一种中性密度滤光片精密加工用真空镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及滤光片精密加工技术领域，具体为一种中性密度滤光片精密加工用真空镀膜装置。


背景技术：

2.滤光片是用来选取所需辐射波段的光学器件。滤光片的一个共性，就是没有任何滤光片能让天体的成像变得更明亮，因为所有的滤光片都会吸收某些波长，从而使物体变得更暗，真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法,滤光片在加工过程中需要对其进行镀膜，但是现有的镀膜装置在使用时存在一定的缺陷，例如镀膜不够均匀，导致成品的镀膜效果不佳，另外在镀膜过程中适当的提高温度可以促进基片与沉积分子之间的结合力，从而使得滤光片镀层更紧密，但是温度过高的话会造成镀层变质，现有的装置在使用时不能自动调控真空室内部的温度，从而使得镀层时温度可能存在过高或过低现象，进而严重影响了镀层质量，为此，我们提出一种中性密度滤光片精密加工用真空镀膜装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种中性密度滤光片精密加工用真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种中性密度滤光片精密加工用真空镀膜装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有真空镀膜箱，所述真空镀膜箱的一侧固定连接有储气室，所述储气室与真空镀膜箱之间通过管道固定连接有真空泵，所述真空镀膜箱的内腔底部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有放置板，所述放置板通过旋转组件连接有连接杆，所述连接杆的外表面固定连接有基片架，所述放置板的顶部中端固定连接有膜料蒸发柱，所述真空镀膜箱的一侧内壁设置有调温机构。
5.优选的，所述调温机构包括有与真空镀膜箱内壁固定连接的膨胀箱，所述膨胀箱的上下两侧均固定连接有排气口，所述排气口的另一侧固定连接有调节箱，所述调节箱内部固定连接有滑杆，所述滑杆外表面的一侧活动连接有磁性滑块，所述滑杆外表面的另一侧套设有调节弹簧，所述调节箱远离膨胀箱的一侧通过磁性滑钮活动连接有滑动变阻器，所述滑动变阻器与真空镀膜箱的内壁固定连接，从而大大提高了镀膜质量。
6.优选的，所述旋转组件包括有与放置板内壁固定连接的内齿轮环板，所述内齿轮环板的内部啮合连接有从动齿轮，所述从动齿轮共设置有四组，且相对内齿轮环板的圆心呈环形阵列分布，四个所述从动齿轮分别与四个连接杆固定连接，从而进一步提高了镀膜质量。
7.优选的，所述膜料蒸发柱的顶部固定连接有膜料进口，所述膜料进口的顶部延伸至真空镀膜箱的外部，所述膜料蒸发柱的内部固定连接有电热棒，所述膜料蒸发柱的外表面固定连接有若干个喷头，从而大大提高了本装置的实用性。
8.优选的，所述真空镀膜箱的前端表面固定连接有控制器和观察窗，所述控制器的外表面固定连接有控制按钮，从而使得本装置更方便控制。
9.优选的，所述真空镀膜箱与真空泵管道的连接处和储气室与真空泵管道的连接处均设置有密封套，所述密封套的内部设置有气密性材料，从而大大提高了本装置的气密性。
10.与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：
11.1、本实用新型通过设置膜料蒸发柱、膨胀箱、排气口、调节箱、滑杆、磁性滑块、调节弹簧、滑动变阻器和磁性滑钮，使得本装置可以通过调温机构自动对真空镀膜箱内部的温度进行调控，从而防止真空镀膜箱内部温度过高或过低，进而使得真空镀膜箱内部可以一直处于基片镀膜的合适温度范围内，并且本装置结构简单，温度自动调节效果好，因此具有极高的实用性；
12.2、本实用新型还通过设置电机、内齿轮环板、从动齿轮、连接杆和基片架，使得本装置可以通过旋转组件带动连接杆和基片架围绕膜料蒸发柱转动的同时进行自转，从而使得本装置可以对滤光片进行均匀镀膜，进而大大提高了产品的质量。
附图说明
13.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
14.图1是本实用新型整体的正视图；
15.图2是本实用新型整体的内部结构示意图；
16.图3是本实用新型图2中a处的放大图；
17.图4是本实用新型放置板的内部结构示意图；
18.图中：1、底板；2、真空镀膜箱；3、储气室；4、真空泵；5、电机；6、放置板；7、内齿轮环板；8、从动齿轮；9、连接杆；10、基片架；11、膜料蒸发柱；12、膜料进口；13、喷头；14、滑动变阻器；15、膨胀箱；16、调节箱；17、滑杆；18、调节弹簧；19、磁性滑块；20、排气口；21、磁性滑钮；22、控制器；23、观察窗。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-4，本实用新型提供一种中性密度滤光片精密加工用真空镀膜装置，包括底板1，底板1的顶部固定连接有真空镀膜箱2，真空镀膜箱2的一侧固定连接有储气室3，储气室3与真空镀膜箱2之间通过管道固定连接有真空泵4，真空镀膜箱2的内腔底部固定连接有电机5，电机5的输出端固定连接有放置板6，放置板6通过旋转组件连接有连接杆9，连接杆9的外表面固定连接有基片架10，放置板6的顶部中端固定连接有膜料蒸发柱11，真空镀膜箱2的一侧内壁设置有调温机构。
21.在一个优选的实施方式中，调温机构包括有与真空镀膜箱2内壁固定连接的膨胀箱15，膨胀箱15的上下两侧均固定连接有排气口20，排气口20的另一侧固定连接有调节箱
16，调节箱16内部固定连接有滑杆17，滑杆17外表面的一侧活动连接有磁性滑块19，滑杆17外表面的另一侧套设有调节弹簧18，调节箱16远离膨胀箱15的一侧通过磁性滑钮21活动连接有滑动变阻器14，滑动变阻器14与真空镀膜箱2的内壁固定连接，利用调温机构可以对真空镀膜箱2内部的温度进行自动调节，从而保证真空镀膜箱2内部的温度可以一直处于相对合适的范围。
22.在一个优选的实施方式中，旋转组件包括有与放置板6内壁固定连接的内齿轮环板7，内齿轮环板7的内部啮合连接有从动齿轮8，从动齿轮8共设置有四组，且相对内齿轮环板7的圆心呈环形阵列分布，四个从动齿轮8分别与四个连接杆9固定连接，利用旋转组件带动连接杆9和基片架10在环绕膜料蒸发柱11公转的同时进行自转，从而使得基片可以镀膜的更均匀。
23.在一个优选的实施方式中，膜料蒸发柱11的顶部固定连接有膜料进口12，膜料进口12的顶部延伸至真空镀膜箱2的外部，膜料蒸发柱11的内部固定连接有电热棒，膜料蒸发柱11的外表面固定连接有若干个喷头13，其中电热棒与滑动变阻器14电性连接，从而使得滑动变阻器14可以通过控制电热棒的电流量来调节电热棒的发热量，进而可以对真空镀膜箱2内部的温度进行调节。
24.在一个优选的实施方式中，真空镀膜箱2的前端表面固定连接有控制器22和观察窗23，控制器22的外表面固定连接有控制按钮，利用控制器22可以快速对本装置内部的电器进行控制。
25.在一个优选的实施方式中，真空镀膜箱2与真空泵4管道的连接处和储气室3与真空泵4管道的连接处均设置有密封套，密封套的内部设置有气密性材料，利用密封套内部的气密性材料可以避免真空镀膜箱2和储气室3发生漏气现象。
26.本实用新型的工作原理：在使用时，操作人员先将膜料通过膜料进口12投入膜料蒸发柱11内部，然后启动膜料蒸发柱11内部的电热棒，使得电热棒对膜料进行加热蒸发，在加热时，膨胀箱15内部的氩气在受热之后会急剧膨胀，从而使得膨胀箱15内部的压强不断升高，进而使得调节箱16内部氩气压强的推力逐渐增大，当氩气压强的推力大于调节弹簧18的弹力后，气压会推动磁性滑块19对调节弹簧18进行压缩，并同时利用异性相吸的原理，使得磁性滑块19带动磁性滑钮21移动，从而使得磁性滑钮21增大滑动变阻器14内部的电阻值，进而可以使得电热棒所通的电流变小，最终使得真空镀膜箱2内部温度因放热减小而逐渐降低，由于调节弹簧18的弹力与调节弹簧18的伸缩长度呈线性变化，使得操作人员可以通过控制调节弹簧18的长度来控制滑动变阻器14内部的电阻值，从而可以对真空镀膜箱2内部的温度进行控制，进而大大提高了本装置的镀膜效果，而在镀膜过程中，操作人员可以通过控制器22启动电机5，使得电机5带动放置板6转动，当放置板6转动时会带动内齿轮环板7转动，从而利用内齿轮环板7与从动齿轮8之间的啮合连接方式，使得内齿轮环板7可以带动从动齿轮8转动，最终使得连接杆9和基片架10在环绕膜料蒸发柱11公转的同时进行自转，从而使得基片在镀膜时可以更均匀，进而大大提高了镀膜质量。
27.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要
素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
28.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。