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微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法与流程
本发明涉及微机电系统(mems)器件以及微机电系统器件的制造方法。背景技术：1、使用mems(微机电系统：micro electro mechanical systems)技术制造的微机电系统器件是已......
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一种铁路微机联锁信号控制装置的制作方法
本技术涉及铁路安全信息控制，特别涉及一种铁路微机联锁信号控制装置。背景技术：1、铁路系统是我国重要的陆上交通通道,通过新建与完善铁路网络建设,构建起了我国完善的铁路运输脉络。2、随着铁路提速与高速列车......
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一种可储存多架无人机的微机场设备的制作方法
本发明涉及无人机，尤其涉及一种可储存多架无人机的微机场设备。背景技术：1、无人机是利用无线电遥控设备和自备的程序控制装置操纵的不载人飞行物，在无人机的应用范围较为广泛，常用于航拍、农业，无人机均配备有......
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一种带有安装支座的微机消谐装置的制作方法
本技术涉及微机消谐装置领域，尤其涉及一种带有安装支座的微机消谐装置。背景技术：1、微机消谐装置是一种用于电力系统中的设备,用于消除谐波和谐振。谐波是指在电力系统中,电压和电流的波形中存在比基波频率高很......
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一种单轴微机电陀螺仪的制作方法
本技术涉及陀螺仪，尤其涉及一种单轴微机电陀螺仪。背景技术：1、陀螺仪是感测运动体旋转的传感器，是惯性导航和制导技术的基础核心器件之一。基于微纳加工技术加工而成的陀螺称为微机电陀螺仪，微机电陀螺仪通过科......
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将微机械或钟表部件保持、定心和/或夹紧的夹持装置的制作方法
本发明涉及一种夹持装置，用于将微机械部件或钟表部件保持、定心和/或用夹头(collet)夹紧在由夹头界定的夹紧室中，所述夹头包括至少一个可动夹爪。本发明还涉及一种用于将所述微机械部件或钟表部件固定在这......
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具有摩擦涂层的微机械的功能组件的制作方法
本发明涉及一种微机械的功能组件，其包括至少一个部件，所述至少一个部件具有需要摩擦涂层的摩擦接触表面。所述微机械的功能组件更具体地涉及一对彼此机械配合的微机械的钟表部件，例如擒纵轮和锚式擒纵叉的叉瓦。背......
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制造表面优化的微机械部件，特别是计时器轮的方法与流程
本发明涉及一种制造微机械部件，特别是计时器轮(timepiece wheel)的方法。本发明涉及钟表机构的领域，更特别是包括至少一个擒纵轮和至少一个叉瓦(pallet)的擒纵机构，擒纵轮和叉瓦至少之一......
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微机械部件，尤其是表面优化的钟表运动件，尤其是擒纵轮的制作方法
本发明涉及一种微机械部件，尤其是一种表面优化的钟表运动件，尤其是一种擒纵轮。本发明还涉及一种钟表擒纵机构，其包括构成擒纵轮或擒纵叉的至少一个非磁性运动件。本发明涉及钟表机构领域，更具体地涉及包括至少一......
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特别用于钟表的设有撞击式致动系统的微机械机构的制作方法
1.本发明涉及一种尤其用于钟表的设有撞击式致动系统的微机械机构。2.本发明还涉及包括这种微机械机构的钟表机芯。背景技术：3.在钟表领域中，已知各种各样的复杂功能机构，其中一些需要特定的致动装置，特别是......
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耦合增强压电微机械超声换能器及其制备方法
本公开涉及微机电，尤其涉及一种耦合增强压电微机械超声换能器及其制备方法。背景技术：1、压电微机械超声换能器(pmut)具有微尺寸、低功耗，可实现片上集成设计等优势，在微型医学超声成像、超声测距、指纹识......
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微机械构件的制作方法
本发明涉及一种微机械构件。此外，本发明涉及一种扫描装置。背景技术：1、文献de 10 2016 208 924 a1描述了一种作为微机械构件的微镜装置。微镜在此借助两个弯曲促动器被共振地驱动，所述弯曲......
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微机电结构、MEMS传感器及电子设备的制作方法
本发明涉及微机电，更具体地，本发明涉及一种微机电结构、mems传感器及电子设备。背景技术：1、微机电结构是基于微机电系统(mems，micro-electro-mechanical system)技术......
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微机械构件的制作方法
本发明涉及一种微机械构件。本发明还涉及一种用于制造微机械构件的方法。背景技术：1、在现有技术中已知，在层系统中的布线平面通过电绝缘层彼此分开。技术实现思路1、本发明的任务是，提供一种改进的微机械构件。......
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用于更高阶无源温度补偿的微机电器件及其设计方法与流程
背景技术：1、物联网(iot)的出现已经产生了在可穿戴设备、智能电话以及用于工业和消费者应用的远程感测中使用的无数基于传感器的设备。定时参考在这些设备中是普遍存在的并且帮助提供用于跟踪时间、使数字集成......
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微流控器件的制作方法以及微机电系统与流程
本申请涉及半导体，具体而言，涉及一种微流控器件的制作方法以及微机电系统。背景技术：1、现有技术的微流控芯片的制作过程中，需要对两层衬底进行键合、加工，才能得到微流控芯片，这造成了微流控芯片的制作成本较......
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微流控器件的制作方法以及微机电系统与流程
本申请涉及半导体，具体而言，涉及一种微流控器件的制作方法以及微机电系统。背景技术：1、现有技术的微流控芯片的制作过程中，需要对两层衬底进行键合、加工，才能得到微流控芯片，这造成了微流控芯片的制作成本较......
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微机械转速传感器和用于运行微机械转速传感器的方法与流程
本发明的出发点是一种具有传感器元件的微机械转速传感器。背景技术：1、微机械转速传感器检测绕着一个或多个轴线的旋转或者说转速，其方式是，通常借助于电容性检测设备分析处理一个机械结构或多个机械结构或者说一......
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微机械的z加速度传感器的制作方法
本发明涉及一种微机械的z加速度传感器。背景技术：1、用于测量加速度和旋转速率的微机械的惯性传感器对于在汽车和消费领域中的各种应用以大批量制造。具有垂直于晶圆平面(z方向)的探测方向的电容式加速度传感器......
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用于传感器或麦克风装置的微机械构件的制作方法
本发明涉及一种用于传感器或麦克风装置的微机械构件。同样地，本发明涉及一种用于传感器或麦克风装置的微机械构件的制造方法。背景技术：1、从现有技术(例如de 10 2020 200 335 al)已知分别......
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微机电器件及其制造方法、以及测试设备与流程
本公开涉及具有测试结构的微机电器件、用于测试微机电器件的测试设备以及用于制造微机电器件的方法。背景技术：1、众所周知，具有复杂结构的微机电器件，诸如惯性传感器以及特别是陀螺仪，可能会受到在存在特定频率......
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微机电器件的制作方法、及微机电器件与流程
本申请涉及微机电器件，具体而言，涉及一种微机电器件的制作方法、及微机电器件。背景技术：1、微机电器件(mems)普遍存在如空腔，可动结构，梳齿结构等复杂结构。通常情况下，复杂结构会在制作微机电器件的最......
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微机电装置的制作方法
本发明涉及微机电(micro electro mechanical system,mems)装置的，尤其涉及包含垂直接合于微机电结构的膜片的微机电装置。背景技术：1、微机电(mems)装置是利用现有的......
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微机电装置及其压电复合叠层的制作方法
本发明关于微机电(micro electro mechanical system,mems)装置的，特别是关于微机电装置及其压电复合叠层。背景技术：1、微机电(mems)装置是整合机械和电性组件，以感......
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微机电遮蔽件与微机电装置的制作方法
本公开涉及包括平移屏蔽结构的mems(微机电系统)光学遮蔽件。背景技术：1、众所周知，如今手机均配备了改进的相机模块，这保证了目前与专业相机相当的性能水平。这样的模块包括逐渐变大并具有逐渐变高性能的传......
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