一种晶圆加工用清洗设备的制作方法

1.本实用新型属于晶圆加工技术领域，特别涉及一种晶圆加工用清洗设备。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，晶圆在生产中经过打磨后表面需要进行清洗处理，以保证晶圆表面的洁净度，但是，现如今的晶圆清洗设备，清洗效率和清洁度低，且清洗时无法对其高灭菌，因此，现亟需一种晶圆加工用清洗设备，来解决以上问题。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种晶圆加工用清洗设备，解决上述背景技术中提出的问题。
4.本实用新型通过以下的技术方案实现：一种晶圆加工用清洗设备,包括：设备主体、显示屏、控制按键以及上箱门，所述设备主体正面右侧上方设置有显示屏，所述显示屏下方设置有控制按键，所述控制按键左侧设置有上箱门，所述上箱门下方设置有下箱门，所述设备主体顶部设置有散热箱，所述设备主体内部上方设置有清洗箱，所述清洗箱正面中间设置有把手，所述清洗箱左侧和右侧分别设置有一个滑槽，所述清洗箱左侧上方设置有高温加热器，所述高温加热器右侧设置冷却器，所述清洗箱下方设置有超声波清洗机，所述清洗箱左侧下方设置有连接管，所述连接管上方设置有排水阀，所述连接管下方右侧设置显示组件，所述显示组件右侧设置有单片机，所述连接管下方设置有集液箱，所述集液箱右侧下方设置有排液管。
5.作为一优选的实施方式，所述单片机输入端在实际使用的时候与控制按键输出端连接，所述高温加热器在实际使用的时候与单片机输出端连接。
6.作为一优选的实施方式，所述冷却器在实际使用的时候与单片机输出端连接，所述超声波清洗机在实际使用的时候与单片机输出端连接。
7.作为一优选的实施方式，所述滑槽在实际使用的时候与清洗箱活动连接，所述超声波清洗机上端面在实际使用的时候与清洗箱底部活动连接。
8.作为一优选的实施方式，所述清洗箱在实际使用的时候通过橡胶管与内部高温加热器连接，所述集液箱在实际使用的时候与排液管连通。
9.作为一优选的实施方式，所述集液箱在实际使用的时候通过连接管与清洗箱下端面右侧连接，所述显示组件在实际使用的时候通过电线与控制按键连接。
10.作为一优选的实施方式，所述连接管在实际使用的时候与排水阀连接，所述显示组件在实际使用的时候通过电线与高温加热器连接，所述显示组件在实际使用的时候通过电线与冷却器连接。
11.采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：通过增加超声波清洗机，能够使晶圆的污物层被分散、乳化、剥离，使得本实用新型更加实用，通过设置高温加热器，能够对晶圆进行高温灭菌，在实际使用的时候，更适合晶圆加工技术领域。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
13.图1为本实用新型一种晶圆加工用清洗设备的整体结构示意图。
14.图2为本实用新型一种晶圆加工用清洗设备正视的结构示意图。
15.图3为本实用新型一种晶圆加工用清洗设备正面剖视的结构示意图。
16.图4为本实用新型一种晶圆加工用清洗设备的工作流程框图。
17.图中，1-设备主体、2-显示屏、3-控制按键、4-上箱门、5-下箱门、6-散热箱、7-清洗箱、8-把手、9-滑槽、10-高温加热器、11-橡胶管、12-冷却器、13-超声波清洗机、14-连接管、15-排水阀、16-单片机、17-显示组件、18-集液箱、19-排液管。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆加工用清洗设备,包括：设备主体1、显示屏2、控制按键3以及上箱门4，设备主体1正面右侧上方设置有显示屏2，显示屏2下方设置有控制按键3，控制按键3左侧设置有上箱门4，上箱门4下方设置有下箱门5，设备主体1顶部设置有散热箱6，设备主体1内部上方设置有清洗箱7，清洗箱7正面中间设置有把手8，清洗箱7左侧和右侧分别设置有一个滑槽9，清洗箱7左侧上方设置有高温加热器10，高温加热器10右侧设置冷却器12，清洗箱7下方设置有超声波清洗机13，清洗箱7左侧下方设置有连接管14，连接管14上方设置有排水阀15，连接管14下方右侧设置显示组件17，显示组件17右侧设置有单片机16，连接管14下方设置有集液箱18，集液箱18右侧下方设置有排液管19，排液管19能够将集液箱18内部液体排出，冷却器12能够将设备主体1内部热量散出。
20.单片机16输入端在实际使用的时候与控制按键3输出端连接，高温加热器10在实际使用的时候与单片机16输出端连接，高温加热器10能够输出高温热量至清洗箱7内部。
21.冷却器12在实际使用的时候与单片机16输出端连接，超声波清洗机13在实际使用的时候与单片机16输出端连接，超声波清洗机13清洗效率高。
22.滑槽9在实际使用的时候与清洗箱7活动连接，超声波清洗机13上端面在实际使用的时候与清洗箱7底部活动连接，清洗箱7内部能够放置多个晶圆。
23.清洗箱7在实际使用的时候通过橡胶管11与内部高温加热器10连接，集液箱18在
实际使用的时候与排液管19连通，集液箱18能够收集使用后的液体。
24.集液箱18在实际使用的时候通过连接管14与清洗箱7下端面右侧连接，显示组件17在实际使用的时候通过电线与控制按键3连接，控制按键3能够启动设备主体1内部组件。
25.连接管14在实际使用的时候与排水阀15连接，显示组件17在实际使用的时候通过电线与高温加热器10连接，显示组件17在实际使用的时候通过电线与冷却器12连接，排水管15能够具有导流、截止的功能。
26.作为本实用新型的一个实施例：在实际使用的时候，工作人员将上箱门4打开，将清洗所需的液体倒入清洗箱7内部，将晶圆放置在清洗箱7内部，将上箱门4关闭，在使用时，将加热器10、冷却器12和超声波清洗机13接入电源，首先控制按键3通过单片机16将超声波清洗机13打开，超声波产生的强烈空化作用及振动将晶圆表面的污垢剥离脱落,同时还可将油脂性的污物分解、乳化，在超声波清洗完成后，控制按键3通过单片机16启动高温加热器10，高温加热器10通过橡胶管11将热气输送至清洗箱7内部，对清洗箱7内的晶圆进行高温灭菌，清洁完成后，操作控制按键3，控制按键3通过单片机16将其冷却器12启动，冷却器12将设备主体1内部热量去除，去除完成后，打开下箱门5，拧动排水阀15，清洗箱7内部的液体通过连接管14流入集液箱18内，在集液箱18内的液体可通过排液管19排出。
27.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。