拉曼光学设备自动化控制系统的制作方法

1.本发明涉及拉曼成像领域，特别涉及一种拉曼光学设备自动化控制系统。


背景技术：

2.拉曼光谱检测技术是利用一组相关的光学元件，对特定激发波长下化合物的拉曼散射谱线进行分析，以获悉化合物分子结构信息的检测技术。该检测技术可在无需进行荧光染色标记的情况下实现样品分析，有着快速、无损、准确的优势。
3.拉曼光谱检测设备中使用的光学元件，可借助步进电机实现自动化控制。步进电机的工作原理，可将电脉冲信号转换成相应角位移或线位移。步进电机是一种控制用的特种电机，无法直接与直流电源或交流电源连接，必须使用专用的驱动系统控制步进电机运动。驱动控制系统会影响步进电机的表现性能，因此其可靠性和稳定性尤为重要。由于拉曼光谱检测设备中的光学元件固定座通常为铝制材料，会引发步进电机的散热问题，该问题会使固定座产生微小形变，同样使光路发生变化，进而导致无法检测。所以，拉曼光谱检测设备中温度的精确控制对其检测性能也有较大的影响。但现有的针对拉曼光谱检测设备的控制系统在温度的精确控制以及电机的可靠控制方面仍存不足，所以有必要提供一种更为可靠的拉曼光学设备控制系统。


技术实现要素：

4.本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种拉曼光学设备自动化控制系统。
5.为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种拉曼光学设备自动化控制系统，包括：上位机、电源模块、总控模块、声光报警模块、激光挡板控制模块、衰减片控制模块、半透半反片控制模块、温度控制模块、共聚焦小孔控制模块以及快门控制模块；
6.所述总控模块与所述上位机通讯连接，所述声光报警模块、激光挡板控制模块、衰减片控制模块、半透半反片控制模块、温度控制模块、共聚焦小孔控制模块以及快门控制模块均与所述总控模块连接；
7.所述激光挡板控制模块用于对挡板位置进行闭环控制，以实现拉曼光学设备中的激光的通断的控制；
8.所述衰减片控制模块用于对所述拉曼光学设备中的衰减片轮的位置进行闭环控制，以将衰减片轮上不同的衰减片切换进入光路；
9.所述半透半反片控制模块用于所述对拉曼光学设备中的半透半反片切换进出光路进行闭环控制；
10.所述温度控制模块用于对所述拉曼光学设备整机的温度进行闭环控制；
11.所述共聚焦小孔控制模块用于对所述拉曼光学设备中的共聚焦小孔的开合大小进行闭环控制；
12.所述快门控制模块用于对所述拉曼光学设备中的快门的位置进行闭环控制，以控
制打开或关闭所述拉曼光学设备中的检测信号进入ccd相机的通路。
13.优选的是，所述激光挡板控制模块包括用于带动所述挡板移动的挡板驱动电机、用于对所述挡板驱动电机进行控制的挡板控制芯片以及用于检测所述挡板的位置信息并反馈至所述挡板控制芯片的挡板光耦传感器。
14.优选的是，所述衰减片控制模块包括用于带动所述衰减片轮转动的衰减片轮驱动电机、用于对所述衰减片轮驱动电机进行控制的衰减片轮控制芯片以及用于检测所述衰减片轮的位置信息并反馈至所述衰减片轮控制芯片的霍尔传感器。
15.优选的是，所述半透半反片控制模块包括用于带动所述半透半反片移动以切换进出光路的半透半反片驱动电机、用于对所述半透半反片驱动电机进行控制的半透半反片控制芯片以及用于检测所述半透半反片的位置信息并反馈至所述半透半反片控制芯片的半透半反片光耦传感器。
16.优选的是，所述共聚焦小孔控制模块包括用于驱动所述共聚焦小孔进行开合以调节大小的共聚焦小孔驱动电机、用于对所述共聚焦小孔驱动电机进行控制的共聚焦小孔控制芯片以及用于检测所述共聚焦小孔驱动电机的转动信息并反馈至所述共聚焦小孔控制芯片的编码器。
17.优选的是，所述快门控制模块包括用于带动所述快门移动的快门驱动电机、用于对所述快门驱动电机进行控制的快门控制芯片以及用于检测所述快门的位置信息并反馈至所述快门控制芯片的快门光耦传感器。
18.优选的是，所述温度控制模块包括帕尔贴、用于对所述帕尔贴进行控制的温度控制芯片以及用于检测所述拉曼光学设备的温度并将检测结果反馈至所述温度控制芯片的温度传感器。
19.优选的是，所述温度控制芯片采用pid控制方法实现对所述帕尔贴的闭环控制，所述pid控制方法包括以下步骤：
20.1)记温度传感器第n次的测量值为x
n
，设定的温度控制目标值为s
v
，计算温度控制目标值和温度传感器第n次的测量值之间的误差e
n
，e
n
＝s
v
‑
x
n
；
21.2)按照以下公式计算第n次pid控制的输出：
22.p
out
＝k
p
×
e
n
out123.i
out
＝k
i
×
s
n
out2；
24.d
out
＝k
d
×
d
n
out325.s
n
＝e1 e2 e3
…
e
n
‑1 e
n
，d
n
＝e
n
‑
e
n
‑1；
26.其中，k
p
、k
i
、k
d
均为预先通过测试获得的优化参数值，为常数；out1、out2、out3依次为p
out
、i
out
、d
out
的初始设定值；
27.第n次pid控制的输出为：
28.pid
out
＝p
out
i
out
d
out
＝k
p
×
e
n
k
i
×
s
n
k
d
×
d
n
out1 out2 out3；
29.3)将步骤2)得到的pid控制的输出pid
out
作为pwm的占空比来驱动所述帕尔贴。
30.优选的是，所述电源模块包括电源以及与所述电源连接的用于将电源转换为不同电压大小的直流电源输出的若干电源转换模块。
31.优选的是，所述拉曼光学设备包括激光器、白光光源、所述衰减片轮、所述挡板、第一反射镜、第二反射镜、所述半透半反片、边带滤光片、显微物镜、白光相机、第三反射镜、所
述快门、所述共聚焦小孔和所述ccd相机，所述衰减片轮上设置有若干衰减片，所述挡板处于所述衰减片轮和第一反射镜之间的光路上；
32.该拉曼光学设备自动化控制系统对所述拉曼光学设备进行控制的方法包括以下步骤：
33.s1、白光成像，进行定位：
34.所述半透半反片控制模块控制使所述半透半反片切换进入光路，打开白光光源，白光照射到样品上，样品的反射光经过所述显微物镜后被所述半透半反片反射至所述白光相机，所述上位机获取所述白光相机采集的样品图像，并根据该样品图像对样品的位置进行调节，使样品中的待测区域移动到所述显微物镜视野的正中间；
35.s2、拉曼成像：
36.所述半透半反片控制模块控制使所述半透半反片移出光路，打开激光器，所述衰减片控制模块控制所述衰减片轮转动使需要的衰减片切换进入光路，所述快门控制模块控制所述快门打开，待激光器稳定后，所述激光挡板控制模块控制打开所述挡板；
37.所述激光器发出的激光经过衰减片衰减后通过所述挡板入射到所述第一反射镜，经所述第一反射镜、第二反射镜依次反射后到达所述边带滤光片，然后被所述边带滤光片反射，经所述显微物镜后照射到样品上；
38.样品发出的拉曼光经所述显微物镜收集后透射所述边带滤光片，然后被所述第三反射镜反射，再通过快门和共聚焦小孔后到达所述ccd相机，所述ccd相机根据采集的信号建立拉曼谱图；所述共聚焦小孔控制模块控制共焦小孔的开合大小，在所述ccd相机完成一次采样后进行信号处理的期间内，所述快门控制模块控制所述快门关闭，切断进入所述ccd相机的信号通路，当所述ccd相机再进行下一次信号采集时再打开所述快门。
39.本发明的有益效果是：
40.本发明的拉曼光学设备自动化控制系统采用多模块单独控制，即控制器与单独控制元件分别对应，所有控制器通过一个总控模块进行任务分配；总控制器与上位机连接，通过上位机可以完成对拉曼光路的精确控制，系统的控制稳定性强、自动化程度高、易于操作，极大的减少了人员成本；模块化的设计方式使每个模块都可以达到最小的体积，有利于设备的小型化，可维修性高，有利于设备的更新换代。
41.本发明的温度控制模块通过设计的算法与硬件的配合能够实现温度的精准控制，可防止拉曼光谱检测设备中的元件因温度变化使光路便宜而造成检测结果受到影响的现象，能够保证拉曼光谱检测设备内部温度的恒定、提高光路的稳定性。
42.本发明通过激光挡板控制模块和衰减片控制模块能够对被检测细胞进行有效的保护；
43.本发明通过共聚焦小孔控制模块和快门控制模块可以有效地提高检测信号的质量；
44.本发明通过半透半反片控制模块的配合，能够实现白光成像和拉曼成像的切换，从而可先通过白光成像对待测区域进行定位，使得进行拉曼成像时待测区域被检测的信号达到最大值，从而可提高检测结果的准确性。
附图说明
45.图1为本发明的拉曼光学设备自动化控制系统的原理框图；
46.图2为本发明的电源模块的控制示意图；
47.图3为本发明中的拉曼光学设备的光路图。
48.附图标记说明：
49.10—上位机；11—电源模块；12—声光报警模块；13—总控模块；14—激光挡板控制模块；15—衰减片控制模块；16—半透半反片控制模块；17—温度控制模块；18—共聚焦小孔控制模块；19—快门控制模块；100—通讯单元；
50.140—挡板驱动电机；141—挡板控制芯片；142—挡板光耦传感器；
51.150—衰减片轮驱动电机；151—衰减片轮控制芯片；152—霍尔传感器；
52.160—半透半反片驱动电机；161—半透半反片控制芯片；162—半透半反片光耦传感器；
53.170—帕尔贴；171—温度控制芯片；172—温度传感器；
54.180—共聚焦小孔驱动电机；181—共聚焦小孔控制芯片；182—编码器；
55.190—快门驱动电机；191—快门控制芯片；192—快门光耦传感器；
56.20—激光器；21—白光光源；22—衰减片轮；23—挡板；24—第一反射镜；25—第二反射镜；26—半透半反片；27—边带滤光片；28—显微物镜；29—白光相机；30—第三反射镜；31—快门；32—共聚焦小孔；33—ccd相机；34—样品。
具体实施方式
57.下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
58.应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
59.实施例1
60.如图1所示，本实施例的一种拉曼光学设备自动化控制系统，包括：上位机10、电源模块11、总控模块13、声光报警模块12、激光挡板控制模块14、衰减片控制模块15、半透半反片控制模块16、温度控制模块、共聚焦小孔控制模块18以及快门控制模块19；
61.总控模块13与上位机10通讯连接，声光报警模块12、激光挡板控制模块14、衰减片控制模块15、半透半反片控制模块16、温度控制模块、共聚焦小孔控制模块18以及快门控制模块19均与总控模块13连接。
62.其中，激光挡板控制模块14用于对挡板23位置进行闭环控制，以实现拉曼光学设备中的激光的通断的控制；
63.衰减片控制模块15用于对拉曼光学设备中的衰减片轮22的位置进行闭环控制，以将衰减片轮22上不同的衰减片切换进入光路；
64.半透半反片控制模块16用于对拉曼光学设备中的半透半反片26切换进出光路进行闭环控制；
65.温度控制模块用于对拉曼光学设备整机的温度进行闭环控制；
66.共聚焦小孔控制模块18用于对拉曼光学设备中的共聚焦小孔32的开合大小进行
闭环控制；
67.快门控制模块19用于对拉曼光学设备中的快门31的位置进行闭环控制，以控制打开或关闭拉曼光学设备中的检测信号进入ccd相机33的通路。
68.在一种实施例中，总控模块13通过通讯单元100与上位机10通讯连接。进一步的实施例中，总控模块13与上位机10采用rs232通讯方式通信。总控模块13运行完毕后，会与上位机10应答；同时，总控模块13实时记录当前的各个控制模块的状态，并将控制控制模块状态传递给上位机10，避免操作不当对设备造成损害。
69.在一种实施例中，该系统检测过程中出现问题时，总控模块13不仅会将故障信息传输到上位机10，还会控制声光电报警模块发出报警信号，保证系统可以及时得到人为干预。
70.在一种实施例中，总控模块13与各个控制模块采用can总线通讯，具有实时性强、传输距离较远、抗电磁干扰能力强、成本低等优点，采用双线串行通信方式，检错能力强，可在高噪声干扰环境中工作，并且具有可靠的检错和错误处理机制。
71.在一种实施例中，总控模块13采用高性能微控制器stm32f4，稳定性强、控制效率高。
72.在一种实施例中，激光挡板控制模块14包括用于带动挡板23移动的挡板驱动电机140、用于对挡板驱动电机140进行控制的挡板控制芯片141以及用于检测挡板23的位置信息并反馈至挡板控制芯片141的挡板光耦传感器142。激光挡板控制模块14，起到遮挡激光的作用，激光持续照射细胞会降低细胞活性，甚至导致细胞死亡。拉曼光谱检测对象为活体细胞，因此在非采样阶段使用激光通路挡板23控制单元遮挡激光，避免细胞被激光持续性照射，保护细胞活性。
73.在一种实施例中，衰减片控制模块15包括用于带动衰减片轮22转动的衰减片轮驱动电机150、用于对衰减片轮驱动电机150进行控制的衰减片轮控制芯片151以及用于检测衰减片轮22的位置信息并反馈至衰减片轮控制芯片151的霍尔传感器152。衰减片控制模块15可以调节激光的通过率，防止入射激光强度过大烧坏细胞。如果采用单一衰减片可能导致入射激光功率不够，致使检测信号强度过低。因此增加一个电动控制的衰减片轮22，可以实现操作人员实时更换不同衰减程度的衰减片。使衰减片轮22控制单元起到既保护细胞，又保证检测信号强度充足的作用。在优选的实施例中，衰减片轮22上设置有6块不同的衰减片。
74.在一种实施例中，半透半反片控制模块16包括用于带动半透半反片26移动以切换进出光路的半透半反片驱动电机160、用于对半透半反片驱动电机160进行控制的半透半反片控制芯片161以及用于检测半透半反片26的位置信息并反馈至半透半反片控制芯片161的半透半反片光耦传感器162。通过半透半反片控制模块16控制半透半反片26进出光路，可以使检测通路在ccd相机33与白光相机29之间切换。半透半反片26移入光路时，被检信号进入白光相机29，可以观察被检测细胞的细胞形态与实时位置，观察被检测细胞是否处于检测范围内。半透半反片26移出光路时，被检测细胞的检测信号进入到ccd相机33进行拉曼信号强度检测。
75.在一种实施例中，共聚焦小孔控制模块18包括用于驱动共聚焦小孔32进行开合以调节大小的共聚焦小孔驱动电机180、用于对共聚焦小孔驱动电机180进行控制的共聚焦小
孔控制芯片181以及用于检测共聚焦小孔驱动电机180的转动信息并反馈至共聚焦小孔控制芯片181的编码器182。共聚焦小孔控制模块18根据被检测的信号强度和所需空间分辨率大小调节小孔的大小。在样品34信号强度大且共焦小孔与被检测点共轭时，可以达到共聚焦效果，从而屏蔽掉检测点以外的杂散信号，减小了杂散光对于检测信号的影响，提高了被检样品34的成像空间分辨率，排除了检测点空间位置之外的物质对于检测结果的干扰。在信号强度较弱的情况下，需要将小孔直径扩大，保证被检测信号强度。小孔控制范围为10um
‑
1000um，控制精度为
±
1um。
76.在一种实施例中，快门控制模块19包括用于带动快门31移动的快门驱动电机190、用于对快门驱动电机190进行控制的快门控制芯片191以及用于检测快门31的位置信息并反馈至快门控制芯片191的快门光耦传感器192。快门控制模块19可以关闭或打开检测信号进入ccd相机33的通路，快门31开关与ccd相机33的采样时间同步。在ccd相机33处理采样信号时快门31关闭，避免ccd相机33在数据传输和读取过程中仍处于曝光状态，引入噪音信号干扰。在ccd采样时快门31打开，使采样信号可以进入ccd相机33。
77.在一种实施例中，控制模块中的电机(挡板驱动电机140、衰减片轮驱动电机150、半透半反片驱动电机160、共聚焦小孔驱动电机180、快门驱动电机190)中均采用128细分的电机驱动芯片，高细分的电机控制信号，可以有效地提高控制精度。电机驱动芯片和总控模块13中间通过一个控制芯片隔离，可以保证控制信号与驱动信号的隔离，对控制部分进行了保护，保证系统的可靠性，并且排除了驱动信号对于控制部分的干扰。同时也保证了控制部分可以在各种环境下稳定工作。
78.在一种实施例中，控制模块中的电机均采用步进电机，步进电机具有控制精度高的优点，本发明中，各个电机控制均采用闭环控制，闭环控制可以保证定位精度与重复定位精度误差控制在0.1毫米以内。
79.在一种实施例中，温度控制模块包括帕尔贴170、用于对帕尔贴170进行控制的温度控制芯片171以及用于检测拉曼光学设备的温度并将检测结果反馈至温度控制芯片171的温度传感器172。
80.其中，温度控制芯片171采用pid控制方法实现对帕尔贴170的闭环控制，pid控制方法包括以下步骤：
81.1)记温度传感器172第n次的测量值为x
n
，设定的温度控制目标值为s
v
，计算温度控制目标值和温度传感器172第n次的测量值之间的误差e
n
，
82.e
n
＝s
v
‑
x
n
；
83.2)按照以下公式计算第n次pid控制的输出：
84.p
out
＝k
p
×
e
n
out185.i
out
＝k
i
×
s
n
out2；
86.d
out
＝k
d
×
d
n
out387.s
n
＝e1 e2 e3
…
e
n
‑1 e
n
，d
n
＝e
n
‑
e
n
‑1；
88.其中，k
p
、k
i
、k
d
均为预先通过测试获得的优化参数值，为常数；out1、out2、out3依次为p
out
、i
out
、d
out
的初始设定值；
89.第n次pid控制的输出为：
90.pid
out
＝p
out
i
out
d
out
＝k
p
×
e
n
k
i
×
s
n
k
d
×
d
n
out1 out2 out3；
91.3)将步骤2)得到的pid控制的输出pid
out
作为pwm的占空比来驱动帕尔贴170。
92.通过上述闭环控制方法可将本发明的密闭系统的温度范围控制在0℃～100℃，控制精度为
±
0.1℃，温度参数可通过上位机10进行设定。温度的恒定极大的降低了由于温度变化导致金属产生的微小形变，进而降低了光路偏转的发生，提高了光路系统稳定性和可靠性。
93.参照图2，在一种实施例中，电源模块11包括电源以及与电源连接的用于将电源转换为不同电压大小的直流电源输出的若干电源转换模块，具体包括第一电源转换模块、第二电源转换模块和第三电源转换模块。参照图2，第一电源转换模块将电网输入的220v交流电转化为24v直流电源，第二电源转换模块2将24v直流电源通过由rt2805芯片组成的dc
‑
dc电源转换电路转换为5v，5v电源再经过由rt6224芯片组成的第三电源转换模块转换为3.3v。其中激光通路挡板23控制模块需要24v、5v、3.3v同时供电；衰减片控制模块15需要24v、5v、3.3v同时供电；半透半反片控制模块16需要24v、5v、3.3v同时供电；共聚焦小孔控制模块18需要24v、5v、3.3v同时供电；快门控制模块19需要24v、3.3v同时供电；总控模块13需要3.3v供电。
94.参照图3，在一种实施例中，拉曼光学设备包括激光器20、白光光源21、衰减片轮22、挡板23、第一反射镜24、第二反射镜25、半透半反片26、边带滤光片27、显微物镜28、白光相机29、第三反射镜30、快门31、共聚焦小孔32和ccd相机33，衰减片轮22上设置有若干衰减片，挡板23处于衰减片轮22和第一反射镜24之间的光路上；
95.该拉曼光学设备自动化控制系统对拉曼光学设备进行控制的方法包括以下步骤：
96.s1、白光成像，进行定位：
97.半透半反片控制模块16控制使半透半反片26切换进入光路，打开白光光源21，白光照射到样品34上，样品34的反射光经过显微物镜28后被半透半反片26反射至白光相机29，上位机10获取白光相机29采集的样品34图像，并根据该样品34图像对样品34的位置进行调节，使样品34中的待测区域移动到显微物镜28视野的正中间；
98.s2、拉曼成像：
99.半透半反片控制模块16控制使半透半反片26移出光路，打开激光器20，衰减片控制模块15控制衰减片轮22转动使需要的衰减片切换进入光路，快门控制模块19控制快门31打开，待激光器20稳定后，激光挡板控制模块14控制打开挡板23；
100.激光器20发出的激光经过衰减片衰减后通过挡板23入射到第一反射镜24，经第一反射镜24、第二反射镜25依次反射后到达边带滤光片27，然后被边带滤光片27反射，经显微物镜28后照射到样品34上；
101.样品34发出的拉曼光经显微物镜28收集后透射边带滤光片27，然后被第三反射镜30反射，再通过快门31和共聚焦小孔32后到达ccd相机33，ccd相机33根据采集的信号建立拉曼谱图；共聚焦小孔控制模块18控制共焦小孔的开合大小，在ccd相机33完成一次采样后进行信号处理的期间内，快门控制模块19控制快门31关闭，切断进入ccd相机33的信号通路，当ccd相机33再进行下一次信号采集时再打开快门31。
102.实施例2
103.本实施例中本发明的控制系统对拉曼光学设备检测活细胞中拉曼碳
‑
氢(c
‑
h)键拉曼峰强度为例进行详细说明。
104.本发明的控制系统的控制方法包括以下步骤：
105.s1、用户通过上位机10将温度参数设置为25℃，衰减片参数设置为od＝0.5，通过rs232下发到总控芯片上；总控模块13按照通讯协议解析上位机10发送的数据，通过can总线的调度，对个控制模块发送具体的控制指令。温度控制模块收到主控芯片发送的温度参数后，控制帕尔贴170实现温度的调节。温度传感器172将实时温度传输到温控芯片上，温控芯片使用pid算法对温度进行闭环控制保证，控制温度在参数值
±
0.1℃之间，可以达到整体温度的恒定，降低温度对于检测的影响。
106.s2、进行白光成像，对待测细胞进出定位：
107.半透半反片控制模块16控制使半透半反片26切换进入光路，打开白光光源21，白光照射到样品34上，样品34的反射光经过显微物镜28后被半透半反片26反射至白光相机29，上位机10获取白光相机29采集的样品34图像，并根据该样品34图像对样品34的位置进行调节，使样品34中的待测细胞移动到显微物镜28视野的正中间，保证激光可准确照射目标细胞使被检测信号达到最大值；
108.s3、拉曼成像：
109.半透半反片控制模块16控制使半透半反片26移出光路，打开激光器20，衰减片控制模块15控制衰减片轮22转动使需要的衰减片切换进入光路，快门控制模块19控制快门31打开，待激光器20稳定后，激光挡板控制模块14控制打开挡板23；
110.激光器20发出的激光经过衰减片衰减后通过挡板23入射到第一反射镜24，经第一反射镜24、第二反射镜25依次反射后到达边带滤光片27，然后被边带滤光片27反射，经显微物镜28后照射到细胞上；
111.细胞受激光激发产生的拉曼光经显微物镜28收集后透射边带滤光片27，然后被第三反射镜30反射，再通过快门31和共聚焦小孔32后到达ccd相机33，ccd相机33根据采集的信号建立拉曼谱图。当被检细胞背景干扰大，需要提高检测空间分辨率时，共焦小孔大小调节为与被检细胞激发点光斑共轭。共聚焦小孔控制芯片181通过共聚焦小孔驱动电机180对小孔大小进行调节，并根据编码器182的反馈数据进行闭环控制，保证小孔的直径控制精度在
±
1um。
112.在ccd相机33进行信号处理时，快门控制模块19控制快门31关闭，切断进入ccd相机33的信号通路，保证ccd相机33在处理一个完整的信号数据时，没有新的光信号进入ccd相机33，防止新的光信号对检测结果产生干扰。当ccd相机33再进行下一次信号采集时再打开快门31。
113.样品34检测过程中，为避免激光强度过大烧坏样品34，通过衰减片控制模块15对激光强度进行控制。衰减片控制模块15在接收到主控模块发送的指令后，开始进行控制；衰减片轮控制芯片151通过衰减片轮驱动电机150使衰减片轮22转动，并通过霍尔传感器152进行位置反馈，保证衰减片转动到目标位置。衰减片运动误差控制在
±
0.1mm。衰减片转动到正确位置后，主控模块向激光通路挡板23控制模块发送控制指令，打开挡板23，光路打开，激光可进入到检测光路，实现样品34激发。
114.尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限
于特定的细节。