之中，设置在底壁部14的贯通孔也需要具有禁止容纳于片容纳部13的片状电子部件12的通过的大小、形状以及配置中的至少一者。
43.x方向线状构件x1～x5和y方向线状构件y1～y6例如可包含sic、氧化锆、氧化钇稳定化氧化锆、氧化铝或莫来石等陶瓷、镍、铝、镍铬铁合金(inconel，注册商标)或不锈钢等金属、聚四氟乙烯、聚丙烯、丙烯酸树脂、类abs(acrylonitrile butadiene styrene，丙烯腈-丁二烯-苯乙烯)树脂或其它耐热树脂等树脂材料、碳、或金属和陶瓷所构成的复合材料。
44.x方向线状构件x1～x5和y方向线状构件y1～y6各自的线径例如为0.1mm以上且2.0mm以下。在该实施方式中，这些线状构件x1～x5和y1～y6的线径彼此相同，但是也可以彼此不同。
45.在该实施方式中，x方向线状构件x1～x5和y方向线状构件y1～y6包含陶瓷。因此，x方向线状构件x1～x5和y方向线状构件y1～y6各自的彼此相接的线状构件彼此的接合优选通过烧结来实现。
46.此外，x方向线状构件x1～x5和y方向线状构件y1～y6各自的表面也可以通过sic、氧化锆、氧化钇、氧化钇稳定化氧化锆、氧化铝或莫来石等陶瓷、或镍等金属进一步进行涂覆。
47.具备如上所述的基本结构的片状电子部件用夹具11具备如下的特征性结构。
48.在片容纳部13中的相邻的片容纳部13之间，设置有至少一个通气阱17。通气阱17具备第2开口18，该第2开口18具有不可能收容片状电子部件12的大小以及形状中的至少一者。
49.在该实施方式中，通气阱17设置在片容纳部13中的在x方向上相邻的片容纳部13之间。优选地，如图1所示，通气阱17设置在全部的片容纳部13中的在x方向上相邻的片容纳部13之间。
50.根据上述的结构，片容纳部13和通气阱17被y方向线状构件y1～y6划分，x方向线状构件x1～x5中的任意x方向线状构件介于这些y方向线状构件y1～y6中的相邻的y方向线状构件之间，从而形成空间。因此，通气阱17相对于片容纳部13具有通气性。
51.如图3所示，第2开口18具有由多个x方向线状构件x1中的在y方向上相邻的x方向线状构件x1和多个y方向线状构件y1中的在x方向上相邻的y方向线状构件y1规定的四边形的形状。在该实施方式中，规定第2开口18的、y方向线状构件y1中的在x方向上相邻的y方向线状构件y1之间的间隔s1(参照图2以及图3)选择为禁止片状电子部件12的通过的大小。更
具体地，在该实施方式中，规定第2开口18的、y方向线状构件y1中的在x方向上相邻的y方向线状构件y1的配置间距p2设为比规定第1开口16的、y方向线状构件y1中的在x方向上相邻的y方向线状构件y1的配置间距p1短。由此，第2开口18成为具有不能收容片状电子部件12的任何端面的大小以及形状中的至少一者的结构。
52.因此，在该实施方式中，还具有如下的特征，即，片容纳部13中的第1开口16具有正方形的形状，但是通气阱17中的第2开口18具有长方形(不包含正方形。)的形状。
53.另外，作为上述实施方式的变形例，通气阱17也可以设置在片容纳部13中的在y方向上相邻的片容纳部13之间。在该情况下，规定第2开口18的、x方向线状构件x1中的在y方向上相邻的x方向线状构件x1之间的间隔选择为禁止片状电子部件12的通过的大小。
54.图4是与图2相当的图，示出上述的片状电子部件用夹具11的比较例。在图4中，对与图2所示的要素相当的要素标注相同的参照附图标记，并省略重复的说明。
55.图4所示的片状电子部件用夹具11h不具备通气阱。即，多个片容纳部13中的相邻的片容纳部13仅隔着在z方向上排列的x方向线状构件x1～x5以及y方向线状构件y1～y6。因此，与图2所示的片状电子部件用夹具11相比较，图4所示的片状电子部件用夹具11h在不具备通气阱这一点上通气性差。
56.在图5中，示意性地示出了将参照图1至图3说明的片状电子部件用夹具11堆叠成多层的状态。根据图5可知，通过通气阱17，能够遍及堆叠成多层的多个片状电子部件用夹具11的全部而确保良好的通气性。因此，能够均匀地一下子处理许多的片状电子部件12。
57.图6是示出根据本发明的第2实施方式的片状电子部件用夹具11a的、与图2相当的图。在图6中，对与图2所示的要素相当的要素标注相同的参照附图标记，并省略重复的说明。
58.在图6所示的片状电子部件用夹具11a中，与前述的片状电子部件用夹具11的情况同样地，通气阱17a设置在片容纳部13中的在x方向上相邻的片容纳部13之间，但是通气阱17a具有与片容纳部13相同的容积。在通气阱17a中，第2开口18a具有如下的形态，即，将由两根x方向线状构件x1和两根y方向线状构件y1规定的四边形的形状通过其它y方向线状构件ya分割为多个部分，例如，两个部分，使得成为禁止片状电子部件12的通过的大小。
59.另外，在通气阱17a中，为了将第2开口18a具有的四边形的形状分割为多个部分，使得成为禁止片状电子部件12的通过的大小，在上述的实施方式中配置了其它y方向线状构件ya。另一方面，在通气阱设置在片容纳部中的在y方向上相邻的片容纳部之间的情况下，为了分割第2开口，配置其它x方向线状构件。
60.除此以外，也可以通过任意的构件来分割第2开口18a。例如，也可以通过如下的多个线状构件来分割第2开口18a，该多个线状构件沿着与x方向以及y方向平行的面配置，在既不同于x方向也不同于y方向的方向上延伸，且相互隔开间隔而平行地延伸。或者，也可以对第2开口18a各自独立地配置线状构件，由此来分割第2开口18a。
61.此外，在图6所示的实施方式中，通气阱17a具有与片容纳部13相同的容积。然而，该结构并不是根本性的，通气阱17a也可以具有与片容纳部13不同的容积。
62.图7是示出根据本发明的第3实施方式的片状电子部件用夹具11b的、与图2相当的图。在图7中，对与图2所示的要素相当的要素标注相同的参照附图标记，并省略重复的说明。
63.在图7所示的片状电子部件用夹具11b中，与图6所示的片状电子部件用夹具11a的情况同样地，通气阱17b设置在片容纳部13中的在x方向上相邻的片容纳部13之间，且具有与片容纳部13相同的容积。此外，在图7所示的片状电子部件用夹具11b中，与图2所示的片状电子部件用夹具11的情况同样地，通气阱17b中的第2开口18b具有由多个x方向线状构件x1中的在y方向上相邻的x方向线状构件x1和多个y方向线状构件y1中的在x方向上相邻的y方向线状构件y1规定的四边形的形状。
64.此外，规定第2开口18b的、y方向线状构件y1中的在x方向上相邻的y方向线状构件y1之间的间隔s2选择为禁止片状电子部件12的通过的大小，关于此，与图2所示的片状电子部件用夹具11的情况相同。但是，用于实现这一点的结构与图2所示的片状电子部件用夹具11的情况不同。
65.在图7所示的片状电子部件用夹具11b中，规定通气阱17b中的第2开口18b的、y方向线状构件y1中的在x方向上相邻的y方向线状构件y1中的至少一者设为比其它y方向线状构件y2～y6粗，从而突出地设置，使得将第2开口18b缩小。在图示的实施方式中，规定第2开口18b的、y方向线状构件y1中的在x方向上相邻的y方向线状构件y1的双方设为比其它y方向线状构件y2～y6粗。
66.另外，作为上述实施方式的变形例，在通气阱17设置于片容纳部13中的在y方向上相邻的片容纳部13之间的情况下，规定第2开口18的、x方向线状构件x1中的在y方向上相邻的x方向线状构件x1中的至少一者设为比其它的x方向线状构件x2～x5粗。
67.此外，规定第2开口18b的线状构件的剖面形状可以与其它线状构件相同，也可以不同。规定第2开口18b的线状构件例如也可以具有矩形、椭圆状、长圆状、半圆状或矩形以外的多边形的剖面。在图7所示的片状电子部件用夹具11b中，配合y方向线状构件y1的宽度，厚度也设为比其它y方向线状构件y2～y6大，但是也可以是，通过使y方向线状构件y1的剖面形状与其它y方向线状构件y2～y6的剖面形状不同，从而使y方向线状构件y1的厚度与其它y方向线状构件y2～y6的厚度相等，或者小于其它y方向线状构件y2～y6的厚度。
68.图8是示出根据本发明的第4实施方式的片状电子部件用夹具11c的、与图1相当的图。在图8中，对与图1所示的要素相当的要素标注相同的参照附图标记，并省略重复的说明。
69.在图8所示的片状电子部件用夹具11c中，第1通气阱17c设置在片容纳部13中的在x方向上相邻的片容纳部13之间，并且第2通气阱17d设置在片容纳部13中的在y方向上相邻的片容纳部13之间。此外，优选地，第1通气阱17c设置在全部的片容纳部13中的在x方向上相邻的片容纳部13之间，第2通气阱17d设置在全部的片容纳部13中的在y方向上相邻的片容纳部13之间。若除了第1通气阱17c以外还设置第2通气阱17d，则有助于通气性的进一步的提高。
70.进而，在图8所示的片状电子部件用夹具11c中，在第1通气阱17c中的在y方向上相邻的第1通气阱17c之间且第2通气阱17d中的在x方向上相邻的第2通气阱17d之间，设置第3通气阱17e。附加这样的第3通气阱17e，有助于通气性的进一步的提高。
71.另外，第1通气阱17c、第2通气阱17d以及第3通气阱17e的开口具有在本发明的第1实施方式至第3实施方式中的第2开口18、18a、18b中的至少一者中采用的结构。第3通气阱17e的开口只要是具有不能收容片状电子部件12的任何端面的大小以及形状中的至少一者
的结构即可，也可以是正方形。
72.以上，与图示的实施方式相关联地对本发明进行了说明，但是能够在本发明的范围内进行各种变形。
73.在图示的实施方式中，通气阱设置在全部的片容纳部中的在x方向或y方向上相邻的片容纳部之间，但是也可以仅设置在一部分的片容纳部中的在x方向或y方向上相邻的片容纳部之间。
74.x方向线状构件以及y方向线状构件的y方向以及x方向上的排列数能够根据所要求的片容纳部的数量而任意地变更。此外，x方向线状构件以及y方向线状构件的z方向上的排列数能够根据片容纳部要求的深度而任意地变更。
75.本发明涉及的片状电子部件用夹具除了在用于制造片状电子部件的烧成工序中使用以外，在镀敷工序等中也能够使用。
76.在湿式镀敷工序中使用的情况下，对片状电子部件用夹具要求通液性，因此在本说明书中使用的“通气性”以及“通气阱”的用语分别被置换为“通液性”以及“通液阱”。
77.另外，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
78.附图标记说明
79.x1～x5：x方向线状构件；
80.y1～y6：y方向线状构件；
81.s1、s2：间隔；
82.p1、p2：配置间距；
83.11、11a、11b、11c：片状电子部件用夹具；
84.12：片状电子部件；
85.13：片容纳部；
86.14：底壁部；
87.15：侧壁部；
88.16：第1开口；
89.17、17a、17b、17c、17d、17e：通气阱；
90.18、18a、18b：第2开口。