一种高可靠性信号线专用真空电极的制作方法

本技术属于电真空器件，具体为一种高可靠性信号线专用真空电极。

背景技术：

1、真空电极是连接真空环境与大气环境，实现电能输入输出的关键元件，其可靠性直接决定了真空系统的稳定性与寿命。在科研、半导体制造、航空航天等领域，存在大量需要传输低电平、高精度信号（如热电偶信号、传感器信号、栅极控制信号等）的应用场景。这类信号线专用真空电极对可靠性、气密性及长期稳定性的要求极高。

2、传统的信号线真空电极通常采用多部件组装结构。其陶封电极部分一般包括：陶瓷绝缘子、中心导电柱、以及两端的金属壳。中心导电柱与陶瓷绝缘子通过钎焊实现气密封接，两端的金属壳也需分别与陶瓷绝缘子或外部法兰进行钎焊连接。这种结构存在至少三道主要的环形焊缝（导电柱与陶瓷、两端金属壳与主体）。

3、然而，多一道焊缝就意味着多一个潜在的失效点。每一道焊缝都可能因工艺波动、材料疲劳或热应力集中而产生微裂纹，导致真空泄漏。此外，多部件装配也增加了结构的复杂性和制造成本。对于高可靠性的应用场景，迫切需要一种结构更简单、潜在泄漏点更少的真空电极结构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构简化、泄漏风险显著降低、可靠性高的信号线专用真空电极。

2、为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高可靠性信号线专用真空电极，包括，

3、陶瓷绝缘子和一体式导电极，所述一体式导电极包括导电柱和设置于导电柱上的金属罩壳，所述导电柱和金属罩壳一体成型，所述陶瓷绝缘子设置于所述导电柱上。

4、作为一种高可靠性信号线专用真空电极的优选技术方案，所述金属罩壳包括第一阶梯轴和第二阶梯轴，所述第一阶梯轴和第二阶梯轴之间通过锥台连接。

5、作为一种高可靠性信号线专用真空电极的优选技术方案，所述第二阶梯轴一侧向内设置有第一环槽。

6、作为一种高可靠性信号线专用真空电极的优选技术方案，所述陶瓷绝缘子中间设置有第一通孔，所述导电柱穿设于所述第一通孔中。

7、作为一种高可靠性信号线专用真空电极的优选技术方案，所述陶瓷绝缘子端部嵌于第一环槽中，所述陶瓷绝缘子与第一环槽内壁通过第一钎焊层连接。

8、作为一种高可靠性信号线专用真空电极的优选技术方案，还包括第二端金属壳，所述第二端金属壳中设置有第二通孔，所述导电柱穿设于第二通孔中。

9、作为一种高可靠性信号线专用真空电极的优选技术方案，所述第二端金属壳一端向内设置有第二环槽，所述陶瓷绝缘子另一端嵌于第二环槽中，所述第二环槽中设置有第二钎焊层与所述陶瓷绝缘子端部连接。

10、本实用新型的有益效果：通过将中心导电柱与一端金属壳设计为一体成型结构，彻底消除了该处的一道环形焊缝。这直接减少了一个最主要的潜在泄漏点，使电极的整体真空密封可靠性得到质的提升，特别适用于对泄漏率要求极高的长寿命、高可靠应用。

1.一种高可靠性信号线专用真空电极，其特征在于：包括，

2.根据权利要求1所述的高可靠性信号线专用真空电极，其特征在于：所述金属罩壳(22)包括第一阶梯轴(221)和第二阶梯轴(222)，所述第一阶梯轴(221)和第二阶梯轴(222)之间通过锥台(223)连接。

3.根据权利要求2所述的高可靠性信号线专用真空电极，其特征在于：所述第二阶梯轴(222)一侧向内设置有第一环槽(224)。

4.根据权利要求3所述的高可靠性信号线专用真空电极，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的高可靠性信号线专用真空电极，其特征在于：所述陶瓷绝缘子(1)端部嵌于第一环槽(224)中，所述陶瓷绝缘子(1)与第一环槽(224)内壁通过第一钎焊层(4)连接。

6.根据权利要求5所述的高可靠性信号线专用真空电极，其特征在于：还包括第二端金属壳(3)，所述第二端金属壳(3)中设置有第二通孔(31)，所述导电柱(21)穿设于第二通孔(31)中。

7.根据权利要求6所述的高可靠性信号线专用真空电极，其特征在于：所述第二端金属壳(3)一端向内设置有第二环槽(32)，所述陶瓷绝缘子(1)另一端嵌于第二环槽(32)中，所述第二环槽(32)中设置有第二钎焊层(5)与所述陶瓷绝缘子(1)端部连接。